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任务/系统视图 P4.)kK.3q| Uy*d@vU9c  f>e0 l'\ .jiJgUa 7 亮点 f'*/IG w`fbUh6/  d[ _@l
:*^aSPlV 显微镜系统中光栅的全矢量分析 Jfo'iNOu 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 X|D-[|P 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 j-VwY/X $$EEhy 说明：光源 ~gHn>]S0 x-W~&`UU  u / DE Zz+v3o0  Ni|M TE]~
1.PN_9% 说明：透镜系统 'X6Z:dZY C+"c^9[  #) @#Qd 说明：样品结构 f~ /hsp~Hp ijvDFyN>  =vvd)og EUVD)+i t 说明：探测器 fE_%,DJE( 5#s],h  sI h5 cT
!m%'aQHH(
 [h !i{QD !^s -~`'\~ 结果：3D光线追迹 *j,bI Y&se {qU;;`P]|  <&2<>*/.y Q1ayd$W@<  !uO@4]:Y &:u3-:$:9 结果：光线追迹 v*FbvrY bsr]Z&9rrk  `9gV8u /xcXd+k] 结果：光线追迹衍射级数 ,zr,>^ v ZJc{P5a1J  #:P$a%V Km!ACA& s6 结果：场追迹采样平面 |yz
o|%]3 f6Lc" b3s1  \13Q >iA u S=.%aB 结果：场追迹焦平面 .MRN)p %{pjC7j# 
;(J&% u[PG/ploc 结果：减小光栅周期 9v;HE{>
-Eig#]Se3 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 VzIZT{ 6({)O1Z
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