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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 =`Y.=RL+'n  
    rdnRBFt   
    b dJ+@r  
    mp~{W  
    灵活地导出制造数据: 'cNKjL;  
    - 平滑的界面 cL8#S>>u.  
    - 量化界面 zq1mmFIO  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 e4I^!5)N  
    g\GdkiIj  
    亮点 ~|wos-nM  
     导出各种表面形状的制造数据 pPVRsXy  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 0)9"M.AIvo  
         eQO#Qso]  
    xt4)Ya  
    一般界面的制造数据 aTGdmj!  
    VGw(6`|!  
    44\>gI<  
    7GZgu$'  
    支持文件格式: *QM~O'WhD  
    - 纯文本 j%<}jw[2  
    - ASCII码 )a=/8ofe  
    - 点云 bg?"ILpk  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) +:6Ii9G N  
    V 'X;jC  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) v&g0ta@  
    'mdMq=VI  
    采样高度剖面的STL导出 'f/Lv@]a  
    ql5x2n  
    TO;.eN!sv  
    |m,VTViv;i  
    量化界面的GDSII导出 ^TXfsQs  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 '#O_}|ZN  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 w W$(r-  
    ,`td@Y  
     
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