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任务/系统视图 w^ 8^0i- E o <N  h4>q~&Pd d^aLue>g;+ 亮点 wqQrby< !xC IvKW  G'_5UP!
]<o^Q[OL 显微镜系统中光栅的全矢量分析 LaIH3!M3 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 n]_<6{: U 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 _7-P8"m `uqsYY`V 说明：光源 Z#_VxA>]v R8u9tTW  J 35[GZ';D -hO[^^i9  ^ G>/;mZ 5A APtZ\lH 说明：透镜系统 ")GrQv a z]Mu8  Si[xyG6= 说明：样品结构 S6|L !pO b@N*W]  l:"zYcp% ')v<MqBr 说明：探测器 mr#XN&e a)M#O\i`  JiHk`e`
^Ea^t.c}_
 k3B] u.Lo ^sZ, (sc{G 结果：3D光线追迹 UYOR@x # 8` f=E h  (Z};(Hn JdA3O{mT)  zE4TdT1y| pr"~W8 结果：光线追迹 7TG Lt z 75#&hi/~  rXg#_c5j P}C;%KzA 结果：光线追迹衍射级数 3%SwCY d # Q_
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3S WO_ _,9/g^< 结果：场追迹采样平面 C{Er% Wfyap)y  3eS
*U`_ n g?kl|VG 结果：场追迹焦平面 ni P/i hiA%Tq?  ZA/:\6gm )o@-h85"; 结果：减小光栅周期 WscNjWQ^TD
9-?[%8 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ZAcW@xfb
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