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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   5/hgWG6.t  
     zW?=^bE  
    2. 建模任务 ,A#gF_8  
    )REegFN@  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    3W[||V[r]<  
    }V/iU_)  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    nr>Yj?la  
    f4`Nws-dP  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 9G1ZW=83  
    6R2F,b(_  
     >of9m  
       }L`Z<h*H  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) (Ms0pm-#t  
    ^S|}<6~6b  
     N+]HJ`K  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) cNKGEm ;z  
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     '8 ^cl:X  
    7OPRf9+o  
    6. 3D仿真与结果对比 ?:5/4YC  
    WK#c* rsij  
     Ix@nRc'  
    A)#Fyde  
    7. 走进VirtualLab Fusion M?m@o1\;W  
    16ip:/5  
     IUG}Q7w5  
    i:&$I=  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 7 /" Z/^  
    L8pKVr  
    eS%8WmCV9<  
     构造光栅结构 &j"_hFhv  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] H-% B<7  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]  ;t/KF"  
     计算光栅结构内部的场分布 |41~U\  
    ,{'ZP_  
     b$/7rVH!  
    -|:mRAe  
    9. VirtualLab Fusion技术 =QwT)KRB%  
    (AG((eV  
    msq2/sS~  
     
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