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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 H0>yi[2f  
    6kR\xP]Kr  
    ,j178EX  
    xu\eXx6H  
    灵活地导出制造数据： pRi<cO  
    - 平滑的界面 4 1t)(+r  
    - 量化界面 zzIr2so  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 kOjf #@c  
     UyiJU~r1  
    亮点 -RMi8{  
     导出各种表面形状的制造数据 <)U4Xz?  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 {( tHk_q  
         & mt)d  
    )`+YCCa6F  
    一般界面的制造数据 |"]PCb)!  
    >jTp6tu,  
    ~h)&&' a  
    38IMxd9v  
    支持文件格式： J7+w4q~cB`  
    - 纯文本 $,27pkwHeW  
    - ASCII码 QDTNx!WL  
    - 点云 gl7|H&&xV  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Y)|N"f;  
     27A!\pn  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） %d;ezY'2  
    <1"+,}'x  
    采样高度剖面的STL导出 gfgn68k  
    {whvTN1#dh  
    igC_)C^i>  
    9Q.#\  
    量化界面的GDSII导出 u2iXJmM*  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 V/%~F6e  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Z(GfK0vU  
    RU#F8O  
     
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