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任务/系统视图 JN{<oxI HF*j`} @/CRIei ,"P5D&,_ 亮点 ."~7 \E> t >E//pr)_Km l84h%, hg%@ W 显微镜系统中光栅的全矢量分析 6Y;Y}E 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 c'4>D,?1 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 $w|o@ Ml) kV*y_5g 说明:光源 S% JNxT7' XX]5T`D xB?S#5G} Gl?P.BCW.& PWf{aHsr
91-P)%? 说明:透镜系统 IUh5r(d 68 3R)cbwL LP5eFl`|T 说明:样品结构 =$"zqa.B6 .jU|gf:x .nj?;). c[wQJc 说明:探测器 3e!3.$4M ,^MW)Gf< p/\$P= 6.
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pm'@2dT TEaD-mY3 结果:3D光线追迹 HI"!n$p AmT|%j&3 W (=Wg|cr 2a._?(k_y &%f ]-=~ 4b3 F9 结果:光线追迹 O84v*=u A CX&yjT6` ch5`fm G+#| )V 结果:光线追迹衍射级数 IyG=
7 }}sRTW )Dk0V!%N >D`fp 结果:场追迹采样平面 \U)2
Tg 48 c
D3w Ckl7rpY+ a'_MhJ zs 结果:场追迹焦平面 I{?E /Sc 1K?
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J2 5C Y@R *O(/UVuD\ 结果:减小光栅周期 bMqu5G_q zbIwH6 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 |l6<GWG+ Oi
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