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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 /x c<&  
    Iojyku\W.  
    H!?Av$h`  
    d&BocJ  
    灵活地导出制造数据： `O?Kftv*  
    - 平滑的界面 Se.\wkl#Y  
    - 量化界面 k |k  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 V7[6jW gH  
     twv|,kM  
    亮点 ![h+ R@_(  
     导出各种表面形状的制造数据 [=7=zV;}4  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $N'AZY]4]  
         jfP2n5X83  
     s6bILz-u  
    一般界面的制造数据 HY0q!.qog  
    K+ZJSfO6  
    GqMa|8j  
    M<s16  
    支持文件格式： 4QC"|<9R  
    - 纯文本 gqV66xmJ3  
    - ASCII码 JL[$B1  
    - 点云 0zQ"5e?qy  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ,n<t':-  
     4Vl_vTz{i  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） @ x_.  
    Yv<' QC  
    采样高度剖面的STL导出 t5t,(^;f  
    kW#,o9f\  
    ~QgyhJM_h=  
    R % [ZQ K  
    量化界面的GDSII导出 7ss Y*1b  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 i[_ (0P+Da  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 5.m&93P  
    hgIqr^N9  
     
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