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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 & c V$`L  
    ;FfDi*S7  
    MIF`|3$,  
    qGVf! R  
    亮点 %!X9>i>  
    X" m0||  
    P~d&PhOe  
    JVxGS{Z  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) [QZ g=."  
     严格分析光栅衍射效率 su\iUi  
     考虑入射光的方向分布 4Fs5@@>X  
    B/F6WQdZ  
    说明:光源 m]Gxep0%  
    fWk,k*Z 9  
    o4PJ9x5R!  
    ky#5G-X  
    说明:光束分束器 lC8Z@wkjO  
    vOQ 3A%/  
    }"x#uG  
    dgp1B\  
    说明:检测透镜系统 d.3cd40Q  
    o!@}&DE|*L  
    #ExNiFZ  
    :f_fp(T  
    说明:微型晶片 hb ="J349  
    2&o jQhe  
    xm$-:N0q  
    )Gm,%[?2C  
    说明:检测物镜 ^I y'G44  
    Swr 8  
    CFTw=b@  
    ;Y9-0W  
    说明:探测器 7U647G(Sg  
    Uu_Es{@  
    {16]8-pe  
    ? dh  
    结果:3D光线追迹(只有0级) sD ,=_q@  
    Em ;2fh  
    q/#p ol  
    OaeX:r+&Q  
    结果:3D光线追迹(所有级) j@u]( nf  
    fvBL? x  
    i@m@]-2  
    E^4}l2m_  
    结果:光线追迹 Aw$+Ew[8 2  
    iz%wozf  
    K 7 OIT2-  
    / DG  t  
    结果:场追迹 q>rDxmP<  
    8}K^o>J&K  
    :Xi&H.k)p  
    NH'Dz6K5  
    结果:线性偏振光的场追迹 of=N+ W  
    [nASMKK0  
    `nrw[M?  
     
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