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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   z' z_6]5  
    u!S^lV@  
    2. 建模任务 | :7O  
    \fj* .[,  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    r#M0X^4A  
    0hVw=KDO9:  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    F=?0:2P0bD  
    Ha>Hb`  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) OuWG.Za  
    \qj4v^\  
     "#Qqwsw7  
       X,DG2HT  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) j> Ce06G  
    #fk#RNt  
     l6] :Zcd0  
    Cak `}J 2  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) {]-AuC2E/0  
    *DfwTbg|  
     MKMWHGN  
    VbLwhA2W}F  
    6. 3D仿真与结果对比 -9W)|toWb"  
    lKKg n{R  
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    7. 走进VirtualLab Fusion V9  Z  
    zmaf@T  
     WD.td  
    'b1k0 9'  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 onqfmQ,3E  
    h]W PWa)M  
    T)4pLN E  
     构造光栅结构 r Z)?uqa  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ~nLE?>x|Z  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] jMFLd  
     计算光栅结构内部的场分布 noI>Fw<V  
    gkkT<hEV=  
     uknX py))  
    SWwL.-+E]  
    9. VirtualLab Fusion技术 `_"F7Czn  
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