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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 bw&myzs  
    vB! |\eJ  
    rd3j1U  
    &:=$wc  
    亮点 @/UfD ye  
    S-+M;@'Rl  
     }`yiT<z  
    V,EF'-F  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） D5?phyC[Z  
     严格分析光栅衍射效率 [Vf}NF  
     考虑入射光的方向分布 ^zEE6i  
    Q)af|GW$  
    说明：光源 tZ2e!<C  
    oPKXZU(c  
    ^/Sh=4=G  
     j<"nO(  
    说明：光束分束器 <5@PWrU?[[  
    `P@- %T  
    Tp<k<uKD  
    3z;_KmM  
    说明：检测透镜系统 `:M^8SYrL  
    nU`Lhh8y  
    &@3m -Z  
    }jSj+*  
    说明：微型晶片 W 4YE~  
    (Y(E%  
    l0tYG[  
    r+<{S\ Q  
    说明：检测物镜 rsa&Oo D>  
    f+vVR1  
    dPjhq(8 zU  
    /)uM[ dnai  
    说明：探测器 vuz4qCQ  
    /,|CrNwY*  
    )y7_qxwbV  
    D&hqV)d4R  
    结果：3D光线追迹（只有0级） L(&}Wv  
    6Gn4asoA  
    V:bV ?lt  
    o07IcIo  
    结果：3D光线追迹（所有级） }fhHXGK.  
    2Ohp]G  
    |)_-Bi;MW`  
    ``?6=mO  
    结果：光线追迹 'PdmI<eXQ  
    2H?d+6Pt3  
     3]E(mRX  
    J7-^F)lu-  
    结果：场追迹 l54|Q  
    )"O{D`uX  
     g?q KNY  
    e&X>F"z2  
    结果：线性偏振光的场追迹 C>|@& o1  
    'b:Ne,<  
    igDyp0t  
     
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