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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 Kp*3:XK  
    qLN\>Z,3;  
    jJw  
    Go1xyd:k  
    灵活地导出制造数据： 5 =8v\q?)c  
    - 平滑的界面 [TQYu:e  
    - 量化界面 ovOV&Zt  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5L<A7^j  
     PY C  
    亮点  H{yBD xw  
     导出各种表面形状的制造数据 9(qoME}>=  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ZQym8iV/  
         OM^`P  
    p#Po?  
    一般界面的制造数据 ;hODzfNkS  
    y`8U0TE3R  
    A(uo%QE|  
    0FE_><e  
    支持文件格式： "=+i~N#Sc  
    - 纯文本 :R +BC2x  
    - ASCII码 g]JRAM  
    - 点云 @`+\v mfD  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） [kpQ:'P3  
     *~4<CP+"0  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） c%O97J.5b  
    /eU\B^k  
    采样高度剖面的STL导出 {>vgtkJ  
    ?7TmAll<.s  
    -O,:~a=*_  
    AX&Emz-  
    量化界面的GDSII导出 ;nL7Hizo,  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 9>0OpgvC(  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 wSCI?  
    8@+<W%+th  
     
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