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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 V^Z5i]zT  
    "0PsCr}!  
    *\'t$se+  
    Wu{_QuAB  
    亮点 Ip7#${f5M  
    IowXVdm@6  
     [5IbR9_  
    g!_#$az3  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） /Lr`Aka5  
     严格分析光栅衍射效率 <v -YMk@  
     考虑入射光的方向分布 ZlC+DXg#S  
    8 f~x\.  
    说明：光源 2C:u)}R7D  
    B`R@%US  
    HM)D/CO,?  
    w]qM  
    说明：光束分束器 !?ZR_=Y%  
    O0'|\:my  
    lFtEQ '}  
    !$1qnsz  
    说明：检测透镜系统 0^V<,CAV  
    :t`W&z41  
    U'F}k0h?\'  
    @:CM<+  
    说明：微型晶片 !\{2s!l~  
    .F@Lx45  
    Xux[  
    pm=O.)g4`  
    说明：检测物镜 qgl-,3GY%N  
    XZk%5t|t  
    :^`j:B  
    ^GM3nx$  
    说明：探测器 }a!|n4|`  
    ,sc#l<v  
    )!rD&l$tE  
    ws`r\k]3J  
    结果：3D光线追迹（只有0级） +Eb-|dM  
    ,8Q0AkG  
    #FAW@6QG  
    [I%e Ro[  
    结果：3D光线追迹（所有级） [Uq`B &F:  
    %K3U`6kHcd  
    .?g=mh79(  
    "2C}Pr ,p8  
    结果：光线追迹 NVkYm+J#  
    A3 TR'BFw-  
     SbX^DAlB1  
    Xlug{ Uh  
    结果：场追迹 8iD7K@  
    8wd["hga<%  
     B0yGr\KJ  
    1yF9zKs&_  
    结果：线性偏振光的场追迹 H74'I}  
    p@Os  
    H(n fHp.3  
     
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