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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ) '"@ L7U  
    VOH.EK?5  
    (NrH)+)J!a  
    ciO^2X  
    灵活地导出制造数据: {tn%HK">  
    - 平滑的界面 _D7MJT  
    - 量化界面 ^,[V;3  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 aY7kl  
    ~t\Hb8o  
    亮点 (r,tU(  
     导出各种表面形状的制造数据 c-8Pc ]+g  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 TMZg GUn  
         sXxF5&AF0  
    jz(}P8  
    一般界面的制造数据 -N+'+  
    b$)b/=2  
    [I:D\)$<  
    r2H_)Oi  
    支持文件格式: 6KP"F[8I  
    - 纯文本 ma.yI};$  
    - ASCII码 -~T?xs0_  
    - 点云 OV ~|@{6T  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) 3l"7$B  
    &A>Hq/Y  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) 13(JW  
    h7mJXS)t|  
    采样高度剖面的STL导出 Z=`\U?,  
    44axOk!G[/  
    fhlhlOg  
    A7@5lHMF  
    量化界面的GDSII导出 _uU}J5d.  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 uTY5.8  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 .hW_P62\#  
    lgp-/O"T  
     
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