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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 y0v]N  
    P[t$\FS  
    `Lyq[zg8  
    {>0V[c[~  
    亮点 89o)M5KQ  
    ,1Qd\8N9  
    '%v#v3'  
    ,]R8(bD)  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) HOt>}x  
     严格分析光栅衍射效率 mzL[/B#>M  
     考虑入射光的方向分布 x}fn 'iUnm  
    vUQFQ  
    说明:光源 ,xJrXPW  
    ~Pk0u{,4XQ  
    oN[Th  
    8F;>5i  
    说明:光束分束器 ^ L:cjY/  
    Al)$An-  
    lD;'tqaC  
    " oy\_1|  
    说明:检测透镜系统 j{#Wn !,  
    gL$&@NY  
    5,+\`!g  
    5/ecaAB2  
    说明:微型晶片 gLj?Ys  
    8uG0^h}  
    i~=s^8n`l  
    jSt mS2n  
    说明:检测物镜 Y{Ap80'\6  
    O^{1RV3:,T  
    V7CoZnz  
    ? s} %  
    说明:探测器 x49!{}  
    ~HLRfL?  
    <2Y0{ 8)  
    XL< )v_  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ^kj=<+ v#  
    v<rF'D2  
    2V#6q,2  
    C77D{@SM  
    结果:3D光线追迹(所有级) vM0_>1nN  
    _&{%Wc5W~F  
     o sdOw8  
    $7gB_o$zz  
    结果:光线追迹 !oSLl.fQd  
    -R+zeu(e'  
    ,j;PRJ  
    o 5Zyh26  
    结果:场追迹 #0 y <a:}R  
    SPy3~Db-o  
    vgPUIxB@  
    :uCdq`SaQl  
    结果:线性偏振光的场追迹 p,#6 @*  
    T`L}[?w  
    y,C!9l  
     
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