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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 =:w]EpH"  
    nrhzNW>]  
    ~CtLSyB  
    #[ H4`hZ  
    灵活地导出制造数据: (6y[,lYH  
    - 平滑的界面 }@)r\t4m  
    - 量化界面 cuw 7P  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Ipp#{'Do  
    '-,$@l#  
    亮点 F K7cDaI  
     导出各种表面形状的制造数据 2`|gnVw  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 J]!&E~Y  
         s6DmZ^Y%  
    xJ$/#UdP  
    一般界面的制造数据 tj' xjX  
    f:\)oIW9Kk  
    Cr7T=&L  
    ]+"25V'L  
    支持文件格式: |Ix{JP"Lk  
    - 纯文本 [%0{7pz}  
    - ASCII码 [%uj+?}6O  
    - 点云 ~E8L,h~  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) hf JeVT-/v  
    ~6Xr^An/Z  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) D2y[?RG  
    K9HXy*y49  
    采样高度剖面的STL导出 n@JZ2K4  
    O)aWTI  
    cXd?48O  
    _.{I1*6Y2  
    量化界面的GDSII导出 cIS?EW]S%X  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 FwjmC%iY  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 n9%&HDl4  
    anzt;V.;Y  
     
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