[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 @sly-2{e1  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） @Md%gEh;&  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 X>mY`$!/  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） *Dld?Q  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） "}UJ~ j).  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 \^iPU 27H  
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课程简介 gnmKh>0@6o  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 <@FOqi{o{  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 V,bfD3S3  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 |pJ)w  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 ;crQ7}k  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 HlqvXt\  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 'v^CA}  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 2Yt#%
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相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 9l2,:EQ
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使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 e&f9/r
fx  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 (OT /o&cQ  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 $X_JUzb  
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课程大纲 *vFVXJ
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1. Essential Macleod 软件介绍 Go3EWM`Cd8  
1.1 介绍软件 }}XYV eI  
1.2 运行程序 edhNQWn  
1.3 创建一个简单的设计 brJ_q0@  
1.4 绘图和制表来表示性能 {]plT~{e  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 7 Xe|P1@)  
1.6 创建一个默认设计 b7g\wnV8z  
1.7 文件位置 kM5N#|!  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 2?ac\c6"  
Z<ozANbk  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 J@Eqq
yf"  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） vJDK]p<}  
1.11 单位定义 GHeJpS  
1.12 软件如何进行数据插值 /*g3TbUs  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） `O(ec  
1.14 特定设计的公式技术 O{a<f7 W  
1.15 交互式绘图 / <WB%
O  
2. 光学薄膜理论基础 <b>
@'\w9  
2.1 介质和波 A_1cM#4  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 Rk.
YnA_J6  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 5R}Qp<D[^  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ')t :!#  
2.5 光学薄膜设计理论 cc7*O  
3. 理论技术 %se4aeOrX  
3.1 参考波长与 g L<!}!v5ja  
3.2 四分之一规则 ]&\HAmOQS  
3.3 导纳与导纳图 8 $0D-z  
3.4 斜入射光学导纳 F+Rto
q|  
3.5 对称周期 X=_pQ+j`^  
4. 光学薄膜设计 j*>+^g\Q6  
4.1 光学薄膜设计的进展 h`dtcJ0  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 "Wr5:T-;  
4.3 光学薄膜设计技巧 TSqfl/UI  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 OiX
:h#  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 ,~8:^*0s  
4.5.1 优化目标设置 t m?[0@<s  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， J]/TxUE  
差分演化法） ES!$JWK|  
4.5.3 膜层锁定和链接 c^vPd]Ed  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 F,Q\_H##x4  
5.1 减反射薄膜 r#iZ FL3q  
5.2 分光膜 u Jy1vI  
5.3 高反射膜 [2#5;')  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 lY/{X]T.(  
zWpJ\/k~  
5.6 负滤光片 6M9t<DQV  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 3Yf&F([t  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 o&P}GcEIw  
5.9 Stack 应用范例说明 `Bk7W]{L  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 01N"  
6.1 背景介绍 &Oc^LV$6  
6.2 产品特性 W[BZ/  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 JP`$A  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 rF:C({y  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 
;q]Jm  
7. 防雾薄膜 [ qt hn[3  
7.1 自清洁效应 RY'f%c  
7.2 超亲水薄膜 >(mp$#+w  
7.3 超疏水薄膜 ~$n4Yuu2[  
7.4 防雾薄膜的制备 &<6E*qM  
7.5 防雾薄膜的性能测试 2^w3xL"   
8. 材料管理 b"n8~Vd  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 K}"xZy Tm1  
8.2 金属与介质薄膜 RUqN,C,m5I  
8.3 材料模型 ,?k[<C  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 D ]Q,~Y&'  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 G n"]<8yl~  
8.6 基板光学常数的提取 \MBbZB9@  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 HA&7 ybl  
9. 薄膜制备技术 1Q\P] -  
9.1 常见薄膜制备技术 _+PiaJ&'  
9.2 光学薄膜制备流程 I^"ouM9}Q  
9.3 淀积技术 zaWy7@?  
9.4 工艺因素 )!.ef6

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10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 MuXp*s3[  
10.1 光学薄膜监控技术 i ,Cvnp6Lv  
10.2 误差分析与监控决策 i!g}PbC[  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 CXt9 5O?  
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