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任务说明 )sVz;rF< Qsc%qt-l J]~LmSh l=ZhHON 灵活地导出制造数据: 0*q&) - 平滑的界面 Z| Z447_ - 量化界面 >v`lsCGb - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 b&Qj`j4]ZM s3W )hU) 亮点 Qj?FUxw 导出各种表面形状的制造数据 %J?;@ G)r 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Im1e/F] g&H6~ +\ bH&Cbme90- 一般界面的制造数据 3ADTYt". ao<@a{G b}p 0&%I g6k@E,cI_ 支持文件格式: XS]=sfN - 纯文本 *Y6BPFE*4 - ASCII码 GmB7@-[QA% - 点云 CEE`nn - CAD格式(例如,STL,IGES) 52BlFBNV cejSGsW6q STL导出平滑界面(例如Asphere) :Q=Jn?Gjb IDb|J%e^P 采样高度剖面的STL导出 q3B#rje>h B i?DmrH %8tlJQvu `(<XdlOj 量化界面的GDSII导出 J.mEOo!> 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 l
njaHol0 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 1"009/| 6|t4\'
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