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任务说明 .O @bX) Nge_ Ks /{ YUM~ y@]4xLB] 灵活地导出制造数据: xP*9UXZ4P - 平滑的界面 &N1C"Eov? - 量化界面 d='z^vHK - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 zYpIG8"o5 5&7)hMppI 亮点 !OWVOq8 导出各种表面形状的制造数据 ac>}$Uw) 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8=gr F dvxD{UH AbUU#C7 一般界面的制造数据 Tj*o [2mD wOE_2k KIn^,d0H 5FqUFzVqsl 支持文件格式: "F>-W\% - 纯文本 ,]Yjo>`tW - ASCII码 X
+;Q= - 点云 /eDah3%d - CAD格式(例如,STL,IGES) @dX0gHU[c =sRd5aMs STL导出平滑界面(例如Asphere) wJ! 9F0B-aZ 采样高度剖面的STL导出 G39H@@ *O0 OQ#gQ6;?0 GiHJr1 ~B>I?j 量化界面的GDSII导出 COv#dOw 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 +f\tqucI3 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 %_M B- Fdd$Bl.&XS
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