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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 <N KmLAfX  
    X$BN &DD  
    A{NKHn>%`  
    1 etl:gcEC  
    亮点 u a%@Ay1|  
    [J{\Ke0<e1  
     &YpViC4K.  
    VW&EdrR,S  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） \no6]xN;  
     严格分析光栅衍射效率 /o L& <e  
     考虑入射光的方向分布 wr5ScsNS  
    SbLm  
    说明：光源 *^ aEUp6&  
    !B|Aq- n,  
    >f$N G  
    4*Uzomb?q  
    说明：光束分束器 f.)z_RyGd  
    N> 7sG(!'"  
    UlP2VKM1&  
    00SYNG!  
    说明：检测透镜系统 ^#( B4l!  
    p>oC.[:4a  
    L h@0|k  
    ;*u"hIl1/  
    说明：微型晶片 76::X:76  
    [J!jp& o  
    OCW0$V6;D-  
    S@Iza9\|@  
    说明：检测物镜 U_Jchi,!  
    *jR4OY|DXH  
    MpK3+4UMa  
    6;:z?Q  
    说明：探测器 =Gv*yR*]t  
    ~7=eHU.@  
    Y-?0!a=e.  
    & zR\Rmpt  
    结果：3D光线追迹（只有0级）  Zh  
    J tvZ~s  
    _^/k  
    I=[Ir8} ;  
    结果：3D光线追迹（所有级） 4%B0H>  
    4bs<j  
    !n7'TM '  
    8$F"!dc _  
    结果：光线追迹 ,B~5;/ |  
    : E`78  
     @ D,]v:  
    LD*XNcE  
    结果：场追迹 N_^PoX935O  
    G{.[o6>  
     I q?n*P$  
    R$ra=sL`  
    结果：线性偏振光的场追迹 3q W](  
    r.q*S4IS.m  
    t zShds  
     
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