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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 @PX\{6&  
    ~8{sA5y  
    Xb,T{.3@  
    to`mnp9Z  
    亮点 ]Lm'RlV  
    y`S o&:1  
     ~KPv7WfG  
    ),` 8eQC  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） $(rc/h0/E  
     严格分析光栅衍射效率 v@n_F  
     考虑入射光的方向分布 t7*#[x)a  
    2w?hgNz  
    说明：光源 z:}nBCmLV  
    d:rGyA]  
    WbcS: !0  
    j_GBH8 `  
    说明：光束分束器 x+7*ADKb  
    cbYK5fj"T  
    5JSrrpGr  
    nB] Ia?  
    说明：检测透镜系统 E ]f)Os$  
    WD.U"YI8y  
    v* ~3Z1  
    ^B]@Lr E^  
    说明：微型晶片 6Hf,6>  
    r4Q|5kT*i  
    v"!4JZ%K  
    K0Tg|9  
    说明：检测物镜 U>Gg0`>  
    rQr!R$t/[  
    <[i}n55  
    G5Ykbw#  
    说明：探测器 7lA:)a_!]  
     v~=\H  
    tC)6  
    /.Q4~Hw%}  
    结果：3D光线追迹（只有0级） G%{0i20_  
    2*1ft>Uty  
    goZ V.,w  
    ^+/kr/  
    结果：3D光线追迹（所有级） 4XJiIa?  
    J2M(1g)t9  
    T?wzwGp-[  
    Z :nbZHByh  
    结果：光线追迹 ,={t8lN  
    X.V[0$.;  
     -t-tn22  
    5kMWW*Xtf  
    结果：场追迹 ,D=fFpn  
    |FNCXlgZ  
     6v732;^  
    )^x K   
    结果：线性偏振光的场追迹 (f#b7O-Wn  
    (K<9h L+X  
    KoBW}x9Jp  
     
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