[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 ]!o,S{a&  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） R*eM 1  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 <f{`}drp/  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） 5MU@g*gj,C  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） >Nl~"J|]q  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 \1D,Kx;Cb  
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课程简介 eG>Fn6G<g  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 sn`?Foh  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 C)}LV  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 ([o:_5/8I  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 5{aQ4H>~tx  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 "E!p1  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 pR>QIZq<gT  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 m?G+#k;K  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 t1s@Ub5);I  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 2DdLqZY#  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 9gayu<J  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 t
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5j5t?G;d,  
课程大纲 `&7
?+s  
1. Essential Macleod 软件介绍 qZ1PC
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1.1 介绍软件 Q_Squuk  
1.2 运行程序 :u93yH6~8  
1.3 创建一个简单的设计 O4mWsr  
1.4 绘图和制表来表示性能 NZ9,9  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 >m{-&1Tx  
1.6 创建一个默认设计 :8T@96]P  
1.7 文件位置 '-TFrNO;h  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 sJ()ItU5i
 
v3#47F)  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 I@v.Hqg+7  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） 1&E&8In]$r  
1.11 单位定义 8#-}3~l[  
1.12 软件如何进行数据插值 MRu+:Y=K  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） <rxem(PPu  
1.14 特定设计的公式技术 >pHvBFa3G  
1.15 交互式绘图 P^+>QJ1  
2. 光学薄膜理论基础 * OFT)S  
2.1 介质和波 Py<vN!
 
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 .AS,]*?Zn%  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 )A;<'{t #L  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 =J\7(0Dz4t  
2.5 光学薄膜设计理论 G&Sg.<hn  
3. 理论技术 ||NCVGJG  
3.1 参考波长与 g mt7:`-  
3.2 四分之一规则 \LXNdE2B  
3.3 导纳与导纳图 (b!DJ;(O9  
3.4 斜入射光学导纳 wt,N<L  
3.5 对称周期 i/B"d,=<  
4. 光学薄膜设计 u?/]"4
  
4.1 光学薄膜设计的进展 ).b+S>k  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 xSZw,  
4.3 光学薄膜设计技巧 <h0ptCB  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 roQIP%h!  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 ]"_'o~  
4.5.1 优化目标设置 e@YR/I8my  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， Yb*}2  
差分演化法） /2I("x]  
4.5.3 膜层锁定和链接 e&nw&9vo  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 vS
<e/e+  
5.1 减反射薄膜 '(*D3ysU  
5.2 分光膜 6, ~aV  
5.3 高反射膜 9!h+LGs(,  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 h~t]WN  
Sj+#yct-  
5.6 负滤光片 @,.H)\a4  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 #UIg<:  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 B$j,:^  
5.9 Stack 应用范例说明 iqYc&}k,  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 v-qS 'N4  
6.1 背景介绍 ZO^+KE"  
6.2 产品特性 E}+A)7mA  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 xa:P(x3[  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 X)S4rW%  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 CJ b~~  
7. 防雾薄膜 = %m/  
7.1 自清洁效应 kPe9G  
7.2 超亲水薄膜 >6j`ZWab>  
7.3 超疏水薄膜 X:5*LB\/v  
7.4 防雾薄膜的制备 !JA63  
7.5 防雾薄膜的性能测试 %iNDRLR%I  
8. 材料管理 C+j+q648>  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 up?8Pq*  
8.2 金属与介质薄膜 |v&&%>A2  
8.3 材料模型 `P~RG.HO  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 ),eiJblH  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 Fk:(%ci  
8.6 基板光学常数的提取 B~IOM  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 fA^O  
9. 薄膜制备技术 {3>^nMv@e  
9.1 常见薄膜制备技术 `JCC-\9T_  
9.2 光学薄膜制备流程 }PJ:9<G y  
9.3 淀积技术 :|g{gi  
9.4 工艺因素 as8<c4:v  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 $) $sApB  
10.1 光学薄膜监控技术 y;H 3g#  
10.2 误差分析与监控决策 _ U\vHa$#  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 vL7}0n>tz  
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