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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 <iC(`J$D  
    r q].UCj  
    %5n_ p^xp  
    kgP0x-Ap  
    灵活地导出制造数据： )7Wf@@R'F  
    - 平滑的界面 IOmfF[  
    - 量化界面 pz*3N  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 hMO=#up&  
     hL{KRRf>  
    亮点 N~)_DjQP5  
     导出各种表面形状的制造数据 .Yn_*L+4*  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ^}o2  
         f.$af4 u  
    FvjPdN/L?R  
    一般界面的制造数据 0S!K{xyR  
    Zb>?8  
    z Rr*7G  
    V**~m9f  
    支持文件格式： _]H&,</  
    - 纯文本 K w ]=  
    - ASCII码 sUQ@7sTj  
    - 点云 !_)[/q"  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） tT_\i6My  
     \_f(M|  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ggR.4&<  
    )3EY;  
    采样高度剖面的STL导出 n/:33DAB  
    !Wnb|=j  
    2E'UZ m  
    OQJ6e:BGt  
    量化界面的GDSII导出 j A%u 5V  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 e(t\g^X  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 H**Xu;/5@  
    lt8|9"9<  
     
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