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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 w A\5-C7 j  
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    建模任务 Cb1w8l0  
    NMe{1RM  
     _0(%^5Y  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) K>dB{w#gS  
     XeX"IhgS>E  
    某一位置的Talbot图样 DmpT<SI+!  
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    某一位置的Talbot图样 yVII<ImqIH  
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    不同位置的Talbot图样 r/2= nE  
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    不同位置的Talbot图样 CuWJai:nQ;  
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    沿Z轴的强度 f#= c=e-A  
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    O2?C *  
    走进VirtualLab Fusion 9@lWI  
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    TIWR[r1!  
    VirtualLab Fusion的工作流程 a YWWln  
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     构建光栅结构 /8FmPCp}r  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] r 3W3;L   
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] E5w;75,  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 "9wD|wsz  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Y()" 2CCV  
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    VirtualLab Fusion技术 zxbf h/=  
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