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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 S%{^@L+V  
    RW I7eC  
    Tc.k0n%W:b  
    SNl% ?j| f  
    亮点 HJ^SqSm  
    TP R$oO2  
     ]~!?(d!J/  
    {Z!x]}{M  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Ww)p&don  
     严格分析光栅衍射效率 '"Z\8;5i  
     考虑入射光的方向分布 ^]{m*bEkR  
    K0xka[x=(  
    说明：光源 bpp{Z1/4  
    05PRlz *x=  
    |0N6]%r  
    AAW])c`.  
    说明：光束分束器 'h.:-1# L  
    h}$g}f%$+  
    =R6IW,*  
    sDXD>upO  
    说明：检测透镜系统 '^10sf`"  
    Ql8s7%  
    kVeR{i<*(  
    K*id 1YY  
    说明：微型晶片 4-voR5Fd  
    X"Ca  
    8gn12._x  
    ~H4wsa39  
    说明：检测物镜 M%(^GdI#Vf  
    "\`>Ll  
    Wb{0UkApJ  
    4}xw&x  
    说明：探测器 19j"Zxdg Y  
    50jZu'z:  
    >K;DBy*  
    a2%xW_e  
    结果：3D光线追迹（只有0级） BL[N  
    ?%A9}"q]  
    A2 9R5  
    SPN5H;{[]K  
    结果：3D光线追迹（所有级） [L ?^+p>  
    ;lP/hG;`  
    A~)#  
    J5Ovj,[EZ  
    结果：光线追迹 DmtCEKa  
    Em ;2fh  
     q/#p ol  
    @i <vlHpl  
    结果：场追迹 f Hd|tl  
    fvBL? x  
     NpLZ ,|H  
    /P%OXn$i/  
    结果：线性偏振光的场追迹 !*e1F9k  
    s C>Oyh:%!  
    cw"Ou%  
     
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