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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 qa.nm4"6+  
    l*e*jA_>:7  
    f)Z$ ,&  
    L(fOe3 v  
    灵活地导出制造数据： &l/2[>D%4  
    - 平滑的界面 pi 7W8y  
    - 量化界面 L 1H!o!*  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 H"=%|/1M0  
     iT227v!s  
    亮点 nxS|]  
     导出各种表面形状的制造数据 N>/!e787OU  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 I~-W4{  
         sC(IeGbX  
    K7 -AVMY  
    一般界面的制造数据 |Rd?s0u  
    X3-pj<JLY  
    8iGS=M  
    &7VN?ox1  
    支持文件格式： o:W>7~$jr=  
    - 纯文本 @@-n/9>vs  
    - ASCII码 "jb`KBH%"  
    - 点云 TWZ* *S-  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ;:4&nJ*qG  
     EZ:pcnL {  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） m(i84~  
    1hp`.!3]H  
    采样高度剖面的STL导出 `*g(_EZsS  
    @tGju\E"o  
    WYSqnmi  
    ;|}N\[fk%]  
    量化界面的GDSII导出 sEkfmB2J/  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 NvW`x   
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 zl^ %x1G  
    m!Cvd9X=  
     
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