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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 QkWEVL@uM  
    X40JCQx{+  
    ;1s;"  
    4`'Rm/)  
    亮点 c6 .j$6t  
    3sRI 7g  
     Unansk  
    V^>< =DNE  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） v0bP|h[t  
     严格分析光栅衍射效率 M6V^ur 1  
     考虑入射光的方向分布 x cZF_elt7  
    )t:8;;W@Ir  
    说明：光源 a1QW0d  
    [9F  
    T&:~=  
    PeLzZ'$D  
    说明：光束分束器 TQ%F\@"  
    uU-1;m#N?  
    8.7lc2aX  
    M=4b  
    说明：检测透镜系统 @~&^1%37)  
    Q~rE+?n9 F  
    }gE^HH'  
    WZP1g kX&M  
    说明：微型晶片 QNxxW2+  
    YTr+"\CkA  
    .&8a ;Q?c  
    @Q&k6.{4Z  
    说明：检测物镜 k%aJ%(  
    {K:] dO  
    x`2du/ C  
    Q|U [|U  
    说明：探测器 ]*Kv[%r07c  
    l|;]"&|_]c  
    >Nx4 +|  
    r$x;rL4  
    结果：3D光线追迹（只有0级） T#[#w*w/  
    dx$+,R~y  
    0JqvV  
    ,"YTG*ky  
    结果：3D光线追迹（所有级） [N<rPHT  
    Z.s0ddM s  
    =j{Kxnv  
    jx ?"`;a  
    结果：光线追迹 .kgt? r  
    QiJ  
     #qK5i1<  
    Y_~otoSoY  
    结果：场追迹 +AFBTJ  
    azO7C*_  
     ;krIuk-  
    0ZZ Wj%  
    结果：线性偏振光的场追迹 e_cK#9+  
    ^ohIJcI-  
    *>xCX  
     
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