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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 4/QQX;w  
    c\N-B,m&  
    +KHk`2{y~  
    G-G\l?R(  
    灵活地导出制造数据： h 7*#;j  
    - 平滑的界面 !K/zFYl  
    - 量化界面 fXB64MNo  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 IK|W^hH\8  
     m95;NT1N/g  
    亮点 V1\x.0Fs  
     导出各种表面形状的制造数据 V>B*_J,z.  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ZO!)G   
         -LMO f?  
    @+^5ze\  
    一般界面的制造数据 U66zm9 3&  
    0?\d%J!"S  
    |p @,]c z  
    .> |]Lo(=l  
    支持文件格式： ~e R6[;  
    - 纯文本 bPo*L~xdk  
    - ASCII码 tC'@yX  
    - 点云 w\Bx=a>vc  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ,?>:Cdz4  
     q)KLf\  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） I DtGtkF  
    y3)R:h4AH  
    采样高度剖面的STL导出 F ][QH\N  
    4I<U5@a  
    '3V?M;3|K  
    ^g*2jH+  
    量化界面的GDSII导出 ,L,?xvWG  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2Uq4PCx!  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 parc\]M  
    K)8N8Js(  
     
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