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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 y5 bELWA  
    LjA>H>8%[  
    B|n<{g[-cM  
    ](H vx  
    亮点 IOi6' 1l  
    } ~#^FFe  
    'HDbU#vD  
    Uw5`zl  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) cYMlc wS  
     严格分析光栅衍射效率 '^Ce9r}  
     考虑入射光的方向分布 +R?d6IjH  
    jNA^ (|:  
    说明:光源 z!6:Dt6^  
    /K]<7  
    @7aSq-(_l*  
    H:HJHd"W  
    说明:光束分束器 0jN?5j  
    [1*3 kt*h  
    h .Iscr^~  
    ^J=l]  l  
    说明:检测透镜系统 7!E?(3$#"  
    Qm X(s  
    *.DTcV  
    kWgZIkY  
    说明:微型晶片 -a[] #v9  
    WwF4`kxT  
    BEzF'<Z  
     TVP.)%  
    说明:检测物镜 eiaL zI,O  
    ]' F{uDm[  
    Ppzd.=E  
    kgvB80$4  
    说明:探测器 #D$vH  
    )k8=< =s  
    *kXSl73 k  
    *8uSy/l  
    结果:3D光线追迹(只有0级) btK| U  
    bV#U&)|  
    XK (y ?Y1  
    w`vJE!4B  
    结果:3D光线追迹(所有级) M[ (mH(j  
    s9<fPv0w  
    AFWcTz6#d  
    n7"e 79  
    结果:光线追迹 ai(<"|(  
    Ey77]\  
    3:i4DBp,i  
    L)'JkX J  
    结果:场追迹 U n#7@8,  
    8z^?PZ/  
    :>$)Snqo=n  
    3,bA&c3  
    结果:线性偏振光的场追迹 EdA_Hf  
    ~y}M GUEC  
    ,epKt(vl  
     
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