[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ H=,0p  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 g:V8"'  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， tj7{[3~-[  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 0<(F 8  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ ciQG.]  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 r0 mXRZC  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， f/!
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属于保密范畴，网上是问不到结果的。 X0IXj%\N  
 (2021-12-16 11:58)  F?>rWP   

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Y{`IZ  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样……  3)5Gzn  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 67916  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 g`(' k5=  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… $]&0`F  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 a!`b`r-4  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 QQQ3
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你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  t>W^^'=E  

@y{i.G  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  Ri,8rf0u
 

M6ol/.G[  
是的。