[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 T6H"ER$  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） UsQv!Cwu^  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 !wrl.A/P  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） VH*j3  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） 2 ;B[n;Q{  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 U(./LrM05  
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课程简介 @V:b Co  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 fWm;cDM H  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 n?,fF(  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 9/s-|jD  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 L761m7J]B  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 y+:<  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 0l_-   
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 *pasI.2s#  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 6!Isz1.re  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 EoY#D'[  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 T  |j^  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 "Ln\ZYB]  
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课程大纲 |J}~a8o  
1. Essential Macleod 软件介绍 %n}]$ d  
1.1 介绍软件 OC\C^Yh*U  
1.2 运行程序 :,VyOmf  
1.3 创建一个简单的设计 oW+R:2I~O  
1.4 绘图和制表来表示性能 \O/=g6w|t}  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 E0oJ|My  
1.6 创建一个默认设计 Bv=Z*"Fv  
1.7 文件位置 AARhGx|L<  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 E>V8|Hz;  
*smo{!0Gg  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 d7G'
+B1  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） w|5}V6WD  
1.11 单位定义 z(%Zji@!N  
1.12 软件如何进行数据插值 Sdt @"6  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） pI^n("|  
1.14 特定设计的公式技术 5g&'n  
1.15 交互式绘图 6% ,Q  
2. 光学薄膜理论基础 L]tyL)  
2.1 介质和波 uuC/F_='B  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 $Y4 Ao-@  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 [wOO)FjT  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ?
QMs<  
2.5 光学薄膜设计理论 !9N%=6\  
3. 理论技术 p{U8z\  
3.1 参考波长与 g $ `ho+  
3.2 四分之一规则 *LhR$(F(  
3.3 导纳与导纳图 AP\E  
3.4 斜入射光学导纳 O0I/^  
3.5 对称周期 UmJg-~  
4. 光学薄膜设计 }ps6}_FE  
4.1 光学薄膜设计的进展 }z*p2)v`  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 P~*fZ)\}F@  
4.3 光学薄膜设计技巧 <<xJ-N  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 w5nRgdboy!  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 bVrvb`0  
4.5.1 优化目标设置
KVntBe]I  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， 2-CK:)n/#  
差分演化法） l{3utQH-=z  
4.5.3 膜层锁定和链接 b13>>'BMB  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 `<Ftn  
5.1 减反射薄膜 NdZ: 
7  
5.2 分光膜 :=8vy  
5.3 高反射膜 doa$ ;=wg  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 AuCVpDH  
ls5S9R 5  
5.6 负滤光片 %SE
g(<  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 LSs={RD2+p  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 - t+Mh.  
5.9 Stack 应用范例说明 5-J-Tn  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 {J]|mxo  
6.1 背景介绍 Nf~<xK  
6.2 产品特性  e?7paJ  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 $OO[C={v[  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 E0|aI4S4  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 BCj&z{5"7e  
7. 防雾薄膜 (1o^Dn3  
7.1 自清洁效应 A4^+p0@  
7.2 超亲水薄膜 )>/c/B  
7.3 超疏水薄膜 v3NaX.  
7.4 防雾薄膜的制备 C+mU_g>  
7.5 防雾薄膜的性能测试 e'`oisJU?q  
8. 材料管理 tX_eN  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 wfdFGoy(  
8.2 金属与介质薄膜 o6r4tpiR5  
8.3 材料模型 gM*s/,;O"  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 p#kC#{<nE  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 JjmL6(*ui  
8.6 基板光学常数的提取 ZUu^==a  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 2*|]#W
 
9. 薄膜制备技术 cm]]9z
_<  
9.1 常见薄膜制备技术 t'J fiGM  
9.2 光学薄膜制备流程 u62sq: GjH  
9.3 淀积技术 gU?)  
9.4 工艺因素 piP8ObGjy  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 ~JXHB
X  
10.1 光学薄膜监控技术 aPC!M4#  
10.2 误差分析与监控决策 =T-w.}27O  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 w.8~A,5}Dh  
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