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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 HA'~1$#z  
    `7/(sX.  
    REW[`MBQ  
    z+MH co"  
    亮点 K<P d.:  
    fJS:46  
     a=2.Y?  
    Mj@2=c  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） =|oi0  
     严格分析光栅衍射效率 3U<m\A1  
     考虑入射光的方向分布 XPdmz!,b  
    Z- feMM  
    说明：光源 y[m,t}gi  
    Qx)b4~F?  
    ` -_!%m/  
    'rB% a<  
    说明：光束分束器 (=j;rfvP  
    }$_@yt<{W@  
    Z"8lW+r *  
    ,@ '^3u  
    说明：检测透镜系统 5%jhVys23  
    TUfj\d,  
    gG?@_ie  
    S f?;j{?G  
    说明：微型晶片 aqON6|6K  
    M=iTwK  
    ?+]=|hN  
    |N/d }  
    说明：检测物镜 >V6t L;+  
    &J 3QO%  
    vhBW1/w&F  
    yCxYFi  
    说明：探测器 JI>Y?1i0O  
    [lzd'  
    g<Z :`00|  
    $7q3[skH  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Bve|+c6W  
    4\n ~  
    bv4umL /  
    flCT]ZR  
    结果：3D光线追迹（所有级） 6q^$}eOt  
    c {= ; lT  
    HPphTu}`  
    JV~ Dly>  
    结果：光线追迹 T8+[R2_  
    2 5 \S>  
     EJn]C=_(  
    @;egnXxF<  
    结果：场追迹 iwF_'I$#N  
    qPPe)IM'Sc  
     Wk[a|>  
    AX`T ku  
    结果：线性偏振光的场追迹 cKVFykwM  
    fOi Rstci  
    S)U*1t7[  
     
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