[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 y8w0eq94  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） &\1'1`N1  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 ,C{^`Bk-W  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） X(GmiH /E  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） -yC:?  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 +z:CZ(fb  
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课程简介 g>~cs_N@  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 ]~ !XiCqu  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 1 [Sv  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 NZo<IKD$  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 ;.ysCF  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 U@.u-)oX  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 %bIsrQ
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透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 B*?ZE4`  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 b:P\=k]8#  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 T!l mO?Q  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 `*e4m  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 87^:<\pp  
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课程大纲 SkiJpMN  
1. Essential Macleod 软件介绍 k
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1.1 介绍软件 mi7sBA9L8  
1.2 运行程序 ^Sy^+=wK3  
1.3 创建一个简单的设计 C(-[ Y!  
1.4 绘图和制表来表示性能 XVQL.A7  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 { EA2  
1.6 创建一个默认设计 $d'CBsu|<  
1.7 文件位置 <1aa~duT  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 j#N(1}r=1  
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1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 f;.SSiT  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） h ZoC _\  
1.11 单位定义 !xkj30O(G  
1.12 软件如何进行数据插值 6#<Ir @z  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） qE>i,|rP`  
1.14 特定设计的公式技术 I+0c8T(:  
1.15 交互式绘图 H}vn$$ O  
2. 光学薄膜理论基础 y0,Ft/D  
2.1 介质和波 +x(YG(5\w  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 u\`/Nhn  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 5B%w]n  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 Q"A_bdg5  
2.5 光学薄膜设计理论 ~\2;i]|  
3. 理论技术 YVoao#!  
3.1 参考波长与 g F4Rr26M  
3.2 四分之一规则 Y|mW.  
3.3 导纳与导纳图 I?^aCnU  
3.4 斜入射光学导纳 ,1,&b_  
3.5 对称周期 qtO1hZ  
4. 光学薄膜设计 nt7|f,_J  
4.1 光学薄膜设计的进展 {`a(Tl8V  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 /K f L+"^|  
4.3 光学薄膜设计技巧 !6lOIgn  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 {Jrf/p9w  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 sr\cVv")  
4.5.1 优化目标设置 Qe_+r(3)k  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， oWI!u 5  
差分演化法）  Q.yb4  
4.5.3 膜层锁定和链接 +vf:z?I
8  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 Wu,S\!
 
5.1 减反射薄膜 Q |%-9^  
5.2 分光膜 6;gLwOeOHY  
5.3 高反射膜 sa G8g  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 F'1k<V?  
xpAok]  
5.6 负滤光片 M;qBDT~)  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 K!p,x;YX  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 ^_sQG  
5.9 Stack 应用范例说明 P/G>/MD/l  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 $%=G[/i'  
6.1 背景介绍 "TfI+QgLF  
6.2 产品特性 
[_
V:)  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 K U$`!h  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 mg`j[<wp  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 ~T%Ui#Gc  
7. 防雾薄膜 Bhe{L?}0  
7.1 自清洁效应 s"WBw'_<<  
7.2 超亲水薄膜 ;,k=<]  
7.3 超疏水薄膜 dq(E&`SzK  
7.4 防雾薄膜的制备 aZ6'|S;  
7.5 防雾薄膜的性能测试 NEw$q4  
8. 材料管理
q4/909x=  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 `"c'
z;  
8.2 金属与介质薄膜 o,1Dqg4P3  
8.3 材料模型 gX^ PSsp  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 J:AMnUOcDi  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 { D+Ym%n  
8.6 基板光学常数的提取 *}w+68eO  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 s9i|mVtm8  
9. 薄膜制备技术 ^&Q<tN7  
9.1 常见薄膜制备技术 N'QqJe7Z  
9.2 光学薄膜制备流程 ,5{$+  
9.3 淀积技术 FAw1o  
9.4 工艺因素 s7l23*Czl  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 'OD)v  
10.1 光学薄膜监控技术 /OG zt  
10.2 误差分析与监控决策 M?$ZJ-  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 O%&cE*eX  
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