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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 gpvj'Ri7V  
    wSyu^KDz  
    RX\O'Zwlj  
    W1`ZS*12D  
    亮点 3i}B\ {  
    c qyh#uWe  
    k$_]b0D{4  
    FN`kSTm*0!  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;l?(VqX_E  
     严格分析光栅衍射效率 &.4_4"l(  
     考虑入射光的方向分布 2`U&,,-Mf  
    %9Fg1LH42r  
    说明:光源 QaBXzf   
    OBSJbDqT  
    5g2+Ar(  
    N,Bs% p#1  
    说明:光束分束器 : {Z^ _;Tf  
    cS7!,XC  
    g|_*(=Q  
    M=`Se&-M  
    说明:检测透镜系统 ahv=HWX k  
    I>Yp=R  
    .. TjEBp  
    I|;#VejX  
    说明:微型晶片 s7} )4.vO  
    x,_Ucc.  
    #[yl;1)  
    vJUB;hD  
    说明:检测物镜 JCfToFB  
    4O^1gw  
     m:Abq`C  
    7Z3qaXPH  
    说明:探测器 ".<p R} qp  
    IpmREl $j  
     E/;YhFb[  
    d6&tz!f  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 59 Y=VS  
    TaT&x_v^~a  
    >E=a~ O  
    vy?YA-  
    结果:3D光线追迹(所有级) ,[#f}|s_  
    7HFO-r118  
    fZgU@!z  
    a $:N9&P  
    结果:光线追迹 _ 0E,@[  
    @CDRbXoFk  
    i`L66uV  
    i(HhL&  
    结果:场追迹 B=|sLs`I  
    miSC'!  
    3om-,gfZ  
    +8I0.,'  
    结果:线性偏振光的场追迹 4*X$Jle|  
    N2J!7uoQ  
    PX)qA =4q  
     
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