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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ^|lG9z%Foy  
    8npjQ;%4>  
    A S]jJc^  
    %tZ[wwt  
    灵活地导出制造数据: /*hS0xN*  
    - 平滑的界面 Qm2(Z8Gh  
    - 量化界面 '~OKt`SfIo  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #Q$`3rr  
    =*Y=u6?  
    亮点 XaR(~2  
     导出各种表面形状的制造数据 ]_&pIBp  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 IXt cHAgX  
         Fa A7m  
    ^9xsbv B0  
    一般界面的制造数据 $-;x8O]u  
    .}DL%E`n  
    C 8q VYrw  
    [Se0+\,&  
    支持文件格式: uc-Go 6W  
    - 纯文本 Z'|A>4\  
    - ASCII码 ?,Zc{   
    - 点云 C! J6"j  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) Dd$CN&Ca  
    9Qhk~^ngg  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) HP*AN@>Kw  
    qr[+^*Ha  
    采样高度剖面的STL导出 p:gM?2p1  
    8@'Q=".J  
    "f3KE=cUm  
    MtIhpTX  
    量化界面的GDSII导出 NJTC+`Hm  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 &4-rDR,  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 m=p<.%a  
    ZeY kZzN  
     
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