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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 GawLQst[+  
    &W|'rA'r  
    ")ZHa qEB  
    ezHj?@  
    灵活地导出制造数据： /kNr5s  
    - 平滑的界面 pE15[fJ`  
    - 量化界面 `(Ei-$ >U&  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 W 6~<7  
     Vv6xVX  
    亮点 sOVaQ&+y  
     导出各种表面形状的制造数据 kD"dZQx  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 A\k-OP]  
         1AA(qE  
    )e]:T4*vo  
    一般界面的制造数据 ?Cmb3pX^\  
    F'|,(P  
    7.akp  
    QAcvv 0Hv  
    支持文件格式： j+Wgjf  
    - 纯文本 aLhTaB-va  
    - ASCII码 vT3LhN+1  
    - 点云 ~5]AXi'e~  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） b @5&<V;r2  
     I>G)wRpfR'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） p7 2+:I  
    QT^( oog=  
    采样高度剖面的STL导出 <1_?.gSi  
    SLZv`  
    QIo|t!7F  
    3/]J i^+  
    量化界面的GDSII导出 5F&i/8Ib  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 JEFW}M)UGv  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 _BcB@a  
    h :NHReMT  
     
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