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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 Zze(Ik  
    CrTGC%w{=  
    X+R?>xq{=h  
    @)R6!"p  
    灵活地导出制造数据： 'N7AVj  
    - 平滑的界面 *8WcRx  
    - 量化界面 JGLjx"Y  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ~F{u4p7{N  
     KS9 e V  
    亮点 #3+-vyZm  
     导出各种表面形状的制造数据 5O7 x4bY  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Boi?Bt  
         |aaoi4OJ  
    RhL!Z z  
    一般界面的制造数据 N9|v%-_?)  
    P%CNu  
    \[!k`6#t7  
    qGH s2Og  
    支持文件格式： ; aI`4;  
    - 纯文本 !awsQ!e|  
    - ASCII码 {H\(H _X  
    - 点云 =m+'orJ1  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Os9;;^k  
     >3{l"SPU  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） b `TA2h  
    QcXqMx  
    采样高度剖面的STL导出 ME9jN{ le  
    n)~9  
    2V-zmyJs5  
    ,j'>}'wG)  
    量化界面的GDSII导出 6)@Y41H]C  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 G#|`Bjv"aP  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 0\Q/$#3  
    7,pn0,HI  
     
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