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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 C1QV[bJK  
    )q3"t2-  
    5~r2sCDPk  
    saW!9HQj  
    亮点 Hwu4:^OL|  
    "C74  
     {1~T]5  
    <KQ(c`KW7  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） @Zm J z  
     严格分析光栅衍射效率 Acu@[ I^  
     考虑入射光的方向分布 #ia;- 3  
    1 Z[f {T)  
    说明：光源 lTz6"/  
    SUE ~rb  
    yA;W/I4  
    }htPTOy5  
    说明：光束分束器 ::"E?CQLV  
     `w<J25  
    Rs7 |}Dl}  
    %}b8aG+  
    说明：检测透镜系统 `# ^0cW  
    ctJ&URCi#  
    ai^|N.!  
    )^/0cQcJ  
    说明：微型晶片 D:E9!l'  
    9_huI'"p  
    |y1;&<  
    K2ewucn  
    说明：检测物镜 `|Fp^gM  
    '6S%9ahE  
    {a "RXa  
    C-SLjJw  
    说明：探测器 ;BBpN`T  
    @8gEH+r  
    ^:cRp9l"7  
    }5bM1h#z  
    结果：3D光线追迹（只有0级） n?QZFeI`  
    (vyz;Ob  
    OJ,m1{9$}  
    !O)qYmK]|  
    结果：3D光线追迹（所有级） PRr*]$\&Mj  
    5w<A;f  
    +AI`R`Tm  
    DTY<0Q.  
    结果：光线追迹 c`kQvXx  
    h-XY4gq/  
     tXq)nfGe{  
    rt!r2dq"  
    结果：场追迹 !%S4 n  
    2\@Z5m3B  
     M-MKk:o  
    Qv{,wytyO  
    结果：线性偏振光的场追迹 QLr9dnA  
    e!X(yJI[O6  
    PK:2xN:=  
     
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