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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   1iq,Gd-G.  
    qms+s~oA  
    2. 建模任务  :[:5^R  
    /0Q=}:d  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    mA|&K8H  
    -lHSojq~H  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    L(a&,cdh  
     ,lX5-1H  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ugexkdgM  
    ji(W+tQ2Y'  
    &V7@ TZ  
       F&US-ce:M  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !@mV$nTA  
    "p>$^   
    )(~s-x^\z@  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) y6.}h9~  
    lqFDX d  
    ~m^.&mv3/  
    ' uvTOgP,  
    6. 3D仿真与结果对比 O9OD[VZk  
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    (_G&S~@.  
    7. 走进VirtualLab Fusion {~.~ b+v  
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    }gL:"C"~  
    z @\C/wX  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 [.\uHt  
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     构造光栅结构 /]H6'  
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     计算光栅结构内部的场分布 utIR\e#:B  
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    )cA#2mlS'1  
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