[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 tc4"huG  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary）  b :J$  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 & ~*qTojj  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） szG0?e  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） >~)IsQ*%  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 RbA.%~jjx*  
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课程简介 xOgUX6n  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 @b,&b6V  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 r@9qjva  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 6~b]RZe7  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 9Yj
O   
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 Xj+oV  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 Ohe*m[  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 @*{sj`AS '  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 TP-<Lhy  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 (}:n#|,{M  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 `*to( )  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 (bBr O74lR  
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课程大纲 ``j8T[g  
1. Essential Macleod 软件介绍 MV.$Ay  
1.1 介绍软件 sKU?"|G81G  
1.2 运行程序 v?S~ =$.  
1.3 创建一个简单的设计 erQ0fW  
1.4 绘图和制表来表示性能 ( 8}'JvSu  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 u>U4w68  
1.6 创建一个默认设计 y5AJ1A6?E  
1.7 文件位置 Q*h%'oc`  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据
JMa[Ulz  
{?zbrgQ<Z  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 v!b 8_0~u6  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度）
tm[e?+Iq  
1.11 单位定义 RXDPT  
1.12 软件如何进行数据插值 Q[U_ 0O,A9  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） ['l.]k-b}  
1.14 特定设计的公式技术 Edi`x5"l  
1.15 交互式绘图 >*"6zR2 o  
2. 光学薄膜理论基础 5HAIK
c  
2.1 介质和波 vKC
gtk  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 QoVRZ$!p  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 Zagj1OV|  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 Q'mLwD3>  
2.5 光学薄膜设计理论 6QC=:_M;  
3. 理论技术 ^
Nu0+S  
3.1 参考波长与 g rW&#Xw/a  
3.2 四分之一规则 -<0PBl  
3.3 导纳与导纳图 l*+5WrOS  
3.4 斜入射光学导纳 *~0Ko{Avc  
3.5 对称周期 ;& PK6G  
4. 光学薄膜设计 ggR--`D[  
4.1 光学薄膜设计的进展 8!c#XMHV  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 eyLVu.  
4.3 光学薄膜设计技巧  p@se 5~  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 X%>Sio  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 m@_m"1_;  
4.5.1 优化目标设置 mm5y'=#  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， 5r$X  
差分演化法） C<?Huw4R0  
4.5.3 膜层锁定和链接 <e:2DB&  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 ^ld?v  
5.1 减反射薄膜 3hrODts  
5.2 分光膜 UI,i2<&  
5.3 高反射膜 
W?B(Jsv  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 E9yBa=#*c  
v\UwL-4
[  
5.6 负滤光片 i{$h]D_fD  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 Po:)b  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 # XD-a  
5.9 Stack 应用范例说明 bxS+ R\  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 3N]  
6.1 背景介绍 {Va"o~io  
6.2 产品特性 T|c9Swur  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 t`XYY  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 8?S)>-mwv  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 1M4I7*r  
7. 防雾薄膜 8jn
z;;|  
7.1 自清洁效应 &!kr&g#]  
7.2 超亲水薄膜 sPee"9
%,  
7.3 超疏水薄膜 "1U:qr2-H  
7.4 防雾薄膜的制备 2eOde(K+  
7.5 防雾薄膜的性能测试 'Si1r%'m#  
8. 材料管理 l]s,CX  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 XU}|
Ud562  
8.2 金属与介质薄膜 +Y^_1  
8.3 材料模型 Dw@0P  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 &m'ttUG?  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 p$5+^x'(  
8.6 基板光学常数的提取 _TRO2p0  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 CS:mO|  
9. 薄膜制备技术 _l`s}yC  
9.1 常见薄膜制备技术 @Ik@1  
9.2 光学薄膜制备流程 |Ki\Q3O1  
9.3 淀积技术 k]n=7vw;  
9.4 工艺因素 zlh}8Es  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 H n
Rd  
10.1 光学薄膜监控技术 j]#-DIL  
10.2 误差分析与监控决策 (]Z$mv!  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 0$n0fu  
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