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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 o_gpBaWD  
    ^yKP 99(  
    }TRr*] P<%  
    i4.s_@2Y  
    灵活地导出制造数据: lX`)Avqa  
    - 平滑的界面 unmuY^+<  
    - 量化界面 &b}!KD1  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ^sq3@*hCw  
    ij6ME6  
    亮点 #kX=$Bzk  
     导出各种表面形状的制造数据 k 6~k  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 !&C8y  
         : H<u@%  
    ?Z] }G  
    一般界面的制造数据 ?x@BZe  
    ..7"&-?g{4  
    c?d+>5"VX  
    5/mW:G,&  
    支持文件格式: <27B*C M  
    - 纯文本 K+H?,I  
    - ASCII码 ?M7nbfy[A@  
    - 点云 eF"7[_+D  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) kT UQ8U  
    (@M=W.M#  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) +=MO6}5T  
    ap\2={u^|  
    采样高度剖面的STL导出 T~%5^+[h  
    7(~^6Ql!  
    V/|Ln*rm  
    p&_a kQj  
    量化界面的GDSII导出 S'Q$N-Dy  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 tF&%7(EU3  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 YjS|Ht->  
    s.KJYP  
     
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