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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 N)X3XTY  
    Qz1E 2yJ  
    =4YhG;%  
    0 1rK8jX  
    亮点 |mfvr *7  
    \;B iq`  
     (=AWOU+  
    -=Q*Ml#I  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） b4 6~?*  
     严格分析光栅衍射效率 q6luUx,@m  
     考虑入射光的方向分布 s2V:cMXFn  
    (mpNcOY<D  
    说明：光源 $ bR~+C  
    Dcgo%F-W  
    Dw.J2>uj  
    BL }\D;+t  
    说明：光束分束器 194)QeoFw  
    C ;W"wBz9  
    <)H9V-5aZ  
    v@L;x [Q  
    说明：检测透镜系统 p8O2Z? \  
    \!ZTL1b8t  
    kVMg 1I@  
    sY&IquK^  
    说明：微型晶片 g]H<}4lgq"  
    .|70;  
    %5n_ p^xp  
    T.BW H2gRP  
    说明：检测物镜 e X|m  
    *] ) `z8Ox  
    K+3=tk]W9u  
    G5 WVr$  
    说明：探测器 uw_Y\F-$  
    ^jZbo {  
    :4/3q|cn  
    .Yn_*L+4*  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ?+@?Up0wGO  
    f.$af4 u  
    'zTLl8P  
    0S!K{xyR  
    结果：3D光线追迹（所有级） kdeWip6Y  
    <\^8fn   
    @q7I4  
    V U3upy<  
    结果：光线追迹 %P|/A+Mg"  
    3F2w-+L  
     %dVZ0dl  
    YNF k  
    结果：场追迹 9W2Vo [(  
    n{mfn *r.  
     NZ0;5xGR  
    0aB;p7~&  
    结果：线性偏振光的场追迹 eD6fpe\(  
    1oGw4kD^x  
    >|UOz&  
     
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