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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 BI@[\aRLQ  
    [nq@mc~<  
    Eu3E-K@y  
    xAm6BB c  
    亮点 Q3?F(ER@  
    Nh +H9  
     dM@1l1h/  
    4*;MJ[|  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） WcGS9`m/  
     严格分析光栅衍射效率 JucY[`|JV  
     考虑入射光的方向分布 Y'X%Aw;`  
    HZZn'u  
    说明：光源 owv[M6lbD  
    B9S@(/"7  
    ^iYj[~  
    R4d=S4 i  
    说明：光束分束器 BZ^}J!Q'*  
    f|(M.U-  
    9>#6*/Oa7  
    u ^RxD^=L  
    说明：检测透镜系统 9lE_nc  
     %;!.n{X  
    TA~{1_l  
    \fe]c :  
    说明：微型晶片 Flb&B1  
    aw>#P   
    /Z4et'Lo  
    ,hmL/K0"(5  
    说明：检测物镜 c:.eGH_f  
    *Pg2c(Vg  
    =2x^nW  
    0{SL&<&  
    说明：探测器 \l3h0R  
    32 =z)]FZ  
    9N3eN  
    _SkLYL!=9  
    结果：3D光线追迹（只有0级） kG*~ |ma  
    +"@ .8m  
    RG`1en  
    v &+R^iLE  
    结果：3D光线追迹（所有级） @KAI4LP  
    IE~ |iQ?-  
    ? =+WRjF  
    B>.qd  
    结果：光线追迹 T[j,UkgGo  
    #$y?v%^  
     Rlirs-WQ  
    {l >hMxij  
    结果：场追迹 8~gLqh8^V  
    A5w6]:f2  
     a.6(K  
    v.5+7,4  
    结果：线性偏振光的场追迹 u<&m]] *  
    PFK  '$  
    T]p-0?=4vv  
     
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