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任务/系统说明 k,y#|bf,Y
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 R~bLEo
xH-} <7 亮点 ^1ks`1
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QY Wl`Yqf •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； n4zns,:)/ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； N mN:x&/
FFH {#|_1 具体要求：光源 n4
Y
]v *JaFt@ x  ]o_E]5"jO B^hK 具体要求：用于准直的消色差透镜 U4Pk^[,p1G Vb2")+*: j MA%`*r  w2tkJcQ3 t*Wx voxk ,-BZsZ0~  a[gN+DX%L OL[_2m*;9p 具体要求：分束器 Rh7=,= u ;<`  N?Ss/by8Sg
i4
tW8 Il 具体要求：参考光路反射镜 X .S8vlb4z n]btazM{  FD}>}f Lv
+z\O"zlj
 +'I8COoiv%
SiJX5ydz 具体要求：测试光路反射镜 _d<\@Tkw 1'* {Vm M  2qkC{klC^M
k?=V?JWY 具体要求：探测器 )5bdWJ>l U 0S}O(Ptr  ]9pcDZB =j~}];I 结果：3D光线追迹 Th*mm3D6 |zL .PS  |&%l @X 6 {EupB? 结果：场追迹 |m7`:~ow RwwX;I"o%
 wwmO Dw<tT
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bD FrG 结果：移动样品的场追迹结果 1')/ BM2 l+ <x  y/2U:H 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 Afa{f}st
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