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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 uvZ|6cM  
    .y[=0K:  
    Fe`$mtPu.  
    z q(AN<  
    灵活地导出制造数据： * 496"kU  
    - 平滑的界面 _[IN9ZC2G  
    - 量化界面 9G 9!=J  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 aq[kKS`  
     }6ec2I%`o  
    亮点 m<TKy_C`  
     导出各种表面形状的制造数据 M0n@?S  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vvdC.4O  
         :Q!U;33aG  
    ;R|5sCb/m  
    一般界面的制造数据 z l@ <X0q  
    |)yO] pB:  
    1;g>?18@  
    iv:[]o  
    支持文件格式： e3\*Np!rTQ  
    - 纯文本 yv]/A<gP+  
    - ASCII码 9boNB "h]T  
    - 点云 YDdmT7Ow  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 53@*GXzE  
     rS8/_'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） F0]NtKaH  
    exZa:9 sp  
    采样高度剖面的STL导出 aJK8G,Vk  
    sDw&U?gUv  
    S'vrO}yU  
    'I\bz;VT  
    量化界面的GDSII导出 d#Ql>PrY  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 )t&j0`Yq  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 1Ep!U#Del  
    mp>,TOi~s7  
     
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