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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 i q oXku  
    Z)2d4:uv  
    Rb.vyQ  
    <U1T_fiBoc  
    灵活地导出制造数据： 9} m?E<6&  
    - 平滑的界面 \"))P1  
    - 量化界面 .xWaS8f  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 {-8Nq`w  
     %ut 8/T  
    亮点 #QIY+muN  
     导出各种表面形状的制造数据 yCav;ZS_  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ;Q^>F6+_m  
         {it}\[3  
    rq4g~e!S  
    一般界面的制造数据 )#cZ& O  
    W/hzo*o'g  
    {sGEopd8]q  
    aHmg!s}&  
    支持文件格式： )E*f30  
    - 纯文本 ",D!8>=s  
    - ASCII码 )Uy%iE*  
    - 点云 U|V,&RlbR  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） jH!;}q  
     8.n#@%  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） :PW"7|c!  
    ?]$<Ufr  
    采样高度剖面的STL导出 pu]U_Ll@  
    /51$o\4 S  
    z k/`Uz  
    iD G&Muc  
    量化界面的GDSII导出 H-+U^@w  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 #~)A#~4O  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 k6&~)7 -f  
    Um{) ?1  
     
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