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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   X:-X3mV9{  
    )hk=wu6  
    2. 建模任务 7ka^y k@Q  
    [rqe;00]  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    b qB[ vPsI  
    BEvSX|M>x  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    T(+F6d=1  
    #%VprcEK  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) *pP"u::S  
    L1BpkB  
     Lhl) pP17  
       j5z, l  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) HY#7Ctn3  
    ,r5<v_  
     qt]QO1pAd  
    vVyO}Q`  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Y=X"YH|  
    OdQ >h$ gZ  
     7^sU/3z  
    0vG}c5;F  
    6. 3D仿真与结果对比 "W6 nW  
    *p?b"{_a  
     ==x3|^0y  
    CkoPno  
    7. 走进VirtualLab Fusion 7tAWPSwf  
    ~ p; <H  
     dQM# -t4*  
    4:r^6m%%  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 >|0yH9af  
    P},S[GaZ  
    |L;'In  
     构造光栅结构 uW>AH@Pij  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] -Kg@Sj/U}R  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] yD1*^~loJ  
     计算光栅结构内部的场分布 e::5|6x  
    Y@eHp-[  
     lk.Q6saI1  
    ]p'Qk  
    9. VirtualLab Fusion技术 CcY.8|HT  
    k`g+    
    vlIdi@V  
     
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