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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 Ar;uq7c,G  
    Juhi#&`T  
    F0D7+-9[  
    hoj('P2a#n  
    灵活地导出制造数据： 8E/wUN,Lxj  
    - 平滑的界面 brdfj E8  
    - 量化界面 bG|aQ2HW  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 u%s@B1j  
     'Nqa=_<WW  
    亮点 !{WIN%O  
     导出各种表面形状的制造数据 QE#Ar8tU  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 7\T~K Yb?  
          pxuZ=<  
    }C'H@:/  
    一般界面的制造数据 L@&(>  
    c; MF  
    sOf;I]E|  
    h1A/:/_M6  
    支持文件格式： qH8d3?1XO  
    - 纯文本 Ir,3' G  
    - ASCII码 (C&Lpt_  
    - 点云 4PcsU HR  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） {9,!XiF.:  
     liuw!  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） )' hOW*v  
    <'N(`.&3C  
    采样高度剖面的STL导出 @[=K`n:n_  
    T'K6Q cu  
    rsGQ :c  
    v90)G8|q  
    量化界面的GDSII导出 oPbxe  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 }~akVh`3  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 \-h%z%{R  
    v 0 3  
     
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