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任务说明 o_gpBaWD ^yKP 99( }TRr*]
P<% i4.s_@2Y 灵活地导出制造数据: lX`)Avqa - 平滑的界面 unmuY^+< - 量化界面 &b}!KD1 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列
^sq3@*hCw ij6M E6 亮点 #kX=$Bzk 导出各种表面形状的制造数据 k6~k 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 !&C8y :H<u@% ?Z]}G 一般界面的制造数据 ?x@B Ze ..7"&-?g{4 c?d+>5"VX 5/mW:G,& 支持文件格式: <27B*C M - 纯文本 K+H?,I - ASCII码 ?M7nbfy[A@ - 点云 eF"7[_+D - CAD格式(例如,STL,IGES) kT UQ8U (@M=W.M# STL导出平滑界面(例如Asphere) +=MO6}5T ap\2={u^| 采样高度剖面的STL导出 T~%5^+[h 7(~^6Ql! V/|Ln*rm p&_a kQj 量化界面的GDSII导出 S'Q$N-Dy 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 tF&%7(EU3 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 YjS|Ht-> s.KJYP
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