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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 7UEy L }N  
    ">4[+'  
    wxr}*Z:ZMa  
    YM4U.! 4o  
    灵活地导出制造数据： Pq_ApUZa  
    - 平滑的界面 |RbUmuj  
    - 量化界面 f*R_\  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 9#=IrlV4  
     ":#A>L? l  
    亮点 14)kKWG  
     导出各种表面形状的制造数据 oR%E_g?mI~  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 A<G ;  
         Vm5P@RU$w;  
    _ER cmP  
    一般界面的制造数据 ]a@v)aa-  
    t+Tg@~K2[>  
    #$ raUNr  
    @5nkI$>3z  
    支持文件格式： c=c.p i"s  
    - 纯文本 I]S(tx!  
    - ASCII码 jzOMjz~:)  
    - 点云 ;U:o'9^9T  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） M`g Kt (3  
     qcoZ2VJ hh  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） uC$4TnoQx.  
    fVe-esAw  
    采样高度剖面的STL导出 $F'~^2  
    dIh(~KqB  
    5<'Jd3N{&  
    '2B0D|r"a  
    量化界面的GDSII导出 q|Tk+JH{5  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ,2L,>?r6  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 3 mMdq*X5  
    iegPEb  
     
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