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任务/系统视图 & _;=]t s p</t##]3ks  '*`n"cC: o(54 A[' 亮点 NqKeQez X yG~Vv pv  IpzU=+h
:f7!? ^;y> 显微镜系统中光栅的全矢量分析 a[zVC)N0 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 4< 1V 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 OC,yL Q Z)(#D($- 说明：光源 ZWuNl!l> 9CwtBil<#g  /03 Wst j<Pw0?~s6  QRl+ 7V U_aI!` WXd 说明：透镜系统 oIj/ V|ByK PW"?* ~&  L5d
YTLY 说明：样品结构 G;/>
N'# HtE^7i*_  ?AxB0d9z zJ1M$ U 说明：探测器 9$[M M*r 9w&CHg7D
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 0%\fm W j %t9Kc9u3p 结果：3D光线追迹 a.O"I3{?h ' MyJw*%b]  SZtSUt(ss @sd{V  TOP,]N/F
H -g 9 CW[ 结果：光线追迹 _Y6Ezh. 6oq^ n
s-  1UrkDz?X rniL+/-uU 结果：光线追迹衍射级数 SZ4@GK @LU[po1I  T2|<YJ = T# tFzbr 结果：场追迹采样平面 R*ex!u60M MScUrW!TA  \b)P4aL ?"}U?m= 结果：场追迹焦平面 V0#E7u`4
~xPetkl@  <A\g* ld %.uN|o&n 结果：减小光栅周期 5(Q-||J
[P)](8nR[ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 eIP k$j{e |VM=:}s&
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