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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 o<T_Pjp  
    X2PQL"`  
    iT#)i3   
    #?h#R5:0  
    灵活地导出制造数据： /L,VZ?CmtK  
    - 平滑的界面 p-QD(+@M  
    - 量化界面 Dg]( ?^  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (~t/8!7N  
     s UX%{|T_  
    亮点 oW]~\vp^0  
     导出各种表面形状的制造数据 \yeo-uN8  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 F6 ?4E"d  
         >% a^;gk(  
    #SiOx/  
    一般界面的制造数据 'Dl31w%:  
    $7%e|0jC  
     w+<`>  
    871taL=  
    支持文件格式： D&KD5_Sw  
    - 纯文本 *G|w#-\.c  
    - ASCII码 JGjqBuz#A*  
    - 点云 z)$X/v  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） v{7Jzjd  
     Cf#[E~24  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 6{/HNEI*1  
    -ZXC^zt  
    采样高度剖面的STL导出 zX+NhTTB  
    ~5e)h_y  
    Ph(bgQg  
    +[$d9  
    量化界面的GDSII导出 *^cJn*QeL  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 G-?y;V 1  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6J3:[7k=&  
    f=%k9Y*)  
     
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