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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 e{Y8m Xu  
    t}Q PPp y  
    6f'THU$  
    =Hd+KvA  
    亮点 # 0* oj/  
    r%uka5@  
     V* I2  
    Tlar@lC|u  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） DtFzT>$^F  
     严格分析光栅衍射效率 pba`FC4R  
     考虑入射光的方向分布 BO%aCK&  
     Z,"f2UJ  
    说明：光源 o>l/*i0I  
    ?*/1J~<(@  
    Dk^T_7{  
    ,]LsX"u  
    说明：光束分束器 xbNL <3"a  
    OpLo[Y\  
    J=?P`\h  
    PNp-/1Cx  
    说明：检测透镜系统 -)%g MD~z1  
    t%fcp  
    >Tp`Kri  
    0F-%C>&g  
    说明：微型晶片 >4G~01  
    3%(BZ23  
    W @]t  
    \sEH)$R'  
    说明：检测物镜 T(z/Jm3  
    2{9%E6%#  
    o:c:hSV  
    #JYH5:*  
    说明：探测器 vo"?a~kY7  
    wv.HPmq  
    F T$x#>  
    lcR1FbJ2'  
    结果：3D光线追迹（只有0级） d",VOhW7)S  
    Vv_lBYV  
    {' UK> S  
    L #`Vr$  
    结果：3D光线追迹（所有级） y[DS$>E  
    % pQi}x  
    I\~sE Jwj  
    pC/13|I  
    结果：光线追迹 ZkqZO#nq C  
    uhvn1"  
     oqa8v6yG'  
    q^ eLbivVE  
    结果：场追迹 h1+y.4  
    H Xb_k1n  
     6=p!`DOd  
    Zo#c[9IaC  
    结果：线性偏振光的场追迹 (2(y9r*1  
     s-Qq#T  
    71c(Nw~iQ  
     
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