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任务说明 =`Y.=RL+'n rdnRBFt b dJ+@r mp~{W 灵活地导出制造数据: 'cNKjL; - 平滑的界面 cL8#S>>u. - 量化界面 zq1mmFIO - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 e4I^!5)N g\GdkiIj 亮点 ~|wos-nM 导出各种表面形状的制造数据 pPVRsXy 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 0)9"M.AIvo eQO#Qso] xt4)Ya 一般界面的制造数据 aTGdmj! VGw(6`|! 44\>gI< 7GZgu$' 支持文件格式: *QM~O'WhD - 纯文本 j%<}jw[2 - ASCII码 )a=/8ofe - 点云 bg?"ILpk - CAD格式(例如,STL,IGES) +:6Ii9GN V 'X;jC STL导出平滑界面(例如Asphere) v&g0ta@ 'mdM q=VI 采样高度剖面的STL导出 'f/Lv@]a ql5x2n TO;.eN!sv |m,VTViv;i 量化界面的GDSII导出 ^TXf sQs 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 '#O_}|ZN 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 w W$(r- ,`td@Y
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