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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 @f_+=}|dc  
    H<N,%G  
    #>+HlT  
    cYt!n5w~W  
    灵活地导出制造数据： `PH{syz  
    - 平滑的界面 pyvSwD5t  
    - 量化界面 cExS7~*  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Th%Sjgsn  
     \)|hogI|f  
    亮点 P";'jVcR  
     导出各种表面形状的制造数据 U/NoP4~{  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 J7p),[>I<  
         ^gnZ+`3  
    V~5jfcd  
    一般界面的制造数据 Q'0d~6n&{  
    H_Q+&9^/  
    BThrO d  
    @MCg%Afw  
    支持文件格式： w`zTR0`  
    - 纯文本 D}X\Ca"h  
    - ASCII码 Dm<A ^u8  
    - 点云 sLAQE64\"  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 'q:`? nJ^  
     y h9*z3  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） @I!0-OjL  
    FJP-y5  
    采样高度剖面的STL导出 Jze:[MYS  
    e**qF=HCw  
    [u*5z.^  
    k+pr \d~  
    量化界面的GDSII导出 ^.NU|NQi'  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 (JFWna0@  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 %8~NqS|=  
    "1 M[5\Ax  
     
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