[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  v~l_6V}  

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是的。

ouyuu:这样…… NmH1*w<A  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 )2nx5"  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 X@["Jjp  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  LTn@OhC  

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好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

这样…… hc2AGeZr  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 0xN1Xm0d  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 D2,2Yy5y  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ z5> {(iY;,  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 h1A/:/_M6  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， [9lfR5=Xw[  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 +L]$M)*0&  
 (2021-12-16 11:58)  DHnO ,"  

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好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ {\P`-'C  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 ov9+6'zya  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， h,!#YG@>  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 k%gO