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任务说明 ,,#rv-* Yl~?MOk @P5@&G "KE38`NL 灵活地导出制造数据: )I-?zyL - 平滑的界面 I
3,e)Z - 量化界面 )qP{X,Uf - 镜子/棱镜/光栅单元阵列
83,1d*` 78inh% 亮点 a;owG/\p 导出各种表面形状的制造数据 #`)-$vUv^f 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ^8*SCM_A _3G)S+7# l=?y=2+ 一般界面的制造数据 QOy&!6 4N=Ie}_` OQ&D?2r DMZ aMY| 支持文件格式: Qg$Nj=Cw - 纯文本 <RVtLTd/ - ASCII码 `ur9KP4Dq - 点云 #|1QA3KzO - CAD格式(例如,STL,IGES) B5r_+?=2e ?CZD^>6 STL导出平滑界面(例如Asphere) -R
\@W q@ R*{?4NKG 采样高度剖面的STL导出 q]%bd[zkz j!o3g;j ]`H.qV jz7ltoP 量化界面的GDSII导出 :.<TWBo V 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 +9F#~{v`4a 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 +4nR&1z$ A.x}%v,E
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