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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 )c<[@ ::i  
    ~e686L0j  
    8>|<m'e^\r  
    (bD#PQXzm  
    亮点 _CizU0S  
    p &i+i  
     AH^ud*3F  
    `6v24?z  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） cvjZ$Fcc%(  
     严格分析光栅衍射效率 k8,s<m  
     考虑入射光的方向分布 Wp^ A.  
    _:KeSskuO  
    说明：光源 96%N  
    5m?9O7Pg  
    )gk tI!  
    HE+D]7^  
    说明：光束分束器 'wo}1^V  
    `_OB_F  
    Q>WnSm5R  
    CJ6vS  
    说明：检测透镜系统 R+9 hog  
    8o466m6/  
    A" IaFXB  
    !#S"[q  
    说明：微型晶片 it->)?"(6  
    -~ Dn^B1^  
    |A2o$H  
    {&nDm$KTD  
    说明：检测物镜 4Dasj8GsV  
    wif1|!aL  
    CUj$ <ay=  
    GYV%RD#  
    说明：探测器 xiF}{25a  
    xo{z4W  
    G~/*!?&z  
    [>lQi X  
    结果：3D光线追迹（只有0级） d,o|>e$  
    jV#1d8qm  
     }S}%4c>  
    ?_. SV g  
    结果：3D光线追迹（所有级） iAXF;'|W  
    eH%i8a  
    |wuN`;gc"  
    9+~1# |  
    结果：光线追迹 B. #-@  
    a4",BDx  
     "|/q4JN)7d  
    e<"sZK  
    结果：场追迹 |pE ~  
    Iz&<rL;s  
     W2A!BaH%  
    \psO$TxF=  
    结果：线性偏振光的场追迹  9-y<= )  
    H`7T;`Yb  
    \M~uNWv|  
     
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