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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   "dR |[a<#g  
    nf 1#tlIJd  
    2. 建模任务 "'g[1Li  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    *Nyev]8  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    9Rm/V5  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) w ;daC(:  
    ZcuA6#3B  
     th6+2&B6  
       kc7lc|'z  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =#mTfJ   
    ]zO/A4  
     .nYUL>  
    s5RjIa0$7  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) /8VP[i)u  
    K"<PGOF  
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    =9kN_:-  
    6. 3D仿真与结果对比 izKfU?2]X@  
    X7,PEA  
     =%zLh<3v  
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    7. 走进VirtualLab Fusion "<}&GcJbz  
    e]=!"nJ+  
     GDYFU* 0  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 sC[yI Up  
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    &z"krM]G  
     构造光栅结构 bYz&P`o}  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] CG'.:` t  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 9h/>QLx  
     计算光栅结构内部的场分布 x8;`i$  
    q1E:l!2al  
     3] 1-M  
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    9. VirtualLab Fusion技术 X(jVRr_m9  
    ) 'j:  
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