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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 TWAt)Q"J  
    b_xGCBC  
    /E0/)@pDq  
    2%zJI"Ic  
    亮点 Ve\=By-a|  
    Z=\wI:TY1  
     !$|h[ct  
    [_,Gk]F=  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） NgPY/R>  
     严格分析光栅衍射效率 @&LtIN#  
     考虑入射光的方向分布 A%dI8Z,  
    @-F[3`HeA  
    说明：光源 +axpIjI'  
    wUBug  
    &fu J%  
    vynchZ+g]  
    说明：光束分束器 Oe:_B/l  
    [j^c&}0  
    `L1lGlt  
    ( [m[<  
    说明：检测透镜系统 M<"H1>q@  
    !>Ru= $9  
    /6Vn WrN_  
    ra*(.<&  
    说明：微型晶片 Kx@;LRY#  
    %~A$cc  
    D%NVqk|  
    eLc@w<yB  
    说明：检测物镜 K$(LiP  
    -3 2?]LN}  
    5EqC.g.  
    QN$Ac.F  
    说明：探测器 /,cyp .  
    iYHC a }  
    KeiPo KhZi  
    'z.: e+Q_  
    结果：3D光线追迹（只有0级） G)'(%rl  
    \C(dWs  
    'HdOW[3o  
    ek3,ss3  
    结果：3D光线追迹（所有级） A(<"oAe|  
    ;x=r.3OQy  
    Oe^oigcM  
    | N/Wu9w$  
    结果：光线追迹 +zup+=0e  
    +W-,74A  
     hy?e?^  
    IR<`OA  
    结果：场追迹 n-Qpg  
    YPY'[j(p`n  
     C@8WY  
    UPI'O %  
    结果：线性偏振光的场追迹 |Q _]+[  
    yA#-}Y|]b  
    z8"(Yy7m  
     
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