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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 G/3lX^Z>  
    UXB8sS*wQ?  
     KP-z  
    U105u.#7  
    灵活地导出制造数据： (IHBib "  
    - 平滑的界面 Or) c*.|\  
    - 量化界面 iSLf:  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Y'*h_K  
     f_2^PF>?  
    亮点 kGiw?~t=%  
     导出各种表面形状的制造数据 }gRLW2&mR>  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 HwMsP$`q  
         2MzFSmhc"  
    vUx$[/<  
    一般界面的制造数据 ~0GX~{;r  
    ?Cfp=85ea!  
    vbh#[,lh  
    QnLg P7Ft  
    支持文件格式： p&doQh  
    - 纯文本 eG>Fn6G<g  
    - ASCII码 S9+gVR8]C  
    - 点云 ]=<@G.[=  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） a3IB, dr5P  
     z4:09!o_  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） iGNKf|8{  
    5z]KkPQ  
    采样高度剖面的STL导出 v~QZO4[ '  
    3PeJPw  
    S^=/}PT'  
    v A~hkkj{  
    量化界面的GDSII导出 o|E(_ Y4d  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 OZ9j3Q;a$  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 hmk5 1  
    /^ 7 9|$E  
     
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