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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 w0pH|$"/P  
    #(OL!B  
    TV}H  
    r'&VH]m  
    灵活地导出制造数据： 8{AzB8xp  
    - 平滑的界面 ).\%a h  
    - 量化界面 =cxjb,r  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "_lSw3  
     Kg 56.$  
    亮点 HJDM\j*5  
     导出各种表面形状的制造数据 8q_nOGd  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 yJ?6BLJi  
         cf96z|^C  
    vForj*Xo  
    一般界面的制造数据 )<%GHDWL  
    {<V{0 s%  
    Z\n nVM=  
    06ZyR@.@v  
    支持文件格式： tks1*I$S<  
    - 纯文本 HZ/e^"cpM  
    - ASCII码 kIyif7  
    - 点云 Esd A %`  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ~OXPn9qPp  
     5-*/wKjLz  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） up1kg>i%"  
    +ps(9O/B>  
    采样高度剖面的STL导出 -GH>12YP  
    q>t#5Z81  
    m)V%l0  
    t~3!| @3i  
    量化界面的GDSII导出 +Y-Gp4"  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 o!:   
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 {;q zz9 |  
    XsEDI?p2  
     
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