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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 8[k-8h|  
    g!8-yri  
    q/Q*1  
    #S"=)BZ8L  
    灵活地导出制造数据： c~V\,lcI  
    - 平滑的界面 })":F  
    - 量化界面 9Ah4N2nL-b  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 b#b#r  
     j<c_*^/'9  
    亮点 QxK%ZaFZA  
     导出各种表面形状的制造数据 T|u)5ww%  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 r`=d4dK-  
         "}n]0 >J  
    Vrnx# j-U  
    一般界面的制造数据 MKbW^:  
    yk=H@`~!  
    6|zA,-=  
    Co'dZd(  
    支持文件格式： 6 R!0v8  
    - 纯文本 &0 @2JS/!  
    - ASCII码 =0Nd\  
    - 点云 bNXT*HOZb3  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） /as1  
     qZ4DO*%b3  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 0j*8|{|  
     8NLk`/  
    采样高度剖面的STL导出 O@l`D`  
    7&X^y+bMe6  
    4u<oe_n  
    (*|hlD~  
    量化界面的GDSII导出 k?_Miqr  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 )0NA*<Q+.  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ;&iQNXL  
    1e }wDMU(  
     
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