[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 ,@%1q)S?A  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） .g DWv  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00
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授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） 3sc5meSu'  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） 8#'<SB  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 rxCEOG  
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课程简介 ('Wo#3b$  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 & S_gNa  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 -[i9a:eRM  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 %]nYv#K  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 ZT4._|2
 
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 >8Zz<S&z  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 Fwyv>U  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 K@U"^ `G2  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 ^"v~hjM#  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 i;lzFu)G  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 N72z5[..  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 cy7GiB2'  
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课程大纲 9_JK.  
1. Essential Macleod 软件介绍 p.TR1BHw  
1.1 介绍软件 ma@ws,H  
1.2 运行程序  dKDtj:  
1.3 创建一个简单的设计 UoPd>q4Uj  
1.4 绘图和制表来表示性能 "UKX~}8T
 
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 }Xyu"P  
1.6 创建一个默认设计 |TF,Aj  
1.7 文件位置 6:>4}WOP  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 r!V#@Md  
l@Ma{*s6=5  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 ,,mkB6;  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） 'cy35M  
1.11 单位定义 _o~<f)E[9  
1.12 软件如何进行数据插值 NZ9=hI;iM  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） !vfjo[v  
1.14 特定设计的公式技术 v3[Z]+ ]  
1.15 交互式绘图 0z&3jWWY@  
2. 光学薄膜理论基础 dr^pzM!N  
2.1 介质和波 8U0y86q>)E  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 (S0MqX*  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 .x$+R%5U  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 4pV.R5:  
2.5 光学薄膜设计理论 ~/Aw[>_;  
3. 理论技术  ;4 R1  
3.1 参考波长与 g IGEf*!  
3.2 四分之一规则 y`:}~nUdT  
3.3 导纳与导纳图 k6ERGQ9|I  
3.4 斜入射光学导纳 ;5=J'8f  
3.5 对称周期 6AqHz
eh  
4. 光学薄膜设计 YZ:YYcr  
4.1 光学薄膜设计的进展 oc?,8I[P5  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 gsI"G
  
4.3 光学薄膜设计技巧 n%I%Kbw  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 ~-GgVi*I  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 AnU,2[(  
4.5.1 优化目标设置 Vi23pDZ5  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， /tc*jXB  
差分演化法） F)j-D(c4  
4.5.3 膜层锁定和链接 mC n,I  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 UA>~xJp=  
5.1 减反射薄膜 dc5w_98o  
5.2 分光膜 *GbC`X)
 
5.3 高反射膜 {#:js  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片  IKKd  
&fdH HN  
5.6 负滤光片 #R"9(Q&  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 %CfJ.;BDNE  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 ,G e7 9(  
5.9 Stack 应用范例说明 Tc,Bv7:  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 bsC~ 2S\o  
6.1 背景介绍 A1{P"p!  
6.2 产品特性 gZ%B9i:  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 l]W
Vgu  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 SOE#@{IXBa  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 \o?zL7  
7. 防雾薄膜 2WIL0Siwl  
7.1 自清洁效应 a k@0M[d  
7.2 超亲水薄膜 yAU[A  
7.3 超疏水薄膜 jRm:9`.Q  
7.4 防雾薄膜的制备 4wX{N   
7.5 防雾薄膜的性能测试 chQt8Ar3  
8. 材料管理 Y]{<IF:  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 eU1= :n&&\  
8.2 金属与介质薄膜 DOaEz?2)  
8.3 材料模型 >"f,'S5*  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 OwwH 45  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 jx!)N>  
8.6 基板光学常数的提取 /4YXx|V  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 ^5qX+!3r{  
9. 薄膜制备技术 L=iaL[zdJ  
9.1 常见薄膜制备技术 v/c8P\  
9.2 光学薄膜制备流程 sD1L 
P  
9.3 淀积技术 muQH!Q  
9.4 工艺因素 VW<s_  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 mAhtC*  
10.1 光学薄膜监控技术 ta> g:  
10.2 误差分析与监控决策  LS,/EGJ  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 >^Klq`"?g=  
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