在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 c5t],P U%~L){<V[ 2. 建模任务 ~A5MzrvIO2 )K0BH q7r 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
|rDv!m
-%*w&',G 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
vQ/&iAyut N d"4*l; 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) P{-f./(JD
DgQw9`WA
itmdY!;< ?u`TX_OsB 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) &Jr~)o
w/`I2uYu
N<\U$\i T!T6M6? 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) *Hnk,?kPq
uD2v6x236
!\0UEC zMUifMiAj 6. 3D仿真与结果对比 ,KMt9<
Q@in?};
Xy>+r[$D: Q599@5aS 7. 走进VirtualLab Fusion <L1;aNN
V_&>0P{q
)4hb% U KKz{a{ePY% 8. VirtualLab Fusion的工作流程 XkWO -L
@@,l0/
pD+_ K
构造光栅结构 $LLy#h?V]
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ` R;6]/I?
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] m{/?6h 1
计算光栅结构内部的场分布 uHv9D%R
n6PXPc
D=w5Lks Q.q'pJ- 9. VirtualLab Fusion技术 ov{ VFZ_Vw }=':)?'-.