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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 1Ipfw  
    i7w(S3a  
    `:p1&OS  
    rOcg+5  
    灵活地导出制造数据： 1y(UgEg   
    - 平滑的界面 '1Y\[T*  
    - 量化界面 \vRd}   
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 9%tobo@J~n  
     W3GNA""O  
    亮点 ((bTwx  
     导出各种表面形状的制造数据 +.kfU)6@  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 9AQxNbs  
         Rko M~`CT  
    *z8|P#@  
    一般界面的制造数据 pr&=n;_ n  
    r^1+cwy/7P  
    ;wHCj$q  
    ) #+^ sAO  
    支持文件格式： BUsV|e\  
    - 纯文本 ~Lz%.a;o  
    - ASCII码 [9o4hw  
    - 点云 R[jEvyD>(  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） b~w=v_[(I  
     xfFg,9w8  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） yK%ebq]  
    lz<]5T|  
    采样高度剖面的STL导出 "@/62b  
    oD.r `]k  
    F_H82BE+3  
    yN6>VD{F  
    量化界面的GDSII导出 ._PzYE|m2  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Qk976  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 !mMpb/&&S  
    \ck+GW4&  
     
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