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任务说明 ErQGVE;zk aMK\&yZD =FAIbM>u z@<jZM 灵活地导出制造数据: ;wHyX)&X$ - 平滑的界面 a!j{A?7Kw. - 量化界面 *mw *z|-^V - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 _GoFwVO
PmE8O 亮点 CQ{pv3) 导出各种表面形状的制造数据 uesIkJ^Q[ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 a0k/R<4 d|sf2 /mn'9=ks 一般界面的制造数据 sZ"(#g;3< [.;I} 7<*g'6JG[ 2H1?f|0> 支持文件格式: (F*y27_u - 纯文本 Xag#ZT - ASCII码 B}I9+/|{ - 点云 bhKe"#m|S - CAD格式(例如,STL,IGES) !W b Q9o k5X-*^U=V} STL导出平滑界面(例如Asphere) `@&WELFv{ MdnapxuS 采样高度剖面的STL导出 E,/nK _]< Tv3]RK _!yUr5&,Br =s:Z-*vy! 量化界面的GDSII导出 (ul_bA+ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 b:x~Jz#%2 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 s +0S,?{$ Tog'3k9Uw
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