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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 "v1(f|a  
    MUrY>FYgx  
    6{ Nbe=  
    1I`D$Xq~:  
    灵活地导出制造数据： 6`C27  
    - 平滑的界面 ?5Fj]Bk]  
    - 量化界面 D$cMPFa2Nt  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ;$QJnQ"R  
     rieQ&Jt"  
    亮点 eFQi K6`i  
     导出各种表面形状的制造数据 >I?Mi{'a  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 + joE  
         [ q&J"dt  
    8j}m\^si  
    一般界面的制造数据 ([Aq  
    o0'av+e7  
    C=IH#E=  
    {nefS\#{  
    支持文件格式： ".%LBs~$  
    - 纯文本 =]a@)6y  
    - ASCII码 fn OkH  
    - 点云 =!^iiHF  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 1Ol]^ 'y7)  
     s%oAsQ_y  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） \z9?rvT:  
    h'~- K`  
    采样高度剖面的STL导出 yV/ J(  
    ~8(X@~Tn*  
    fWyDWU  
    pT@!O}'$  
    量化界面的GDSII导出 b3xkJ&Z  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 V(u2{4gZ  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 DA$Q-  
    _}@n_E  
     
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