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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 >I',%v\?@  
    "ji+~%`^[t  
    AY;[v.Ff4  
    yq1 G6hw  
    亮点 '<>?gE0Cd  
    c7.M\f P  
    Gzs$0Ki=  
    [NV/*>"j&  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) clk]JA (  
     严格分析光栅衍射效率 W0}FOfL9  
     考虑入射光的方向分布 V9Dq<y-y  
    2%*\XPt)  
    说明:光源 13*S<\  
    TM|PwY  
    <AK9HPxP  
    9aX!<Z  
    说明:光束分束器 :98:U~ d1  
    0M?zotv0#  
    T^{=cx9x9  
    d\zUtcJwC  
    说明:检测透镜系统 xu{VU^'Y  
    ,L C(Ax'.F  
    :F9Oj1lM%  
    +DO<M1uE  
    说明:微型晶片 c&Eva  
    !R@jbM  
    ML0_Uc3en  
    8n:N#4Dh^  
    说明:检测物镜 HKIr?  
    bR;.KC3C  
    sk*vmxClY  
    3sW!ya-VZ  
    说明:探测器 J#q^CWN3R  
    ))nTd=  
    ,`YIcrya:  
    "d /uyS$6  
    结果:3D光线追迹(只有0级) bAy\Sr #/  
    s%8,'3&  
    A-J#$B  
    _'<FBlIN  
    结果:3D光线追迹(所有级) i r'C(zD=  
    kB%.i%9\\  
    - P "  
    9M ;Y$Z  
    结果:光线追迹 gVy`||z  
    <@l j\,  
    j)#yyK{k2s  
    Wyow MFp  
    结果:场追迹 >;R7r|^k  
    ((<\VQ,>(  
    Rf2mBjJ(z  
    d+6q% U  
    结果:线性偏振光的场追迹 Pjxj$>&;*j  
    9XhH*tBn7(  
    jQ7-M4qO/  
     
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