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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 w][ ;  
    "Z &qOQg%3  
    9.zy`}  
    .N_0rPO,Kw  
    亮点 ^._)HM  
    B(Y{  
     R!*UU'se  
    ,EcmMI^A  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Q`5jEtu#,  
     严格分析光栅衍射效率 >9+@oGe(E  
     考虑入射光的方向分布 2?Q IK3"v  
    :/~`"`#1  
    说明：光源 pUwx`"DrR  
    pSE"] N  
    .A\9|sRZ5  
    (LL4V 3)  
    说明：光束分束器 kul&m|  
    0e q>  
    C~'}RM  
    ^5=}Y>EJO  
    说明：检测透镜系统 E|6X.Ny]   
    ;fee<7T y  
    nt "VH5  
    6/nhz6=  
    说明：微型晶片 KNIYar*3  
    ;o%r{:lng  
    `u%//m_(  
    NjYpNd?g  
    说明：检测物镜 B964#4& 9  
    xzW]D0o0  
    VH#]67  
    "JJ )w0  
    说明：探测器 O:xRUjpL  
    C<qJnB:B 9  
    ?Q9/C|  
     $Jb+}mlT  
    结果：3D光线追迹（只有0级） jTSw0\}  
    ?*[t'D9f-  
    `@?l{  
    CN\s,. ]  
    结果：3D光线追迹（所有级） n U$Lp`  
    "F"G(ba^  
    +P}'2tE~'  
    :E4i@ O7%  
    结果：光线追迹 [7|}h/  
    .s7o$u~l  
     ^L]+e  
    F~W*"i+EZ  
    结果：场追迹 <X|"5/h  
    <MT_zET  
     kRSu6r9  
    r{>tTJFD(:  
    结果：线性偏振光的场追迹 /~J#c=  
    KkJcH U  
    q Z`@Ro  
     
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