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    [讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

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    离线hxn123
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    关键词： 磁控溅射镀膜
    各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2021-12-30
    回 hxn123 的帖子
    hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  k]"DsN$  
    BbC aIt  
    是的。
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    离线hxn123
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-12-28
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:这样…… f7v|N)  
    我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 / 0ra]}[(  
    氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 h=o%\F4  
    你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  Xf6\{  
    hOM#j  
    好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射
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    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-12-24
    这样…… vT;~\,M  
    我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 |0$7{nQ  
    氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 9D{p^hd  
    你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-12-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ IaYaIEL-  
    有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 cjc1iciZ  
    有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， !w{(}n2Wq  
    属于保密范畴，网上是问不到结果的。 [z r2\(  
     (2021-12-16 11:58)  gbT1d:T  
    ;, ^AR{+x  
    好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-12-16
    是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ UU  DZ  
    有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 gF~#M1!!  
    有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， "q3W& @  
    属于保密范畴，网上是问不到结果的。  ^9 Pae)  
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