切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1085阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6062
    光币
    24463
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 %i) 0sE T  
    Urz9S3#\  
     J=J!)\m  
    t"Bp # U1  
    建模任务 _;,"!'R`f  
    . {vMn0c  
     e>m+@4*sn  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kni{1Gr  
     }9V0Cu1  
    某一位置的Talbot图样 !>#gm7  
    *P/DDRq(2  
     {%\@Z-9%q,  
       A%cJ5dF8~  
    某一位置的Talbot图样 >0UY,2d  
    ,A5}HRW%  
     dT{GB!jz  
    ^#t6/fY.#  
    不同位置的Talbot图样 |\Q2L;4C  
    vq+4so )/S  
     t`Rbn{   
    /:v}Ni"6nF  
    不同位置的Talbot图样 &]tm 'N25  
    -,+~W#n  
     :NL[NbQYt  
    0 ;].q*|#  
    沿Z轴的强度 h1)ny1;  
    / */"gz%  
     azzG  
    ma xpR>7`j  
    走进VirtualLab Fusion 5IA3\G}+  
    1gnLKfc  
     kRr/x-"  
    =te4p@  
    VirtualLab Fusion的工作流程 IR{XL\WF  
    bk1.H@8  
     构建光栅结构 ,rjl|F* T  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] N,Js8Z"  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] K^h9\< w  
    njaKU?6%d2  
     通过参数运行计算不同位置的强度 GO.7IL{ {  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Z^BZH/I?  
    :*/g~y(fE  
    9f/l"  
    3kT?Y7<fv  
    VirtualLab Fusion技术 ]a`"O  
    (5A8#7a  
     AiL80W^=d)  
       K%W;-W*'  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表