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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 SCq3Ds^  
    DQ_ 2fX~)  
    2oB?Dn  
    HD00J]y_   
    亮点 NbDda/7ki  
    t-EV h~D1p  
     U.Hdbmix  
    u}CG>^0C  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ZR mPP  
     严格分析光栅衍射效率 gz\j('~-D  
     考虑入射光的方向分布 b%<jUY  
    qw0~ *0}  
    说明：光源 Zd XKI{b  
    1 ypjyu  
    |Gc&1*$  
    #M:B3C!ouY  
    说明：光束分束器 &#,v_B)a_E  
    m)k-uWc$C  
    ~2 Oc K  
    k+txb?  
    说明：检测透镜系统 3N3*`?5c<  
    ]ut?&&*  
    \7DCwu[0M  
    Rk{$S"8S_  
    说明：微型晶片 kaC+I"4c  
    )|:8zDuJ  
    5~yQ>h  
    QX+Y(P`vMK  
    说明：检测物镜 Xv&%2-V;  
    +7^w9G  
    0#]!#1utg  
    cf&C|U  
    说明：探测器 !p"Kd ~  
    e sGlMq  
    $~ VcQ  
    D:6N9POB  
    结果：3D光线追迹（只有0级） R05T5Q1]A  
    `|JI\&z  
    'Ye]eL,I\  
    8(uw0~GO  
    结果：3D光线追迹（所有级） (I!1sE!?1  
    C?(y2p`d\  
    F*. /D~K  
    flPZlL  
    结果：光线追迹 5@iy3olP  
    sB8p( L  
     b sMC#xT  
    nE^wxtY  
    结果：场追迹 Ho>p ^p  
    VrudR#q  
     ~{9x6<g!  
    FfjC M7?  
    结果：线性偏振光的场追迹 y^, "gD  
    {#0Tl  
    <BQ%8}  
     
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