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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 7y4!K$c$  
    E7XFt#P.  
    $LS$:%i4  
    r%*UU4xvB  
    灵活地导出制造数据： AWp{n  
    - 平滑的界面 pH?tr  
    - 量化界面 gtcU'4~  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |j[=uS  
     YQB.3  
    亮点 JN9 W:X.  
     导出各种表面形状的制造数据 jKOjw#N  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8=]R6[,fD  
         b*-g@S  
    ur'a{BI2R  
    一般界面的制造数据 )PM&x   
    \'rh7!v-u  
    IX!Q X  
    EF7Y4lp  
    支持文件格式： _L?`C  
    - 纯文本 PMDx5-{A/t  
    - ASCII码 QzjLKjl7p4  
    - 点云 m=Z1DJG  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ~*Fbs! ;,  
     ?a8 o.&`l  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） |<,!K;@  
    B( ]=I@L=W  
    采样高度剖面的STL导出 BE54^U  
    MroJ!.9  
    ryd*Ha">I  
    [LwmzmV+F  
    量化界面的GDSII导出 IF<?TYy=3B  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 xt! DS0|*Y  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 *vx!twu1o  
    8vhg{L..  
     
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