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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 #=tWjInm  
    *Q?ZJS ~  
    iKy_DV;J  
    pEc|h*p8  
    亮点 `+IB;G1  
    K`=O!;  
     7Z-'@m  
    J3oEN'8S  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） #WBlEVx;Z  
     严格分析光栅衍射效率 jv:!vi:  
     考虑入射光的方向分布 '@Zau\xC  
    k4|9'V&1*6  
    说明：光源 |5uvmK  
    RC_w 1:h  
    rJ LlDKP-(  
    w"s;R8  
    说明：光束分束器 )7U^&I,  
    Dg^n`[WO  
    \a:#e%]qz9  
    Y\7>>?  
    说明：检测透镜系统 R3nCk-Dq  
    XcOfQ s  
    OH`| c  
    %LeQpbyOR  
    说明：微型晶片 Vej [wY-c  
    nz72w_  
    2V6=F[T  
    {H]xA3[]  
    说明：检测物镜 r-M:YB  
    8@Zg@>,  
    k A`Z#yu  
    fE1B1j<  
    说明：探测器 "N"$B~W*  
    #fq%903=  
    {!? @u?M  
    x -wIgo+  
    结果：3D光线追迹（只有0级） gbb2!q6p  
    BCDmce`=l  
    lHRs3+  
    2K^D%U  
    结果：3D光线追迹（所有级） m5!~PG:_  
    EV1x"}D A_  
    .hBq1p  
    iFJ2dFA  
    结果：光线追迹 ~}uv4;0l]  
    ~%SmH [i  
     {M`yYeo  
    'q158x  
    结果：场追迹 l(c2 B  
    i!H)@4jX  
     K U 2LJ_~Y  
    4*k>M+o/C4  
    结果：线性偏振光的场追迹 O$Wi=5  
    vNMndo!  
    4@2<dw|*h  
     
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