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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 &M$Bt} <  
    R qn WtE  
    2'Y{FY_Z  
    G~S))p  
    亮点 df^0{gNHx  
    <8*A\&  
     :q(D(mK  
    "% SX@  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） WX ,p`>n  
     严格分析光栅衍射效率 }\>+H  
     考虑入射光的方向分布 }#&~w 0P  
    ?P%|P   
    说明：光源 <r_3obRC  
    Q*Y 4m8wY  
    4Q@\h=r  
    D/e&7^iK  
    说明：光束分束器 40R"^*  
    s:3aRQ%  
    Qg[heND  
    7&h\l6}Yh  
    说明：检测透镜系统 '^e0Ud,  
    A 0 S8Dh$  
    Z>X9J(=  
    _a fciyso  
    说明：微型晶片 PBCb0[\  
    kp'b>&9r  
    )4@M`8  
    &ycjSBK  
    说明：检测物镜 ,tau9>!  
    j,\tejl1  
    Wa(W&]  
    bAN10U  
    说明：探测器 [?A&xqO3  
    $|rCrak;  
    y:~eU  
    L^6"' #  
    结果：3D光线追迹（只有0级） eR7qE) h  
    ?Y%}(3y  
    uFz/PDOZ@  
    0K&_D)  
    结果：3D光线追迹（所有级） 6euR'd^Qi  
    j[_t6Z  
    dUI3erO  
    [|y`y%  
    结果：光线追迹 _c[|@D  
    p 7 , f6kG  
     3Wjq>\  
    TihnSb  
    结果：场追迹 4s[`yV  
    "(Mvl1^BT  
     o^8*aH)I>Y  
    Jw2B&)k/  
    结果：线性偏振光的场追迹 k&WUv0  
    :8](&B68gE  
    pTc$+Z7 3  
     
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