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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 4[MTEBx  
    yXv@yn  
    a?8)47)  
    +R HiX!PG  
    灵活地导出制造数据： )pT5"{  
    - 平滑的界面 \%.oi@A  
    - 量化界面 aR('u:@jHi  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (_CvN=A  
     3 H5  
    亮点 T!>hPg  
     导出各种表面形状的制造数据 W[ W)q%[)  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 " zD9R4\X.  
         O! XSU,  
    N5ZO pRH{  
    一般界面的制造数据 _>kc:  
    5|N`:h'9M  
    q5-i=lw  
    "`cPV){]  
    支持文件格式： 3o/f, }_  
    - 纯文本 VwZ~ntk  
    - ASCII码 ;' vkF  
    - 点云 D15-pz|Q  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） F ]Zg  
     >A6W^J|[  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） -PGxG 8S  
    |9IOZ>H9  
    采样高度剖面的STL导出 NCG;`B`i  
    i20y\V os?  
    qQG? k~r  
    Y)1J8kq_  
    量化界面的GDSII导出 JS%LJ _J  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 a`#lYM%(>  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6o\uv  
    q>>1?hzA  
     
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