[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 l;e&p${P  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） LRhq%7p7  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 t `4^cd5V  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） qdn\8Pn  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） 1m/=MET]  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 Z{ntF  
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课程简介 35Jno<TP'  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 C/P,W>8  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 -S=Zsr\  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 ^"w.v' sL  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 mf26A
IlkQ  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 dk
V%Pyj  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 cLQvzd:h=  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 ksxacRA7\  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 ta+'*@V+G  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 Q#@gOn=W\  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 6TE RQ  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 }lgqRg)F9[  
}P$48o VY  
课程大纲 ;8~`fK  
1. Essential Macleod 软件介绍 O_f|R1G5z  
1.1 介绍软件 NgKbf vt  
1.2 运行程序 AJrwl^lm  
1.3 创建一个简单的设计 4/{Io &|  
1.4 绘图和制表来表示性能 ~Exd_c9  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 -Uz xs5Zl  
1.6 创建一个默认设计 Z6&s 6MF  
1.7 文件位置 AWLKve_  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 *@Z/L26s;=  
DPnKr/  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 s,^?|Eo;0  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） +w/Ax[K  
1.11 单位定义 Tk-PCra  
1.12 软件如何进行数据插值 OwP9=9};  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann）
US)wr  
1.14 特定设计的公式技术 I~S`'()J  
1.15 交互式绘图 yZ,k8TJ",  
2. 光学薄膜理论基础 i:WHql"Kw_  
2.1 介质和波 @A6\v+ih  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 _Z6/r^c  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 )2oWoZvi9  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 9`^VuC'  
2.5 光学薄膜设计理论 L{~L6:6An  
3. 理论技术 =~Jv*c  
3.1 参考波长与 g u+s#Fee I  
3.2 四分之一规则 -e%=Mpq.  
3.3 导纳与导纳图 ?9i7+Y"  
3.4 斜入射光学导纳 2 c'=^0:  
3.5 对称周期 uw+v]y  
4. 光学薄膜设计 n?pCMS|  
4.1 光学薄膜设计的进展 }i/&m&VU  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 0+8ThZ?
n  
4.3 光学薄膜设计技巧 Ts;W,pgP  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 t1B0M4x9  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 d\, 4Wet;#  
4.5.1 优化目标设置 MPO!qSS]  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， ywk;  
差分演化法） =rgWOn8  
4.5.3 膜层锁定和链接 _\"P<+!  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 (k M\R|  
5.1 减反射薄膜 nl5K1!1  
5.2 分光膜 )1j~(C)E8  
5.3 高反射膜 iTD}gC  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 ,-c(D-&  
5S$HDO&  
5.6 负滤光片 )X\.Xr-6q  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 $7)O&T*q'  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 Ats"iV  
5.9 Stack 应用范例说明 [ZURs3q  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 dWD,iO_"@  
6.1 背景介绍 $2>tfKhtA  
6.2 产品特性 ACl:~7;  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 Oe$cM=Yf  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 lIzJO$8cM  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 o^&; `XOd  
7. 防雾薄膜 ]02 l!"  
7.1 自清洁效应 #Opfc8pm'  
7.2 超亲水薄膜 S97.O@V!$  
7.3 超疏水薄膜 7!oqn'#>A  
7.4 防雾薄膜的制备 7L;yN..0  
7.5 防雾薄膜的性能测试 I6y&6g  
8. 材料管理 "XC6 l4Z  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 K^{`8E&A  
8.2 金属与介质薄膜 S;ulJ*qv  
8.3 材料模型 OM!ES%c,  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 %/etoK  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 dhK$XG  
8.6 基板光学常数的提取 s^V8FH  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 K!I]/0L  
9. 薄膜制备技术 ^#3$C?d  
9.1 常见薄膜制备技术 l`I]eTo)^  
9.2 光学薄膜制备流程 GeHDc[7  
9.3 淀积技术 mkE*.I0=  
9.4 工艺因素 x0lX6 |D  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 Q=PaTh   
10.1 光学薄膜监控技术 &p;};n  
10.2 误差分析与监控决策 Z(as@gjH  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 D<++6HN&#  
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