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任务/系统视图 =6dAF"b) O.B9 w+G=  4}m9, Nj4CkMM[3 亮点 >; MJm }"T Q\v$  g& e u
v Woppt 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ~Q_7HJ=^$ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 _l7_!Il_ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 !{^kH;*u v'S ]g^ 说明：光源 */M`KP W < 8b1OdA  xZ`z+) b~vV++ou_  4tCM 2it% ar<8wq<4G 说明：透镜系统 csW\Q][ :*KTpTa  =Mx"+/Yo* 说明：样品结构 y-3'qq' E $97O7j@  J|
N 6r 6
^3RfF^W 说明：探测器 [bHm-X] *eoH"UFYQ#  eY :"\c3
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 ?\8aT "o -Rw3[4>@O" 结果：3D光线追迹 (O+d6oT=Z2
$L= Dky7  !=:>y WQ 3cghg ._  `TJhH<z"% ;"nO'wN:h 结果：光线追迹 u& I c ,A{Bx`o?  "BSY1?k{ +JtK VF 结果：光线追迹衍射级数 `;}`>! 8j 3tf_\E+mIi  u"qu!EY2 cIw X sx
结果：场追迹采样平面 D Yf2V6' ,<L4tp+y0  "v:k5a( U*a#{C7" 结果：场追迹焦平面 h7+"*fN 9Do75S{(  Xq$ -&~
Zeg'\&w0s 结果：减小光栅周期
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4N, [Gs<7 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 )L 9eLxI fsjLD|?|:
 P{ )D_Bi y7UU'k` c)#7T<>*' z~h ?"'  
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