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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ,, #rv-*  
    Yl~?MOk  
    @P5@ &G  
    "KE38`NL  
    灵活地导出制造数据: )I-?zyL  
    - 平滑的界面 I 3,e)Z  
    - 量化界面 )qP{X,Uf  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 83,1d*`  
    7 8inh%  
    亮点 a;owG/\p  
     导出各种表面形状的制造数据 #`)-$vUv^f  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ^8*SCM_A  
         _3G)S+ 7#  
    l=?y=2+  
    一般界面的制造数据 QOy&!6  
    4N=Ie}_`  
    OQ&D?2r  
    DMZ aMY|  
    支持文件格式: Qg$Nj=Cw  
    - 纯文本 <RVtLTd/  
    - ASCII码 `ur9KP4Dq  
    - 点云 #|1QA3KzO  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) B5r_+?=2e  
    ?CZD^>6  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) -R \ @W q@  
    R*{?4NKG  
    采样高度剖面的STL导出 q]%bd[zkz  
    j!o3g;j  
    ]`H.qV  
    jz7ltoP  
    量化界面的GDSII导出 :.<TWBoV  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 +9F#~{v`4a  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 +4nR&1z$  
    A.x}%v,E  
     
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