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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 K\59vtga  
    rm-;Z<  
    X(\L1N  
    E0yx @Vx  
    灵活地导出制造数据： Od:-fw  
    - 平滑的界面 H6Bw3I[  
    - 量化界面 dCo3VF"u  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 d={o|Mf  
     *u",-n  
    亮点 %(W8W Lz}  
     导出各种表面形状的制造数据 ael] {'h]  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 [;4;. V  
         <q>d@Foi  
    j%Xa8$  
    一般界面的制造数据 6> z{xYat  
    f re5{=@  
    /lh1sHgD  
    `j!_tE`  
    支持文件格式： h+A+>kC5  
    - 纯文本 _N)&<'lB<  
    - ASCII码 _:WNk(  
    - 点云 y)a)VvU":  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） {cb<9Fii  
     >EZZEd   
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ^!0z+M:>^  
    >/lB%<$/  
    采样高度剖面的STL导出 lI+^}-<  
    +!!G0Zj/  
    .N@+Ms3  
    9%"`9j~H>  
    量化界面的GDSII导出 .\&k]}0qA?  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 3D1y^I  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 r4DHALu#)  
    VJFFH\!`  
     
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