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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    在线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 S;jD@j\t&  
    4w#2m>.  
    2g~ @99`  
    em5~4;&'  
    亮点 (wuciKQ  
    5!cp^[rGL  
     >3pT).wH|M  
    RwYFBc  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） $(+xhn(O  
     严格分析光栅衍射效率 /zb/ am1#  
     考虑入射光的方向分布 g4W/T  
    /}J_2  
    说明：光源 TET=>6  
    idGn{f((f  
    nlI3|5  
    /CMgWGI  
    说明：光束分束器 2~l7WW+lx,  
    [z ]P5  
    D B65vM  
    MG~Z)+g=y  
    说明：检测透镜系统 'RhS%l  
    >j3':>\U  
    p5tb=Zg_  
    JqZt1um  
    说明：微型晶片 T/2k2r4PD  
    |m6rF7Q  
    Dr:M~r'6  
    4L ]4WVc  
    说明：检测物镜 ~CbiKez  
    xr]bH.>  
    p JT)X8K"  
    +Ugy=678Tr  
    说明：探测器 l@* $C&E  
    8Iu6r}k?~`  
    '*65j  
    cTzR<Yr  
    结果：3D光线追迹（只有0级） "uT2 DY[  
    _z8"r&  
    RXg\A!5GV  
    m_CW Vw  
    结果：3D光线追迹（所有级） ib#rT{e  
    H#D:'B j29  
    iE HWD.u  
    nDO7  
    结果：光线追迹 ]u!s-=3s  
    T4Vp0i  
     o$l8"Uv  
    DbLo{mFEIj  
    结果：场追迹 dor1(@no|  
    j5" L  
     M!5=3>Z  
    f S/:OnH  
    结果：线性偏振光的场追迹 ;tVd+[8  
    [j5+PV  
    D (8Z90  
     
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