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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 S?v;+3TG  
    b9.7j!W  
    l3MA&&++KF  
    QxEmuiN  
    灵活地导出制造数据： d<\X)-"  
    - 平滑的界面 :Oj!J&A  
    - 量化界面 QB* AQ5-  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 = "Lb5!  
     q}JP;p(#  
    亮点 V^G+_#@,,  
     导出各种表面形状的制造数据 /6N!$*8  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面  +@Kq  
         `kOp9(Q{  
    r)qow.+&  
    一般界面的制造数据 k lr1"q7  
    [9CBTS r  
    Y-DHW/Z~  
    ap|V}j C  
    支持文件格式： J72kjj&C  
    - 纯文本 z{> )'A/  
    - ASCII码 |2X+( F Ed  
    - 点云 vN)l3  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） y7 W7270)  
     9@p+g`o  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Z oKXao  
    nfr..4,:  
    采样高度剖面的STL导出 @JD!.3  
    _vE[TFy  
    .TRp74  
    6$$ku  
    量化界面的GDSII导出 n<7R6)j6  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 {D8[pG%z  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 XM*%n8q7#N  
    h IUO=f  
     
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