切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1264阅读
    • 0回复

    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6634
    光币
    27319
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 l$zo3[  
    \$riwL  
    0($MN]oZa  
    a&PoUwG  
    亮点 Z^h'&c#  
    ]%shs  
    jr~76  
    zx;x@";p  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) i1|-  
     严格分析光栅衍射效率 X} 8rrC=  
     考虑入射光的方向分布 . +.Y`0  
    $n(@hT>?  
    说明:光源 G} }oeS  
    7<-D_$SrU  
    1wGd5>GDA  
    w;>]L.n  
    说明:光束分束器 1Voo($q.  
    4y%N(^  
    f8'&(-  
    BXyZn0k  
    说明:检测透镜系统 }IEYH&4!  
    hvZW~ =75  
    i"sVk8+o!  
    n# Z6d`  
    说明:微型晶片 Gh42qar`  
    $\m=-5 0-  
    F!^ Y!Y@H  
    NTgk0cq  
    说明:检测物镜 Z*s/%4On  
    7m@pdq5Ub  
    %# J8cB  
    !=k\Rr@qx  
    说明:探测器  :jB(!XH  
    ?ew^%1!W.  
    /Hx%gKU  
    dtm_~r7~  
    结果:3D光线追迹(只有0级) C+-~Gmrb(7  
    fs~n{z,ja%  
    FW[<;$  
    \p [!@d^  
    结果:3D光线追迹(所有级) !=q {1\#  
    !>9*$E |  
    ^'v6 ,*:4  
    H\^5>ccU>V  
    结果:光线追迹 SZvw>=)a  
    NjsP"  
    <(#cPV@j  
    0#sk]Qz  
    结果:场追迹 cnCUvD]'  
    "0zMx`Dh  
    >2>xr"  
    *~2jP;$  
    结果:线性偏振光的场追迹 Kq6m5A]z  
    *.voN[$~  
    -aKL 78  
     
    分享到