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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 7Fc |  
    `;T? 9n  
    \ /sF:~=  
    /^8t'Jjd,  
    灵活地导出制造数据: cxk=| ?l  
    - 平滑的界面 Cb<~i  
    - 量化界面 6vZt43"m?\  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "9.6\Y\*  
    ;?#i]Bh>S  
    亮点  MbM :3  
     导出各种表面形状的制造数据 Q,O]x#  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 W|)(|W  
         r ufRaar  
    Ubpg92  
    一般界面的制造数据 u'{sB5_H  
    ~mW>_[RT;  
    &8.z$}m  
    N_|YOw6  
    支持文件格式: !fif8kf  
    - 纯文本 ~V|KT}H  
    - ASCII码 :r[W'h_%  
    - 点云 8HB?=a2Q<'  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) d9ZDpzx B  
    &<m WA]cAL  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) ?T~3B]R  
    L'zdsa}Et  
    采样高度剖面的STL导出 `z5v}T  
    X/K| WOO6  
    9? v)  
    I*%&)Hj~  
    量化界面的GDSII导出 G`&'Bt{Z*  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 I]s:Ev[~  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 `7+tPbjs  
    ^$3w&$K*  
     
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