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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 >m$ 1+30X  
    q?8| [.  
    J7g8D{4  
    - RU=z!{  
    亮点 ;-qO'V:;  
    $\U 4hHOo  
     ~5oPpTAe  
    T]c%!&^ _  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） BGX.U\uc  
     严格分析光栅衍射效率 _BP&n  
     考虑入射光的方向分布 #n8IZ3+  
    RtM8yar+sn  
    说明：光源 Ug<#en  
    ]'=)2 .}  
    e(<st r>  
    736Jq^T  
    说明：光束分束器 \r+8qC[,  
    71t* %  
    Ev}C<zk*  
    OD!& .%  
    说明：检测透镜系统 mrF58Uq;A  
    O*FUTZd(J  
    @/ohg0  
    &n8_0|gK  
    说明：微型晶片 @y\X R  
    dx@-/^.  
    M]2]\km  
    2$ze= /l  
    说明：检测物镜 gq'Y!BBQy  
    Rx=>6,)'  
    7Bd-!$j+  
    [rV>57`YD  
    说明：探测器 )x=1]T>v"'  
    fy@<&U5rg  
    P 'od`  
    %_%Q 8,W  
    结果：3D光线追迹（只有0级） TI,&!E?;  
     :7]Sa`  
    _)>_{Pm  
    P"8~$ P#  
    结果：3D光线追迹（所有级） SPY|K  
    [`"ZjkR_J  
    Vg>dI&O  
    {CGUL|y  
    结果：光线追迹 !C3MFm{B  
    wc}5m Hs  
     D"2&P^-  
    zkuU5O  
    结果：场追迹 87 $dBb{  
    %u5L!W&  
     qh|_W(`y  
    %4,O 2\0?&  
    结果：线性偏振光的场追迹 Q/(K$6]j  
    2q=AEv/  
    v,-HU&/*B  
     
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