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任务/系统说明 BI@[\aRLQ [nq@m c~< Eu3E-K@y xAm6BB
c 亮点 Q3?F(ER@ Nh+ H 9
dM@1l1h/ 4*;MJ[| 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) WcGS9`m/ 严格分析光栅衍射效率 JucY[`|JV 考虑入射光的方向分布 Y'X%Aw;` HZZn'u 说明:光源 owv[M6lbD B9S@(/"7 ^iYj[~ R4d=S4i 说明:光束分束器 BZ^}J!Q'* f|(M.U- 9>#6*/Oa7 u ^RxD^=L 说明:检测透镜系统 9lE_nc %;!.n{X TA~{1_l \fe]c : 说明:微型晶片 Flb&B1 aw> #P /Z4et'Lo ,hmL/K0"(5 说明:检测物镜 c:.eGH_f *Pg2c(Vg =2x^nW 0{SL&<& |