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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 e`+ej-o,  
    s7\Ee-x)s  
    n?S)H=  
    *g9VI;X  
    灵活地导出制造数据： A+}O~,mxP8  
    - 平滑的界面 'R#MH  
    - 量化界面 @RCZ![XYWg  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 MlLM $Y-@  
     Dc 84^>l  
    亮点 twt's,dO  
     导出各种表面形状的制造数据 1uEM;O  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 p _2Yc]8  
         z uo:yaO  
    |`|zo+aW  
    一般界面的制造数据 j'Gezx^.<e  
    + (`.pa z@  
    AmUH]+5KT  
    p  S|  
    支持文件格式： J<9}) m  
    - 纯文本 Gs4t6+Al  
    - ASCII码 S2 P9C"  
    - 点云 .R#<Q  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） !u/c'ZLZ>  
     -vh\XO  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 'oM=ZU8wo  
    5kHU'D  
    采样高度剖面的STL导出 L"uidd0(g  
    :3b\pEO9\  
    -k%|sqDZj  
    \_)mWK,h  
    量化界面的GDSII导出 q AsTiT6r  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 n<eK\ w  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 oHF,k  
    a4]=4[(iu>  
     
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