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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 -kES]P?2  
    B5#a 4G.  
    *`ehI_v :  
    TcZ Ci^1F  
    灵活地导出制造数据： K).X=2gjY  
    - 平滑的界面 R" 5/  
    - 量化界面 0vS%m/Zi-  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Xa*52Q`_  
     QoDWR5*^D  
    亮点 .}ohnnJB0  
     导出各种表面形状的制造数据 [Qy]henK  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 I-kM~q_  
         { YJ.BWr  
    2-o,4EfHVO  
    一般界面的制造数据 P{(m:`N  
    a&#Z=WK4  
    3=t}py7M  
    uWx/V+w  
    支持文件格式： m4 E 6L  
    - 纯文本 $msT,$NJ  
    - ASCII码 PfnhE>[>cf  
    - 点云 Vt n$*ML  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） mt fDl;/D  
     +SPC@E_v  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Xe=@I*  
    [+{ ot   
    采样高度剖面的STL导出 RK'3b/T  
    &wNN| fH  
    Zx}=c4I(y  
    wIx Lr{  
    量化界面的GDSII导出 x9Gm)~  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 eX?o 4>  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 XZd !c Ff  
    fQ#mx.|8y  
     
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