[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 u^^vB\"^  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ISzqEi  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 ^NLmgwQ  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） ;/bewivNJ  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） /RG:W0=K  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 'I`&Yo~c9  
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课程简介 zU,9T  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 H!@kO]?n  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 d.[8c=$  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 _H9 MwJ  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 UI0(=>L  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 ru'F6?d  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 ?'IP4z;y  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 *~2,/D  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 /~DI 6g  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 zp6C3RG(  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 M#ZcY  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 Vo4,@scG  
]q\b,)4 e  
课程大纲 @Rg/~\K  
1. Essential Macleod 软件介绍 c|f<u{'  
1.1 介绍软件 gBd]B03  
1.2 运行程序 R%Hi+#/dr-  
1.3 创建一个简单的设计 .7O*pJ2(H  
1.4 绘图和制表来表示性能 +<'Ev~  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 <3L5"77G6  
1.6 创建一个默认设计 'Oxy$U   
1.7 文件位置 "H2EL}3/]  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 &`h{iK7  
'"`IC\N^  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 2Zm0qJ  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） ;[(oaK@+n  
1.11 单位定义 *=) cQeJ  
1.12 软件如何进行数据插值 0`Kj25  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） C=-=_>Q,L<  
1.14 特定设计的公式技术 bjyZk_\  
1.15 交互式绘图 .28<tEf  
2. 光学薄膜理论基础 ;:iY)}  
2.1 介质和波 %]\kgRr  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 ~cWAl,(B<F  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 >3ZFzh&OYQ  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 7 G)ZN{'  
2.5 光学薄膜设计理论 5sdn[Tt##  
3. 理论技术 G`+T+  
3.1 参考波长与 g K~uXO  
3.2 四分之一规则 ?llXd4  
3.3 导纳与导纳图 85>05?  
3.4 斜入射光学导纳 84$nT>c  
3.5 对称周期 }pDqe;a{  
4. 光学薄膜设计 r=Gks=NX"  
4.1 光学薄膜设计的进展 v0ujdp,B  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 # q~e^A b  
4.3 光学薄膜设计技巧 [<7@{;r  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 >u>5{4  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 1}S S+>`  
4.5.1 优化目标设置 C,wL0Yj[  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， o\BOL3H  
差分演化法） 90Pl$#cb2  
4.5.3 膜层锁定和链接 Uq[>_"}  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 ,k.3|aZE  
5.1 减反射薄膜 
czA5n  
5.2 分光膜 :8I9\eet3  
5.3 高反射膜 svsqg{9z  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 v>:Ur}u!D  
d^@dzNv  
5.6 负滤光片 i6R~`0>Q  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 F7A=GF'  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 
^pxX]G]  
5.9 Stack 应用范例说明 z-BXd  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 $>G8_q  
6.1 背景介绍 H  >j  
6.2 产品特性 bNm#tmSt  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 .rO]M:UY  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 QaS1
Dh  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 kd>hhiz|  
7. 防雾薄膜 \<.+rqa!  
7.1 自清洁效应 Vn7*JS  
7.2 超亲水薄膜 1=r#d-\tR  
7.3 超疏水薄膜 >/g#lS 5  
7.4 防雾薄膜的制备 `V=N*hv`  
7.5 防雾薄膜的性能测试 0[
A[U_b  
8. 材料管理 [\'%?BH(^  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 I+BHstF5um  
8.2 金属与介质薄膜 ) dn(G@5  
8.3 材料模型 O80<Z#%j`  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 ^b/ Z)3  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 g~ZvA(`  
8.6 基板光学常数的提取 >x/z7v?^I  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 T{Gj+7bQ~  
9. 薄膜制备技术 J\/cCW-rF  
9.1 常见薄膜制备技术 4<9=5
q]  
9.2 光学薄膜制备流程 %;cddLQ\xY  
9.3 淀积技术 +GG9^:<yr  
9.4 工艺因素 8R2QZXJb-  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 uya.sF0]9B  
10.1 光学薄膜监控技术 4Z1ST;  
10.2 误差分析与监控决策 -jW.TT h]  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 dpJ_r>NI  
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