切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1350阅读
    • 5回复

    [讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线hxn123
     
    发帖
    32
    光币
    90
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    关键词: 磁控溅射镀膜
    各位大佬,磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛,电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛?
     
    分享到
    离线ouyuu
    发帖
    548
    光币
    3309
    光券
    1
    只看该作者 1楼 发表于: 2021-12-16
    是电子本身造成的损伤,还是二次电子造成的静电损伤? GTe:k  
    有些问题属于小知识小窍门,网上问的到结果。 _C,@eu"9V  
    有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺, `lezJ (Xm  
    属于保密范畴,网上是问不到结果的。 89#0vG7m  
    离线hxn123
    发帖
    32
    光币
    90
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2021-12-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:是电子本身造成的损伤,还是二次电子造成的静电损伤? vf'cx:m  
    有些问题属于小知识小窍门,网上问的到结果。 ,]uX:h-EM  
    有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺, 71l"m^Z3zy  
    属于保密范畴,网上是问不到结果的。 X(y  
     (2021-12-16 11:58)  kUg+I_j6*  
    HLSfoQ&)v  
    好滴,谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子,包括二次电子,应该不包括静电。
    离线ouyuu
    发帖
    548
    光币
    3309
    光券
    1
    只看该作者 3楼 发表于: 2021-12-24
    这样…… lHcZi  
    我这边只做过新柯隆,他们家是先溅射再氧化的。 `&u<aLA  
    氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了,所以之前也没有关注过这种问题。 MjQ[^%lfL  
    你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源?
    离线hxn123
    发帖
    32
    光币
    90
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2021-12-28
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:这样…… 'FShNY5  
    我这边只做过新柯隆,他们家是先溅射再氧化的。 3<c*v/L{C\  
    氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了,所以之前也没有关注过这种问题。 0jR){G9+  
    你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源? (2021-12-24 11:13)  8#+`9GI  
    2B HKS-J*  
    好滴,谢谢,这个加入氧化源是不是相当于反应溅射
    离线ouyuu
    发帖
    548
    光币
    3309
    光券
    1
    只看该作者 5楼 发表于: 2021-12-30
    回 hxn123 的帖子
    hxn123:好滴,谢谢,这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  L/~D<V  
    mxgqS=`  
    是的。