[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 '1+s^Q'pc  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） NwP!.  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 UuPXo66F]  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） 6V-u<FJ  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） (E[c-1s  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 _3~/Z{z8  
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课程简介 '{*{  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 b~>kTO  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 =HapCmrx8  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 {%Cb0Zh  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 zZp0g^;.?  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 Pu>jECcz  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 B>C+qj@  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 amvD5  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 P|j|0o,8p  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 S#Q0aGj  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 G5A:C(r  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 UI2TW)^
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课程大纲 Bm"-X:='  
1. Essential Macleod 软件介绍 ?TWve)U  
1.1 介绍软件 RRRF/Z;))  
1.2 运行程序 OEiu,Y|@l  
1.3 创建一个简单的设计 /~~A2.=.  
1.4 绘图和制表来表示性能 b'r</ncZ  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 p+7G  
1.6 创建一个默认设计
 R.x^
  
1.7 文件位置 x%_VzqR`  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 0{Uc/  
u1 Z;n  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 !WSY75  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） Lh@0|k  
1.11 单位定义 ;*u"hIl1/  
1.12 软件如何进行数据插值 76::X:76  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） amTeTo]Tg  
1.14 特定设计的公式技术 OCW0$V6;D-  
1.15 交互式绘图 S@Iza9\|@  
2. 光学薄膜理论基础 *qa.hqas  
2.1 介质和波 r{cmw`WA/P  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 atiyQuT6Wh  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 lQl!TW"aO  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 =Gv*yR*]t  
2.5 光学薄膜设计理论 ~7=eHU.@  
3. 理论技术 -
.@dA'j[  
3.1 参考波长与 g r=Tz++!  
3.2 四分之一规则 ]J1oY]2~  
3.3 导纳与导纳图 y`,;m#frT  
3.4 斜入射光学导纳 ^%n]_[RUn4  
3.5 对称周期 *O|_)G  
4. 光学薄膜设计 'GI| t  
4.1 光学薄膜设计的进展 o;TS69|D  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 _lG|t6
y  
4.3 光学薄膜设计技巧 '\O[j*h^.  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 "hmLe(jo}  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 ]-j.\+(*  
4.5.1 优化目标设置 ]4ib^R~Z  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， ,xw1B-dx  
差分演化法） **V8a-@  
4.5.3 膜层锁定和链接 K'Y/0:"*  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 <Hf3AB;#4  
5.1 减反射薄膜 a,|Hn  
5.2 分光膜 5rb<u>e{  
5.3 高反射膜 2U|"]tpM&  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 %*zV&H   
?6Wv["%  
5.6 负滤光片 v<@3&bot  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 3+l8VX&u!  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 %9 3R/bx  
5.9 Stack 应用范例说明 o:'@|(&<  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 KpBOmXE  
6.1 背景介绍 t`1M}}.  
6.2 产品特性 a&Qr7tTY"  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 =2t=Zyp0Y  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 C$0rl74Wi  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 /a*8z,x  
7. 防雾薄膜 &S=Qu?H  
7.1 自清洁效应 &MZ{B/;;H  
7.2 超亲水薄膜 )K8^}L,  
7.3 超疏水薄膜 4_D *xW  
7.4 防雾薄膜的制备 .-'_At4g  
7.5 防雾薄膜的性能测试 +zwS[P@  
8. 材料管理 j0=F__H#@  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 2"T b><^"  
8.2 金属与介质薄膜 K?nQsT;3p  
8.3 材料模型 TMGYNb%<bX  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 /mA\)TL|]  
8.5 金属薄膜光学常数的提取
.i {yW  
8.6 基板光学常数的提取 w\mTug  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路  aGOS9  
9. 薄膜制备技术 &q&~&j'[  
9.1 常见薄膜制备技术 [+d~He  
9.2 光学薄膜制备流程 |}2/:f#Iz*  
9.3 淀积技术 Y<I
uwS  
9.4 工艺因素 *LMzq9n3o  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 pIV|hb!G  
10.1 光学薄膜监控技术 g(auB/0s  
10.2 误差分析与监控决策 w/^_w5  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 ^W(ue]j}o  
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