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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 maUHjI 5A-  
    <Z:8~:@  
    Jv^cOc  
    9#T%bB "J  
    灵活地导出制造数据： ?~JxO/K  
    - 平滑的界面 g;#KBxE  
    - 量化界面 gLSG:7m@  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 QB3d7e)8>  
     5 (21gW9  
    亮点 Q@W|GOH3  
     导出各种表面形状的制造数据 x #X#V\w=  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 #"p1Qea$  
         )Z8"uRTb0  
    !P60[*>  
    一般界面的制造数据 g3~~"`2  
    EOPS? @  
    SeNF!k% Y  
    ZCE%38E N  
    支持文件格式： Pm#x?1rAj  
    - 纯文本 mB^I @oZ*  
    - ASCII码 #S53u?JV8  
    - 点云 =SK+ \j$  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） e8ULf~I  
     1; Wkt9]9  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） UC+7-y,  
    zJuRth)(,  
    采样高度剖面的STL导出 uO_,n  
    uVq5fT`B  
    tf7v5iGe  
    2c"N-c&A  
    量化界面的GDSII导出 #7~tL23}]  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 }} ``~  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 (U(/ C5'  
    pqH( Tbjq  
     
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