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任务说明 ) '"@L7U VOH.EK?5 (NrH)+)J!a ciO^2X 灵活地导出制造数据: {tn%HK"> - 平滑的界面 _D7MJT - 量化界面 ^,[V;3 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 aY7kl ~t\Hb8o 亮点 (r,tU( 导出各种表面形状的制造数据 c-8Pc]+g 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 TMZg GUn sXxF5&AF0 jz(}P8 一般界面的制造数据 -N+'+ b$)b/=2 [I:D\)$< r2H_)Oi 支持文件格式: 6KP"F[8I - 纯文本 ma.yI};$ - ASCII码 -~T? xs0_ - 点云 OV ~|@{6T - CAD格式(例如,STL,IGES) 3l"7 $B &A>Hq/Y STL导出平滑界面(例如Asphere) 13(JW
h7mJXS)t| 采样高度剖面的STL导出 Z=`\U?, 44axOk!G[/ fhlhlOg A7@5lHMF 量化界面的GDSII导出 _uU}J5d. 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 uTY5.8 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 .hW_P62\# lgp-/O"T
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