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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ErQGVE;zk  
    aMK\&yZD  
    =FAIbM>u  
    z@<jZM  
    灵活地导出制造数据: ;wHyX)&X $  
    - 平滑的界面 a!j{A?7Kw.  
    - 量化界面 *mw *z|-^V  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 _GoFwVO  
    PmE 8O  
    亮点 CQ{pv3)  
     导出各种表面形状的制造数据 uesIkJ^Q[  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 a0k/R<4  
         d|sf2   
    /mn'9=ks  
    一般界面的制造数据 sZ"(#g;3<  
    [.;I}  
    7<*g'6JG[  
    2H1?f|0>  
    支持文件格式: (F*y27_u  
    - 纯文本 Xag#ZT  
    - ASCII码 B}I9+/|{  
    - 点云 bhKe"#m|S  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) !W b Q9o  
    k5X-*^U=V}  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) `@&WELFv{  
    MdnapxuS  
    采样高度剖面的STL导出 E,/nK  
    _]< Tv3]RK  
    _!yUr5&,Br  
    =s:Z-*vy!  
    量化界面的GDSII导出 (ul_bA+  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 b:x~Jz#%2  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 s+0S,?{$  
    Tog'3k9Uw  
     
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