[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ 1w1(FpQO.  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 YujhpJ<  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， 9K FWa0G  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 `6Y'H2WJ?  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ |HhUU1!  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 ;la(Q~#  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， l;F3kA  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 YM/GSSq  
 (2021-12-16 11:58)  b2r@vZ]D  

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好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样……
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我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 ORyFE:p$  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 ]k " j  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… cz~Fz;)2{N  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。  {F+7> X  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 Jlj=FA`  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  T<=Ci?C v  

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好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  puEuv6F  

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是的。