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任务/系统说明 E rymx$@P
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R8Ei:f} 亮点 NZ? =pfK\s
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9*Mg<P " •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； gmH0-W)= •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； sBG (CpQ
nLLHggNAV 具体要求：光源
rlh6\Fa y&|{ x "  w9?wy#YI ;iI2K/ 3 具体要求：用于准直的消色差透镜 "+"dALX{3K ^\t">NJ^ GnHf9
J rR  ll^O+>1dO 4>eg@s N JZ0+VB-3U  `)_FO]m}jS L.&Vi"M <@ 具体要求：分束器 T{2//$T? pNme jz:  g(/O)G.
=7Gi4X% 具体要求：参考光路反射镜 :EAfD(D{) j[
YTg]  *VAi! 3Rx;
HUX+d4sg
 ApB'O ;5
\}(-9dr 具体要求：测试光路反射镜 obkv ]~ 6EGEwx  _E-GHj>k
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eG} ` 具体要求：探测器 4h@ of ' bJ[1'Es `  @ y %qQe/g 1KEPD@0oxx 结果：3D光线追迹 BbhdGFG1 {i?K~|
h  J )~=b_'< XX;%:?n 结果：场追迹 Qx#)c%v \\ V3nv5/6
 6!V* :.(
2 z l 结果：移动样品的场追迹结果 X *;p; N RozsRt;i  hkm3\wg 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 7~g0{W>Zm
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