[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 {OB\~$TH  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 80 p7+W2m  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 Q2iu}~  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） &4p:2,|r9  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） j63w(Jv/  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 dZ;csc@xv  
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课程简介 
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当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 `)K1[&  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 ? NVN&zD]  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 n802!d+Tn  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 ].`i`.T  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 z)
Bc91A  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 _H@S(!  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 opdi5e)jK  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 "TG}aS  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 h.G/
HHz  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 Hz+edMUL  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 rN_\tulOF  
B ljZ&wZW  
课程大纲 3X%>xUI  
1. Essential Macleod 软件介绍 qfG`H#cA<  
1.1 介绍软件 s_p?3bKu  
1.2 运行程序 X[|-F3o  
1.3 创建一个简单的设计 J`V7FlM  
1.4 绘图和制表来表示性能 _f2(vWCW;J  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 (w)Qt/P^4  
1.6 创建一个默认设计 D0tI
  
1.7 文件位置 B!rY\ ?W  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 zjB8~ku#  
>`\~=ivrD  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 YV 2T$#7u  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） -bcm"(<T'  
1.11 单位定义 57rc|]C  
1.12 软件如何进行数据插值 M0 =K#/  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） qp'HRh@P2:  
1.14 特定设计的公式技术 ocGqXDg3  
1.15 交互式绘图 beN0?G  
2. 光学薄膜理论基础 F0]NtKaH  
2.1 介质和波 exZa:9 sp  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 E*j)gj9  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 ')+'m1N  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ->$Do$  
2.5 光学薄膜设计理论 '+5*ajP<  
3. 理论技术 l>H#\MR  
3.1 参考波长与 g $oe:km1-D  
3.2 四分之一规则 G-9]z[\#  
3.3 导纳与导纳图 qAHQZKk  
3.4 斜入射光学导纳 UC\CCDV#^  
3.5 对称周期 K'Bq@6@C g  
4. 光学薄膜设计 DMsxHAE1  
4.1 光学薄膜设计的进展 :anUr<  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 {!Jw+LPv$$  
4.3 光学薄膜设计技巧 kk )9!7  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 cZPv6c_w  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能
?%{v1(  
4.5.1 优化目标设置 g
b(a`  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， Ae;> @k/|=  
差分演化法） 7[.aAGTZ;  
4.5.3 膜层锁定和链接 DO8@/W( `  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 \l"1Io=  
5.1 减反射薄膜 G?#f@N0.5p  
5.2 分光膜 ^fQ ]>/u  
5.3 高反射膜 n&pi  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 mi`!'If0)  
48Vmz  
5.6 负滤光片 )t0Y-),vA  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 .m9s+D]fI  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 7%b?[}y4  
5.9 Stack 应用范例说明 XFUlV;ek  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 8rx?mX,}  
6.1 背景介绍 s["8QCd"r  
6.2 产品特性 ZQlja  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 jhr:QS/9  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 /2Y t\=S=  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 wi|'pKG  
7. 防雾薄膜 ]p:s5Q  
7.1 自清洁效应 < HlS0J9  
7.2 超亲水薄膜 9nu!|reS  
7.3 超疏水薄膜 xKi: 2  
7.4 防雾薄膜的制备 yM`J+tq  
7.5 防雾薄膜的性能测试 PJ5~,4H-4  
8. 材料管理 K-cRNt  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 lZCTthr\  
8.2 金属与介质薄膜 *9Ej fs7L  
8.3 材料模型 \fj*.[,  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 r#M0X^4A  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 P+tRxpz  
8.6 基板光学常数的提取 p6VS<L  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 VEj-%"\  
9. 薄膜制备技术 jNd."[IrO  
9.1 常见薄膜制备技术 gY9HEfB  
9.2 光学薄膜制备流程 _r@ FWUZ  
9.3 淀积技术 TmZsC5  
9.4 工艺因素 `@!4#3H  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 f*)8bZDD  
10.1 光学薄膜监控技术 2uujA* ^  
10.2 误差分析与监控决策 #e|G!'wdj  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 Gi]R8?M  
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