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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 z"`?<A&u  
    GjBQxn  
     U"Oq85vY  
    S0yT%V  
    建模任务 eD0@n :  
    XzsK^E0R  
     XwMC/]lK<  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |{Q,,<C  
     *^ BE1-  
    某一位置的Talbot图样 Jsl,r+'H  
    RR|Eqm3)  
     e#^by(1@}  
       A:Z:&(NtE:  
    某一位置的Talbot图样 eKOTxv{  
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     3WS % H17  
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    不同位置的Talbot图样 I'wAgf6W  
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    不同位置的Talbot图样 g&V.o5jIhc  
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    沿Z轴的强度 3ssio-X  
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    走进VirtualLab Fusion IcZ'KV  
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    [nrP; _  
    VirtualLab Fusion的工作流程 )d~Mag+  
    PhQD}|S  
     构建光栅结构 "7DPsPs  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] {T9g\F*  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] TH-^tw  
    \Ip<bbB0  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Y~6pJNR  
    - 参数运行文件的使用 [用例] gqhW.e}]  
    =|V3cM4'  
    ='FEC-f95  
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    VirtualLab Fusion技术 S^u!/ =&  
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