[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 ZPN roCK`  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ow=UtA-^O  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 JPM))4YDR  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） }{9&:!uA  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） <mMTD8Sx]  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师
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课程简介 Z4$cyL'
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当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 7`IpBm<  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 /"H`.LD.?  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 )Rat0$6  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 =$8nUX`  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 P #F=c34u  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 Zc |/{$>:W  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 *=ZsqOHwG  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 K ]OK:hY4  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 }0`nvA
f  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 ,h\sF#|  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 8 #X5K  
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课程大纲
X0;4_,=  
1. Essential Macleod 软件介绍 ']-@?sD$  
1.1 介绍软件 `dMqe\o
%!  
1.2 运行程序 p47S^gW  
1.3 创建一个简单的设计 %B5r"=oO  
1.4 绘图和制表来表示性能 v1k)hFjPK  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 'Djm0  
1.6 创建一个默认设计 ~1m2#>  
1.7 文件位置 7J28JK  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 e6X[vc|Y}  
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RB  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 &Lt[WT$  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） gw`B"c|  
1.11 单位定义 @\oz4^  
1.12 软件如何进行数据插值 cWGDee(  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） }),w1/#5u8  
1.14 特定设计的公式技术 _ 7PMmW@  
1.15 交互式绘图 cr?7O;,  
2. 光学薄膜理论基础 &~UJf4b|A  
2.1 介质和波 1CPjil*eb  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 FG3UZVUg9  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 6qe*@o  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 e}@)z3Q<l  
2.5 光学薄膜设计理论 KV|}#<dD  
3. 理论技术 V>64/  
3.1 参考波长与 g ~
'5  
3.2 四分之一规则 U7xmC  
3.3 导纳与导纳图 bsxTqJ  
3.4 斜入射光学导纳 1iL'V-y  
3.5 对称周期 'sp-%YlM -  
4. 光学薄膜设计 cH<q:OYi  
4.1 光学薄膜设计的进展 Sx*oo{Kk%  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 Gc.P,K/hr  
4.3 光学薄膜设计技巧 kVI#(uO  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 q(5j(G ;  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 B,z<%DAE  
4.5.1 优化目标设置 P3 c\S[F  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， /2{
5;  
差分演化法） Kx"<J@  
4.5.3 膜层锁定和链接 G>YAJo  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 a"/#+=[  
5.1 减反射薄膜 :RSz4   
5.2 分光膜 *F>v]8  
5.3 高反射膜 2>}xhQJ  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 _46X%k  
H7+X&#s%  
5.6 负滤光片 7z\m; 1  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 jNwjK
0?  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 d1!i(MaV!  
5.9 Stack 应用范例说明 DlMe5=n-u  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 6m.k;'  
6.1 背景介绍 V~GWl1#7  
6.2 产品特性 x?x`oirh  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 "+KJop  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 SUWD]k>PH  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 L_Q#(in  
7. 防雾薄膜 *O:r7_ Y0  
7.1 自清洁效应 Z') pf  
7.2 超亲水薄膜 9 7%0;a8  
7.3 超疏水薄膜 K.C> a:J  
7.4 防雾薄膜的制备 sUl6hX4  
7.5 防雾薄膜的性能测试 %CZ-r"A  
8. 材料管理 7;.xc{  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 N_4eM,7t  
8.2 金属与介质薄膜 |CgnCUv+  
8.3 材料模型 .*=]gZ$IE  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 _!xD8Di#  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 :
H.   
8.6 基板光学常数的提取 <1w/hy&mWN  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 -]C

c  
9. 薄膜制备技术 sDqe(x}a  
9.1 常见薄膜制备技术 [LT^sb  
9.2 光学薄膜制备流程 nmlPX7!{$  
9.3 淀积技术 |eoid?=  
9.4 工艺因素 STfyCtS  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 k<w(i k1bi  
10.1 光学薄膜监控技术 qZ@0]"h  
10.2 误差分析与监控决策 Mv|ykJoz"  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 3>
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