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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 Y#t9DhzFWo  
    F};T<#  
    5AK@e|G$w  
    _Ie?{5$ng`  
    亮点 dczq,evp  
    7J ;\&q'  
     wq7h8Z}l  
    TWM^5 L:U  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） !l-Q.=yw  
     严格分析光栅衍射效率 cE^Ljk  
     考虑入射光的方向分布 P0/Ctke;  
    (?x R<]~g*  
    说明：光源 Z*+y?5+L"P  
    t52KF#+>  
    w\RYxu?  
    `&:>?Y/X2  
    说明：光束分束器 Iw4[D#o  
    R; ui 4wg6  
    =h70!) Z5  
    |'``pq/}_  
    说明：检测透镜系统 0g2rajS  
    kX2Z@ w`  
    \S_A e;  
    >K<cc#Aa  
    说明：微型晶片 3a[LM!  
    Ga_Pt8L6  
    Q@uWh:  
    8!{ }WLwb  
    说明：检测物镜 CXBFR>"  
    YwS/O N  
    PXG@]$~3  
    `GSl}A  
    说明：探测器 !sp`oM  
    3+\Zom4  
    UIkO_/}  
    *'*,mfk[  
    结果：3D光线追迹（只有0级） `An p;el  
    @?jbah#  
    V,% K"b=  
    QUm[7<"  
    结果：3D光线追迹（所有级） icQQLSU5  
    1gnLKfc  
    d)3jkHYEjj  
    =te4p@  
    结果：光线追迹 OnH3Ss$  
    &7,:: $cu  
     *&tTiv{^  
    3mHP=)  
    结果：场追迹 DS9-i2  
     6HPuCP  
     b%KcS&-6  
    @} +k]c25  
    结果：线性偏振光的场追迹 f1S% p  
    (Y*9 [hm  
    Kf6 D)B 26  
     
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