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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   S&FMFXF@  
    <Xv]Ih?@f`  
    2. 建模任务 qpFFvZ W  
    v:eVK!O  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    c)+IX;q-C  
    y1B3F5  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    &?v^xAr?B  
    Y ~xcJH  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ^I@43Jy/  
    !Hxx6/  
     eE+zL ~CE  
       >^{}Hjt  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) C&D!TR!K  
    FlttqQQdf  
     ^F/N-!}q  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3t)07(x_B  
    -$>R;L  
     A7C+-N  
    vm_+U*%c  
    6. 3D仿真与结果对比  (0bvd  
    )\8l6Gw  
     qn5e[Vn  
    :D""c*  
    7. 走进VirtualLab Fusion !X*+Ct^  
    o+ r?N5  
     VE`5bD+%e  
    7o-umZ}8  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 OTY9Q  
    T8bk\\Od  
    7jQOwzj  
     构造光栅结构 IQAV`~_G  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] Rt}H.D #  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] .y\j .p  
     计算光栅结构内部的场分布 p Wa'Fd  
    _ fJ 5z  
     -W38#_y/\  
    g 4G&  
    9. VirtualLab Fusion技术 <lopk('7  
    .B_LQ;0:   
    >hHjDYjbf  
     
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