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集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
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集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
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楼主
发表于: 2022-05-07
在最近的几十年里,COMS传感器的
像素
尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率
。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜
的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真
分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
FE?^}VH
I#t#%!InH
2. 建模任务
.`N&,&H
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采用的几何
参数
来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
!%yd'"6Dl
^F$iD (f
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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|G>Lud
3. 2 um像素的微透镜
阵列
(X-Z截面仿真)
Nxt z1
y +c 3#
fxX4 !r
`lq[6[n
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)
d[Rs
u*H V
c:z<8#A}
*}`D2_uP
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)
[U?a %$G>
Ja6PX P]'
'WQ<|(:{
sr,8Qd0M
6. 3D仿真与结果对比
W(UrG]J*l
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i/WiSwh:
7. 走进
VirtualLab
Fusion
P&]PJt5
f<~S0[H
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8. VirtualLab Fusion的工作流程
Z vO,1B
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