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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 zNEN[  
    OXX D}-t  
    X 3ZKN;  
    I6S>*V  
    灵活地导出制造数据： &@PAv5iNf  
    - 平滑的界面 F0kQ/x  
    - 量化界面 bPl'?3  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 s;tI?kR>%  
     Jr>Nc}!U  
    亮点 NG4@L1f%  
     导出各种表面形状的制造数据 u}?{1B!  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 90H/Txq  
         azTiY@/  
    5xH*&GpL7  
    一般界面的制造数据 [[}ukG4  
    e)F_zX  
    Y`xAJ#= ,i  
    li} >xDSQ4  
    支持文件格式： V:AA{<  
    - 纯文本 /[q_f  
    - ASCII码 +bWo{   
    - 点云 1O90 ]c0  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） qJXf c||Zg  
     iciRlx.$c  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） t Q>/1  
    KXu1%`x=%Z  
    采样高度剖面的STL导出 (W9 K: ]}  
    1}CJ&  
    P>|sCF  
    Maiyd  
    量化界面的GDSII导出 b1Ba}  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 )_Iu7b  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 gO]8hLT  
    3BB/u%N}  
     
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