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任务/系统说明 il403Ae0 *F_ dP
krt8yAkG }\-"L/D?+ 亮点 px7<;(I H0 %;t
c;M&;'#x GM{J3O= •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; da,;IE{1u •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; 4Iq-4IG( O)Wc\- 具体要求:光源 a,EApUWw Bkq3-rX\ EId_1F;V^ cD!yd^QE 具体要求:用于准直的消色差透镜 xklXV M8,_E\* p3f>;|uh_ L)mb.U$`c| :t'*fHi~ }BR@vY'd l7p*::(9 Q^Lk^PP7 具体要求:分束器 4!3mS WNV Z:e|~# -weCdTY`X ;DG&HO 具体要求:参考光路反射镜 ~"t33U6 .&Q'aOg CnvM>] piy_9nk
D{Rk9MKkE *pOdM0AE 具体要求:测试光路反射镜 en1NFP MU-T>S4
!K0:0: 3r]m8Hp 具体要求:探测器 5|pPzEA> ~Wox"h}( REaU=-m- ^Hplrwj} 结果:3D光线追迹 +)cjW"9 E#T6rd P n$})}kj $QbaPmHW 结果:场追迹 .]IidsgM cc
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ahnQq9 VEtdp*ot 结果:移动样品的场追迹结果 'Drz6K_KrP /3>5ex>PN =MP?aH
[ 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 /xu#ZZ?8F_
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