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任务说明 =:w]EpH" nrhzNW>] ~CtLSyB #[
H4`hZ 灵活地导出制造数据: (6y[,lYH - 平滑的界面 } @)r\t4m - 量化界面 cuw 7P - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 I pp#{'Do '-,$@l# 亮点 F
K7cDaI 导出各种表面形状的制造数据 2`|gnVw 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 J]!&E~Y s6DmZ^Y% xJ$/#UdP 一般界面的制造数据 tj'xjX f:\)oIW9Kk Cr7T=&L ]+"25V'L 支持文件格式: |Ix{JP"Lk - 纯文本 [%0{7pz} - ASCII码 [%uj+?}6O - 点云 ~E8L,h~ - CAD格式(例如,STL,IGES) hfJeVT-/v ~6Xr^An/Z STL导出平滑界面(例如Asphere) D2y[?RG K9HXy*y49 采样高度剖面的STL导出 n@JZ 2K4 O)aWTI cXd?48O _.{I1*6Y2 量化界面的GDSII导出 cIS?EW]S%X 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 FwjmC%iY 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 n9 %&HDl4 anzt;V.;Y
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