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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 O{{\jn|lR  
    r7zS4;b  
    lP;X=X>  
    n5U-D0/Q  
    亮点 2mt S\bAF  
    }od5kK;  
     K;'s+ZD  
    /@O$jlX5I  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） s#* DY  
     严格分析光栅衍射效率 {aoG60N  
     考虑入射光的方向分布 +FBUB  
    \:5M0  
    说明：光源 S2\|bs7;J,  
    P 5_ l&  
    8h '~*  
     KB5<)[bs  
    说明：光束分束器 "Nh}_jO  
    l\DcXgD x  
    Q13>z%Rge  
    c?t,,\o(}  
    说明：检测透镜系统 "/g\?Nce  
    \\(3gB.Gd  
    x@Ze%$'  
    ,&ld:v?~  
    说明：微型晶片 2PDU(R  
    nl/~7({  
    @\?QZX(H  
    M@a=|N~  
    说明：检测物镜 OaF[t*]D3  
    :YUQKy  
    gCP f1z  
    LQ{z}Ay  
    说明：探测器 /DxeG'O  
    7f_tH_(  
    ^77X?nDz=h  
    2od 9Q=v~  
    结果：3D光线追迹（只有0级） egn9O  
    @E !`:/k  
    :p0<AU47  
    @A1Ohl  
    结果：3D光线追迹（所有级） e"^n^_9  
    w(cl,W/w  
    bPMkBm  
    %$ ^ eY'-'  
    结果：光线追迹 <c_'(   
    yr[HuwU  
     !McRtxq?~  
    )mh,F# "L  
    结果：场追迹 ATkx_1]KM-  
    ?>T (  
     8I)}c1j`v  
    )o N#%%SB<  
    结果：线性偏振光的场追迹 @lu` oyM  
    (>M@Ukam:  
    <wj}y0(  
     
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