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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 UO$z_ p]w  
    *#{[9d  
    ;|&Ak_I2G  
    '|Dm\cy  
    灵活地导出制造数据： JTB_-J-TU  
    - 平滑的界面 4HEp}Y"}V  
    - 量化界面 ?XO$ 9J  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 iHhoNv`MR  
     ~E&drl\  
    亮点 T ) T0.c  
     导出各种表面形状的制造数据 Es<id}`  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 3D70`u  
         9^l_\:4  
    S*~v9+  
    一般界面的制造数据 1~NXCIdF  
    ~]8bTw@  
    8t3@ Hi  
    }3 NGMGu$  
    支持文件格式： 6O2 r5F$T  
    - 纯文本 {FyGh */  
    - ASCII码 Qa~dd{?  
    - 点云 1"{3v@yi  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 3Qmok@4e)  
     /~*U'.V  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） J'B6l#N  
    Q|Uq.UjY  
    采样高度剖面的STL导出 Ym6zNb8 bQ  
    ]Ija,C!#  
    KY$6=/?U_  
    i)=!U>B_0  
    量化界面的GDSII导出 #"% ]1={b  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 `~Nd4EA)2  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 !Ziq^o.  
    Z[:fqvXQ  
     
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