[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 V
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协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） DdO'  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 y]9UFL"  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） WfN
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课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） p2(_YN;s  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 59]9-1" +  
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课程简介 :n9^:srGZH  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 ~Xw?
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材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 Uroj%xN  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 f|0QN#$  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 #Q7$I.O]  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 R*m"'|U  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 qQvb;jO  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 <z)G& h@  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 G'f"w5%qZv  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 FJ"9Hs2  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 SqB|(~S  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 >6+K"J-@  
&N0|tn  
课程大纲 NM.B=<Aw*  
1. Essential Macleod 软件介绍 ,&G M\FTeb  
1.1 介绍软件 qKC*jDW  
1.2 运行程序 mO.U)tL[  
1.3 创建一个简单的设计 T_T{c+,Zd$  
1.4 绘图和制表来表示性能 "|SE#k  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 7d)' y  
1.6 创建一个默认设计 Jx w<*  
1.7 文件位置 *rT(dp!Y  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 qw1J{xoHW  
q2vz#\A?  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 A!yLwkc:5  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） caht4N{T  
1.11 单位定义 _9r
{W65s  
1.12 软件如何进行数据插值 ,O$C9pH9  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） KW^aARJ)  
1.14 特定设计的公式技术 IIiN1 Lu,5  
1.15 交互式绘图 kELyD(^P`  
2. 光学薄膜理论基础 g<%-n,  
2.1 介质和波 taaAwTtk?A  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 i]pG}SJ  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 eCD,[At/  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 U{(07GNm#  
2.5 光学薄膜设计理论 8 GN{*Hg  
3. 理论技术 puF Z~WZ  
3.1 参考波长与 g ^MV%\0o  
3.2 四分之一规则 V.:A'!$#  
3.3 导纳与导纳图 dC#\ut%l  
3.4 斜入射光学导纳 bz]O(`  
3.5 对称周期 %;$Y|RbmqE  
4. 光学薄膜设计  _Qc\v0%  
4.1 光学薄膜设计的进展 vI}S6-"<  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 8-YrmP2k  
4.3 光学薄膜设计技巧 v"~I( kf$  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 W=]",<  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 4+,Z'J%\[7  
4.5.1 优化目标设置 %[m1\h"1  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， [S+-ovl  
差分演化法） uiA:(2AQ  
4.5.3 膜层锁定和链接 a@ }r[0O  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 Q}]
kw}b  
5.1 减反射薄膜 i]%"s_l  
5.2 分光膜 t'x:fO?cp  
5.3 高反射膜 6qpV53H  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 @A'1D@f#  
w8I&:"^7<  
5.6 负滤光片 5V8C+k)  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 5>Yd\(`K  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 ?<^AXLiKV  
5.9 Stack 应用范例说明 15DK\_;  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 Cbs4`D
,  
6.1 背景介绍 CT%m_lN  
6.2 产品特性 PGl-2Cr  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 N2s%p6RMPD  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 bKZ#>%|:o  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 fhx:EZ:~  
7. 防雾薄膜
pu*u[n  
7.1 自清洁效应 kA=~8N  
7.2 超亲水薄膜 E?U]w0g  
7.3 超疏水薄膜 0.+eF }'H  
7.4 防雾薄膜的制备 fO!O"D5  
7.5 防雾薄膜的性能测试 aZGDtzNG5h  
8. 材料管理 q%Jy
>IXt  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 4,ynt&  
8.2 金属与介质薄膜 Al=? j#J6p  
8.3 材料模型 ~U6YN_W  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 v/.h%6n?  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 o 0ivja  
8.6 基板光学常数的提取 '?3z6%
 
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 h^$
}1[  
9. 薄膜制备技术 :P~& b P  
9.1 常见薄膜制备技术 'oQP:*Btl3  
9.2 光学薄膜制备流程 G5y  
9.3 淀积技术 Cy:`pYxhd  
9.4 工艺因素 B00wcYM<1r  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 _D,f4.R  
10.1 光学薄膜监控技术 Cf=q_\0|W  
10.2 误差分析与监控决策 Zbh]SF{3F  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 @EOR]^?!]  
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