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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 WL|71?@C  
    M1]w0~G  
    belBdxa{"  
    [0 rH/{  
    灵活地导出制造数据： MskO Pg  
    - 平滑的界面 x[fp7*TiG  
    - 量化界面 Xg l %2'  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 P)LQ=b}V#;  
     PT~F ^8,)  
    亮点 #V)l>  
     导出各种表面形状的制造数据 FRL;fF  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 X40JCQx{+  
         Zx`/88!x[  
    I FvigDj?  
    一般界面的制造数据 _+)n}Se  
    ,S m?2<  
    $m-C6xC/  
    (#x&Y#5  
    支持文件格式： ,<C~DSAyZ  
    - 纯文本 ?%%vQ ?  
    - ASCII码 Uu@qS  
    - 点云 C?MKb D=K  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） w11L@t[5W8  
     NG RXNh+  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 8Ht=B,7T  
    1FG"Ak}D  
    采样高度剖面的STL导出 cp"{W-Q{$  
    cmYzS6f,7  
    s0CDp"uJY  
    kyZZ0  
    量化界面的GDSII导出 oLtzPC  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 1vAJ(O{-  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 9. ,IqnP  
    bdvpH DA  
     
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