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任务/系统视图 j MA%`*r .sUL5` b$FXRR\G U3w*z6OG 亮点 OL[_2m*;9p 1 z[blNs& Sq2yQSd P+3)YO1C 显微镜系统中光栅的全矢量分析 =`%%* 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 " 2@Ys*e 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 CY9`HQ1 J~G"D-l<9/ 说明:光源 p|w;StLy WTh|7& @yjui '?!2h' ;D<rGkry vGPaW YV 说明:透镜系统 ?Qs>L~ \'N|1!EO|t /t?(IcP5 说明:样品结构 gClDVO 8%9OB5?F6
4HDQj]z/ YuDNm}r[ 说明:探测器 O~&l.>?? ?jzadC el ({x<!5XL ^SRa!8z$W
z'X_s.9F 8JAT2a61ur 结果:3D光线追迹 R:JS)>B H\!u5o&}` -.WVuc` -/&6}lD j|WaWnl= 9uREbip 结果:光线追迹 egi?Qg 2=NYBOE 9~mi[l~ y]\R0lR 结果:光线追迹衍射级数 (;h]'I@ 9tC8|~Q BmUzsfD M !OI :v 结果:场追迹采样平面 Q<``}:y|> |@-WC. 7"JU)@ U] Fk(0q/b 结果:场追迹焦平面 (^Do#3 L ou4M {nOK*7+" NI s4v(! 结果:减小光栅周期 %dT%r=%Y 0I?3@Nz6 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 |_2ANWHz xD?{Hw>QT#
Ef `LBAfOO O x$|ZEh #CQ>d8& '\*Rw]bR|  iK%Rq
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