[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  BZhf/{h[@  

E> pr})^w  
是的。

ouyuu:这样…… =;n>#<  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 H/[(T%]o  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 YH%U$eS#g  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  %vf;qVoA~  

tjV63`LD  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

这样…… S=< ]u  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 p+Bvfn  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 p8F$vx4,  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ 9Cb>J  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 !Nhq)i  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， exm*p/  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 \H
Jt}  
 (2021-12-16 11:58)  i6h0_q
8 >  

DGAg#jh  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ .Wci@5:3  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 ~hA;ji|I  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， oU~e|  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 fNi_C"<