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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 CN\|_y  
    Iz6ss(UJ  
    !dfS|BA]  
    Jh37pI  
    灵活地导出制造数据： a&$Zpf!!  
    - 平滑的界面 E fP>O  
    - 量化界面 3)6+1Yc  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Y%78>-2 L  
     p!HPp Ef+#  
    亮点 $R A4U<  
     导出各种表面形状的制造数据 i{TIm}_\  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Zg)_cRR   
         dV5PhP>6  
    GXT]K>LA  
    一般界面的制造数据 4 t&gW  
    SX1X< 9  
    +dqk 6RE  
    4=u+ozCG  
    支持文件格式： ;Ay >+M2O  
    - 纯文本 hMNJ'i}  
    - ASCII码 bH'S.RWp=  
    - 点云 mSU@UD|'  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ;M}itM  
     7V~ "x&Eu  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） fA"<MslKLK  
    #,@bxsB  
    采样高度剖面的STL导出 yOX&cZ[  
    ~c9>Nr9|`  
    A5sf  
    {/-y>sm  
    量化界面的GDSII导出 S4L-/<s[*  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 WHp97S'd  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 F(d:t!  
    TG1P=g5h  
     
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