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任务说明 qa.nm4"6+ l*e*jA_>:7 f)Z$,& L(fOe3
v 灵活地导出制造数据: &l/2[>D%4 - 平滑的界面 pi7W8y
- 量化界面 L 1H!o!* - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 H"=%|/1M0 iT227v!s 亮点 nxS|] 导出各种表面形状的制造数据 N>/!e787OU 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 I~-W4{ sC(IeGbX K7 -AVMY 一般界面的制造数据 |Rd?s0u X3-pj<JLY 8iGS=M &7VN?ox1 支持文件格式: o:W>7~$jr= - 纯文本 @@-n/9>vs - ASCII码 "jb`KBH%" - 点云 TWZ**S- - CAD格式(例如,STL,IGES) ; :4&nJ*qG EZ:pcnL{ STL导出平滑界面(例如Asphere) m(i8 4~ 1hp`.!3]H 采样高度剖面的STL导出 `*g(_EZsS
@tGju\E"o WYSqnmi ;|}N\[fk%] 量化界面的GDSII导出 sEkfmB2J/ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 NvW`x 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 zl^ %x1G m!Cvd9X=
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