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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 uTU4Fn\$L  
    0lRH Yu  
    . ?p}:  
    ZW?7g+P  
    灵活地导出制造数据： VRX" @uCD  
    - 平滑的界面 t>wxK ,  
    - 量化界面 nP3GI:mjL  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 2Z O'X9  
     )KqR8UO  
    亮点 $CmX &%L=  
     导出各种表面形状的制造数据 Xo@YTol  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $&8h=e~]-  
         x ct U.)p  
    &Bn; Vi  
    一般界面的制造数据 k,7+=.6  
    r}\h\ {  
    cY2-T#rL  
    O^}v/}d  
    支持文件格式： ?*'$(}r3  
    - 纯文本 S/-7Zo&w+  
    - ASCII码 j#e.rNG  
    - 点云 =4e=wAO(i  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） YC]YX H  
     e_=pspnZ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Tq84Fn!HJ>  
    :Nz?<3R0\  
    采样高度剖面的STL导出 #Q3PzDfj  
    VK'T[5e  
    rh`.$/^  
    [S]!+YBK  
    量化界面的GDSII导出 ;x-H$OZX  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -(w~LT$ "  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 d_C4B  
    ;a#*|vx  
     
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