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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 y/(60H,{{  
    EFqYEDXW  
    :,'yHVG\  
    Z>t,B%v  
    灵活地导出制造数据： v3 q.,I_  
    - 平滑的界面 #5b}"xK{  
    - 量化界面 vl,Ff9  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 n B .?=eUa  
     8,DY0PGP  
    亮点 \J0fr'(S  
     导出各种表面形状的制造数据 ;[,r./XmH  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 rOyKugHe  
         [')C]YQb=  
    W#@Mx  
    一般界面的制造数据 9ER!K  
    _ a`J>~$  
    ;?K>dWf3f  
    {`>;I  
    支持文件格式： ,u&K(Z%  
    - 纯文本 nQ5N\RAZ  
    - ASCII码 t<DZW#  
    - 点云 N" =$S|Gs  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） % r>v^1Vo  
     @?!&M c2  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ObyF~j}j  
    7q;wj~  
    采样高度剖面的STL导出 $[1J[eY*  
    FIEA 'kUy  
    n=8DC&  
    px>g  
    量化界面的GDSII导出 L7rH=gZ&!]  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 RAUD8Z  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ~qu}<u)P  
    D]StDOmM  
     
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