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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 G-^ccdT  
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    建模任务 n1/lE)  
    BD0-v`  
     `pMI[pLZe  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) bg*{1^  
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    某一位置的Talbot图样 >oNk(. %  
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    不同位置的Talbot图样 .KsvRx  
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    不同位置的Talbot图样 R,bcE4WR"  
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    沿Z轴的强度 k-e@G'  
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    走进VirtualLab Fusion 9p4U\hx  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 $\!;*SSj  
    q_&IZ,{Vk  
     构建光栅结构 vNSf:5H$  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] A%2}?Ds  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Y%l3SB,5L  
    ?&m]du#6  
     通过参数运行计算不同位置的强度 <R>ZG"m{  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 6{X>9hD  
    y}HC\A77uD  
    @EZONKT  
    iGMONJRO  
    VirtualLab Fusion技术 NF!1)  
    yo,!u\^x  
     & }}WP:U  
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