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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 w|nVK9.  
    wO!hVm,T a  
    a+~o: 5  
    $GO'L2oLwn  
    灵活地导出制造数据： *i?qOv /=>  
    - 平滑的界面 GC\/B0!  
    - 量化界面 /MU<)[*Ro  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 xRY5[=97  
     kx=AX*I  
    亮点 E7h}0DX  
     导出各种表面形状的制造数据 ;Z`)*TRp4  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 |wb7`6g  
         1 I+5  
    9bNIaC*M  
    一般界面的制造数据 .E}});l  
    }1W$9\%  
    Q]7Q  
    PjP%,-@1  
    支持文件格式： ZkIQ-;wx  
    - 纯文本 *"CvB{XF&Z  
    - ASCII码 OX`n`+^D  
    - 点云 *=7[Ip< X  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） $F-XXBp  
     $K KaA{0-  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） }6bLukv  
    !qpu /  
    采样高度剖面的STL导出 1%@~J\qF  
    xKr,XZu  
    @ tIB'|O  
    heKI<[8l  
    量化界面的GDSII导出 31* 6 ;(  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 /)I9+s#q9o  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 X2uX+}h*tA  
    u .2sB6}  
     
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