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任务说明 7Fc |
`;T?9n \ /sF:~= /^8t'Jjd, 灵活地导出制造数据: cxk=|
?l - 平滑的界面 Cb<~i - 量化界面 6vZt43"m?\ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "9.6\Y\* ;?#i]Bh>S 亮点 MbM:3 导出各种表面形状的制造数据 Q,O]x# 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 W|)(|W rufRaar U bpg92 一般界面的制造数据 u'{sB5_H ~mW>_[RT; &8.z$}m N_|YOw6 支持文件格式: !fif8kf - 纯文本 ~V|KT}H - ASCII码 :r[W'h_% - 点云 8HB?=a2Q<' - CAD格式(例如,STL,IGES) d9ZDpzxB &<m
WA]cAL STL导出平滑界面(例如Asphere) ?T~3B]R L'zdsa}Et 采样高度剖面的STL导出 `z5v}T X/K| WOO6 9?v) I*%&)Hj~ 量化界面的GDSII导出 G`&'Bt{Z* 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 I]s:Ev[~ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 `7+tPbjs ^$3w&$K*
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