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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 x%RE3J-  
    8 HdjZ!  
    S#|5&SR  
    z!^3%kJJ>  
    亮点 EyV6uk~  
    `e5f69"  
     ?gS~9jgcd  
    OWmI$_L  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ~-NlTx  
     严格分析光栅衍射效率 *w1R>  
     考虑入射光的方向分布 s?&UFyYb,  
    |exjrsmM*  
    说明：光源 Il!#]  
    >orDw3xC  
    e'dZ2;X$zo  
    <Kq!)) J'  
    说明：光束分束器  !:|D[1m  
    mQ:5(]v  
    RZI4N4o  
    ffh3okyW0  
    说明：检测透镜系统 n}q/:|c  
    L(3} H,t  
    CS Isi]H  
    h?&S*)1  
    说明：微型晶片 FdmoR;  
    S{)'1J_0  
    *iujJ i  
    fngk<$lvg  
    说明：检测物镜 U9yR~pw  
    | PzXN+DW  
    Gu K!<-Oz"  
    $lAhKpdlW  
    说明：探测器 <>[]- Vq  
    bOdyrynh  
    M\bea  
    m#t  
    结果：3D光线追迹（只有0级） yyu f  
    *Duxabo?  
    Pqv9> N|  
    r!O4]j_3  
    结果：3D光线追迹（所有级） 8J+:5b_?  
    *qL"&h5W  
    HiDL:14  
    T~-PT39E  
    结果：光线追迹 (ysDs[? \  
    M9dUo7  
     MNsgD3  
    X5Ff2@."y|  
    结果：场追迹 #wZBWTj.  
    j{;IiVHnR  
     5SmgE2}  
    xouy|Nn'  
    结果：线性偏振光的场追迹 L9(!L$  
    agxR V  
    naWW i]9  
     
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