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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 SoU(fI[6  
    &Gt{9#  
    5SY%B#;5G  
    Q5ASN"_  
    亮点 dL0Q8d\^T  
    7fR5V  
     Jw]!x1rF~  
    )gdeFA V  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） uY5|Nmiu  
     严格分析光栅衍射效率 p7|I>8ur.  
     考虑入射光的方向分布 > Z+*tq  
    64u(X^i  
    说明：光源 o ]*yI[\  
    63 oe0T&  
    TanWCt4r  
    }h^ fX  
    说明：光束分束器 _mqU:?Q5  
    bY P8  
    jF?0,g  
    3= =["hO  
    说明：检测透镜系统 8!2)=8|f  
    fJ*^4  
    rnK]3Ust  
    +Csb8  
    说明：微型晶片 ClKWf\(ii6  
    A;d@NOI#,K  
    2'fd4 rE5  
    Xe);LhDC  
    说明：检测物镜 +ay C 0  
    wH|%3 @eJ  
    {"'M2w:|D1  
    gCg hWg{S  
    说明：探测器 D/E5&6  
    %NkiYiA  
    )xcjQkb  
    2 ,nhs,FZ  
    结果：3D光线追迹（只有0级） $[X][[  
    gfggL&t(  
    8|Tqk,/pD  
    Osqk#Oh  
    结果：3D光线追迹（所有级） "bej#'M#  
    4XAB_Q  
    v\w*VCjoV  
    11l=zv  
    结果：光线追迹 vl/!w2  
    *<^C0:i(  
     X4o#kW  
    OmB M)g  
    结果：场追迹 dz@+ jEV  
    % f;v$rsZ  
     3f5YPf2u  
    aA?Qr&]M  
    结果：线性偏振光的场追迹 ,[ 2N3iH  
    a~yiLq  
    XgxO:"B  
     
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