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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   5V8WSnO  
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    2. 建模任务 #,lJ>mTe4  
    G,3.'S,7  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    s&TPG0W  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    /c6:B5G  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) <BEM`2B  
    7\HjQ7__  
     8k vG<&D  
       D.su^m_1  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) nF`_3U8e  
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     @T)kqT  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) lp+Uox  
    !59u z4  
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    e#BxlC  
    6. 3D仿真与结果对比 [3o^06V8j  
    C;>!SRCp  
     Y?IvG&])  
    VN]70LFz*i  
    7. 走进VirtualLab Fusion WCRGqSr4  
    Qa>t$`o`  
     UXgeL2`;  
    >sGIpER7  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 J;wDvt]]1  
    :< X&y  
    *QH~ z2:[  
     构造光栅结构 r^zra|]  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] C)hS^D:  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]  2:GS(%~  
     计算光栅结构内部的场分布 a!guZUg6  
    \ ]v>#VXr_  
     [+;>u|  
    =/kwUjC?  
    9. VirtualLab Fusion技术 l_$ le  
    pm` f? Py  
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