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任务说明 F )tNA?p) ES+&e/G"ds G9gvOEI/ 'IgtBd|K> 灵活地导出制造数据: :_^YEm+A - 平滑的界面 ^8\pJg_0 - 量化界面 TX
87\W. - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 N7e^XUG y_nh~& 亮点 PK~okz4b 导出各种表面形状的制造数据 WH/a#F 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Comuc 0|U<T#t8? !l&lb]Vcz 一般界面的制造数据 44]ae~@a |)lo<}{ :Rq D0>1 oNdO@i%.q4 支持文件格式: 'R$~U?i8 - 纯文本 /)G9w]|T - ASCII码 1|%$ie - 点云 qzG'Gz{{qu - CAD格式(例如,STL,IGES) ]F_u 65}:2l2< STL导出平滑界面(例如Asphere) S}|ea2 {<i!Pm 采样高度剖面的STL导出 +I')>6 C/cyqxVl} O=mJ8W@ 7j]@3D9[:p 量化界面的GDSII导出 :4A^~+J 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 k4|YaGhf 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 oDRNM^gz `j2z=5
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