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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 F'?5V0\he  
    k2_6<v Z  
    h|c:!VN@  
    +s+PnZ%0V  
    灵活地导出制造数据： np'M4^E;  
    - 平滑的界面 T;:',T[G  
    - 量化界面 yO$r'9?,*  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 T0*TTB&b  
     $ sA~p_]  
    亮点 #cp$ltY  
     导出各种表面形状的制造数据 ;:-2~z~~  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 }Yo15BN+  
         o3TBRn,  
    43}&w.AS  
    一般界面的制造数据  hZss  
    eBSn1n  
    3-9J "d !  
    HAI1%F236  
    支持文件格式： 1v[#::Bs  
    - 纯文本 X*>o9J45V  
    - ASCII码 U47k5s(J  
    - 点云 %b>y  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） $:-= >  
     ; K)?:  
    STL导出平滑界面（例如Asphere）  4s1kZ`e  
    YVZSKU  
    采样高度剖面的STL导出 P60]ps!M  
    8&2gM  
    L3G)?rPFC#  
    !cFE^VM_;  
    量化界面的GDSII导出 6M<mOhp@}n  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。  a`h$lUb-  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 R<0!?`b  
    n_xQSVI0F  
     
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