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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   ,`D~py,  
    v+ 7kU=  
    2. 建模任务 #Z+i~t{e(  
    r;BT,jiX  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    U>Ld~cw  
    cH' iA.  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) x8Loyt_C  
    M_v?9L  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) &LO"g0w  
    r{\1wt  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7tUA>;++  
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    6. 3D仿真与结果对比 pl@O N"=[  
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    7. 走进VirtualLab Fusion --;@2:lg{  
    rX_@Ihv'  
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    8fA_p}wp  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 8n1'x;  
    |*Z$E$k:  
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     构造光栅结构 SJD@&m%?[  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] #/PAA  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ~ wg:!VWA)  
     计算光栅结构内部的场分布 zvABU+{jD  
    V5+SWXZ  
     coYij  
    " \I4u{zC  
    9. VirtualLab Fusion技术 UOQEk22  
    ;iDPn2?6?x  
    zJe#m|Z  
     
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