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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   h#R&=t1,^  
    .HDebi  
    2. 建模任务 _h~p:=  
    E3tj/4:L  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    o[{&!t  
    nOuN|q=C  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 8l?w=)Qy  
    Nh :JU?h  
     7 s-`QdWX  
       P=pY8X:  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) qa;EI ;8  
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     3DI^y` av  
    _DrnL}9I7  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6m\*]nOy4  
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    s #`cX0L)  
    6. 3D仿真与结果对比 @2|G|C/]O}  
    A ' )(SGSc  
     =%)})  
    =_pmy>_z  
    7. 走进VirtualLab Fusion (Z'WR  
    HMQ 'b(a'  
     J;"nm3[.q  
    !yk7HaP  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 jiOf')d5  
    \hu':@}  
    IwnYJp:9v  
     构造光栅结构 &LwJ'h +nd  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] =Y:5,.U  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] MsSoX9A{D  
     计算光栅结构内部的场分布 'bG1U`v=3  
    6O]Xhe0d@  
     AV9:O{  
    B\NcCp`5  
    9. VirtualLab Fusion技术 @V7;TJk  
    @b8X%0B7  
    vB]3Xb3a  
     
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