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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 _@p|A  
    :RQ[(zD]  
    # R&[+1=9j  
    (s3%1OC[  
    亮点 `o3d@Vc  
    Q|1bF!#(1  
    i3"sAr P"|  
    h0eo:Ahi  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) }M7kApb>Y  
     严格分析光栅衍射效率 sWC"^ So  
     考虑入射光的方向分布 ?qbp  
    3?XLHMxW  
    说明:光源 U .Od  
    mTPj@F>  
    D1n2Z :9  
    3a qmK.`H  
    说明:光束分束器 A;!FtD/  
    ry\']\k  
    ~"mZ0 E  
    YXtGuO\q  
    说明:检测透镜系统 ul?BKV+3E  
    |gVO Iq  
    oB\Xl)A<  
    <e^/hR4O  
    说明:微型晶片 k:TfE6JZ  
    w!}1oy  
    nX~MoWH1  
    j vV8`BQ{  
    说明:检测物镜 yd72y'zi  
    KVR}Tp/R  
    ,_$"6  
    <J)A_Kx[57  
    说明:探测器 LU{Z  
    X*"K g  
    *r`Yz}  
    9^^#I ~-  
    结果:3D光线追迹(只有0级) $dP)8_Z2  
    YfPo"uxx  
    gQuw|u  
    `X='g96C1  
    结果:3D光线追迹(所有级) {h"\JI!  
    v-3zav  
    >, E$bm2  
    ymZ/(:3_  
    结果:光线追迹 .m?~TOR  
    ]M(mq`K  
    <L~xR5  
    XijLS7Aw|  
    结果:场追迹 H/k W :k  
    .$0Ob<.  
    Qs9U&*L  
    _vdxxhJ=P3  
    结果:线性偏振光的场追迹 )$B+ 3f  
    tb0E?&M  
    U 0RfovJ  
     
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