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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 sYfiC`9SO  
    O:% ,.??<%  
    bZ5cKQ\6  
    -XJXl}M.  
    灵活地导出制造数据： KbXENz&C  
    - 平滑的界面 )yl;i  
    - 量化界面 r(ZMZ^  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 F.Sc2n@7-  
     7hzd.  
    亮点 -:V0pb  
     导出各种表面形状的制造数据 GG=R!+p2  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 EGL7z`nt  
         w/oXFs&FK  
    S^c; i  
    一般界面的制造数据 DtFzT>$^F  
    8[B0[2O  
    ?qmJJ5Gn  
    Zk+c9,q  
    支持文件格式： ?*/1J~<(@  
    - 纯文本 2:jWO_V@  
    - ASCII码 KsDovy<  
    - 点云 lJJ`aYDp  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Qn!KL0w  
     Gl6M(<f\5  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） "nA~/t=  
    4> NmJrh  
    采样高度剖面的STL导出 T(z/Jm3  
    hQ80R B  
    :>*0./hG  
    ]j+J^g  
    量化界面的GDSII导出 v/GZByco>  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 w!rw%  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 l_i&8*=Px  
    % pQi}x  
     
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