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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 Fl==k  
    =| r% lx  
    X4bZ4U*  
    U'}[:h~)  
    灵活地导出制造数据： | gGD3H  
    - 平滑的界面 W>u$x=<T  
    - 量化界面 7<5=fYb r  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 B-$ps=G+z  
     Fdx4jc13w  
    亮点 ZzT"u1,&  
     导出各种表面形状的制造数据 m\ @Q}  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 soB_j  
         d&DQ8Gm ^  
    Nqj5,9*c  
    一般界面的制造数据 EhOB+Mc1  
    ch/DBu  
    %L  nG^L  
    kh"APxQ79  
    支持文件格式： AD'c#CT  
    - 纯文本 Qer}eg`R  
    - ASCII码 8/|1FI  
    - 点云 X&%;(`  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ~y:?w(GD  
     5%fR9?)  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） )},/=#C0  
    e= ",58  
    采样高度剖面的STL导出 '81WogH:  
    PW*[(VX  
    2 3A)^j  
    2cv=7!K4Uv  
    量化界面的GDSII导出 jXyK[q&O&  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 6#2E {uy;R  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Mbxrj~ue  
    B}d)e_uLj  
     
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