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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 {CNJlr@z  
    ew]G@66  
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    y9w,Su2  
    建模任务 >qmNT/  
    14*6+~38m&  
     [70 5[  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) *B9xL[}  
     '(g;nU<  
    某一位置的Talbot图样 OXn-!J90P  
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    某一位置的Talbot图样 !!w(`kmn1  
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    不同位置的Talbot图样 \,r* -jr  
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    沿Z轴的强度 # z7yoP  
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    走进VirtualLab Fusion G?61P[j7  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 _*b`;{3  
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     构建光栅结构 k GYsjhL\d  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] `"<hO 'WU  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] }^j8<  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 ]qu6/Z  
    - 参数运行文件的使用 [用例] >yHtGIHe-  
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    VirtualLab Fusion技术 o4Cq  /K  
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