[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 "68X+!  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） jt9- v-  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 ~Eb:AC5  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） (\r^0>H  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） kt\,$.
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授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 h+&iWb3;  
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课程简介 P{:Zxli0  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 Hvy$DX|p  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 ;(;~yB|NZ5  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 ^;9l3P{  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 AkdO:hVtG  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 HY?#r]Ryt  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 ;3xi.^=B  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 )PYh./_2  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 v^F00@2I  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 a~LdcUYs  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 e>.^RtDF  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 -1NR]#P'  
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课程大纲 _*8 6  
1. Essential Macleod 软件介绍 b`j9}tZ  
1.1 介绍软件 /0Qo(  
1.2 运行程序 in,0(I&I  
1.3 创建一个简单的设计 UJ%.KU%Q}  
1.4 绘图和制表来表示性能 W/WP }QM  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 N;BuBm5K  
1.6 创建一个默认设计 h&v].l  
1.7 文件位置 `d4xX@  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 NZADHO@0  
v<)&JlR  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 @qjN>PH~  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） Eyk:pnKJb  
1.11 单位定义 x?u@ j7[  
1.12 软件如何进行数据插值 bwP@}(K  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） cXf/  
1.14 特定设计的公式技术 4KSq]S.  
1.15 交互式绘图 MZcvr9y  
2. 光学薄膜理论基础 $UK m[:7  
2.1 介质和波 +/kOUz/]  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 c9Cc%EK  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 >+.GBf<E  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 I*(kv7(c0  
2.5 光学薄膜设计理论 K7(k_4  
3. 理论技术 E]g6|,4~-  
3.1 参考波长与 g n+Conp/  
3.2 四分之一规则 #2:?N8vz*  
3.3 导纳与导纳图 f?eq-/UR  
3.4 斜入射光学导纳 +opym!\  
3.5 对称周期 V lO^0r^z  
4. 光学薄膜设计 $v
e$Sq  
4.1 光学薄膜设计的进展 GE=S.P;  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 !Y7$cU &  
4.3 光学薄膜设计技巧 a MFUj+^  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 J.U%W}Hx  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 `_ M+=*}  
4.5.1 优化目标设置
ePv`R'#  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， oTXIs4+G  
差分演化法） -O=xgvh"  
4.5.3 膜层锁定和链接 |*h{GX.(  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 O&;d82IA{  
5.1 减反射薄膜 /kRCCs8t}  
5.2 分光膜 hy%5LV<(  
5.3 高反射膜 opN4@a7l  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 8@S]P0lk  
7,Z<PE  
5.6 负滤光片 o]qwN:8^  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 zzo93d  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 es%py~m)  
5.9 Stack 应用范例说明 /iQh'rp  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 ! os@G  
6.1 背景介绍 F  Qk  
6.2 产品特性 S0:Oep   
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 [cznhIvyO  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 gn~^Ajo  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 /Qef[$!(  
7. 防雾薄膜 c9CFGo?)N  
7.1 自清洁效应 2g?q4e,  
7.2 超亲水薄膜 -m>3@"q  
7.3 超疏水薄膜 ,`YBTU  
7.4 防雾薄膜的制备 W
$;qhB  
7.5 防雾薄膜的性能测试  6Bcr.`  
8. 材料管理 g&EK^q  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 qP#
#C&+#q  
8.2 金属与介质薄膜 QUvSeNSp  
8.3 材料模型 W ;+()vC  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 ~!g2+^G7+P  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 f5un7,m  
8.6 基板光学常数的提取 Fo;:GX,b  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 `"yxmo*0  
9. 薄膜制备技术 }gt)cOaY  
9.1 常见薄膜制备技术 t)?K@{ 9  
9.2 光学薄膜制备流程 dtfOFag4_  
9.3 淀积技术 -Eq[J k  
9.4 工艺因素 -{9mctt/gE  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 mXS]SE  
10.1 光学薄膜监控技术 ANM=:EtP  
10.2 误差分析与监控决策 ONDO xXs  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 }' Y)"8AIA  
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