[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ H~+D2A  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 __""!Yz  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， 4J2NIFZ  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 u0h {bu  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ |vA3+kG  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 S0 M-$  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， &fq-U5zH  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 { dwm>a  
 (2021-12-16 11:58)  2pH2s\r<UJ  

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好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样…… `,Q uO  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 beE
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氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 c'&3[aa  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… x,@cU}D  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 [m?eSq6e2b  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 jl{>>TW{x  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  acdaDY  

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好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  1?]Gl+}  

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是的。