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任务/系统视图 I" sKlMD Jd1eOeS  `ZV;Le ' ),bdj+wr78 亮点 yuFuYo&[?v pl fz)x3  , X$S4>
_PNU*E%s< 显微镜系统中光栅的全矢量分析 i-sE \m 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 w' M0Rd] 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 A!iH g__/t _3A$z A 说明：光源 {!^HG+ MrOW&7  ~ D3'-,n[ Wf: AMxDm  MB ^ b)\X =5dv38 说明：透镜系统 U0jq.]P vU{ZB^+&6o  ) 4GfT 说明：样品结构 1Lj\"+. T a /G  Ks7s2 vK^ v%zI~g.L 说明：探测器 q;kM eE* h3@mN\=h'  '| Q=J)
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 6_zL#7E' 1g rrb&K 结果：3D光线追迹 rX;(48Y dqF--)Nb  [>"qOFCr#: vNE91  & rw|fF|] u{6*}6@fi 结果：光线追迹 i9.5 2 3% <ia$  p' /$)klt |":^ 3 结果：光线追迹衍射级数 -pqShDar| qx_+mCZ  uY
"88| #exE ~@fy- 结果：场追迹采样平面 *"9 b?`E b GwLfU  00b
)B g .P ,\69g~A 结果：场追迹焦平面 @*%.V.
ZfvFs  "me J n/ ^=R>rUCmv 结果：减小光栅周期 hrcR"OZ~X
h ?p^D Po 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ~=0zZTG K bwWrf>
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