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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 H _zo1AW  
    `T5W}p[6  
    J;8IY=  
    %z,m B$LY  
    亮点 `xqr{lhL  
    !ug8SAOaz/  
     ~d|A!S`  
    ] Zy5%gI  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） *V8<:OG|e  
     严格分析光栅衍射效率 e#$]Y?,  
     考虑入射光的方向分布 ;;6uw\6 O  
    -z)n?(pftm  
    说明：光源 Y[}>CYO  
    .$+#1-  
    F%@aB<Nu  
    gG(fQ 89U"  
    说明：光束分束器 P2#XKG  
    i@"@9n~  
    =5~jx  
    YIQ 4t  
    说明：检测透镜系统 0"  
    7q?, ?  
    FWrX3i  
    }ppN k:B  
    说明：微型晶片 Jh,]r?Bd  
    Ezc?#<+7  
    w0rRSD4S8B  
    8lvV4yb  
    说明：检测物镜 u8&Z!p\  
    ls\WXCH  
    G|!Tj X7s  
    fg_4zUGM+g  
    说明：探测器 CkOz  
    M?Y;a5{  
    N} G[7Rp8l  
    AG`L64B  
    结果：3D光线追迹（只有0级） y\4L{GlBM  
    46_xyz3+  
    wh$sn:J  
    LM~[@_j  
    结果：3D光线追迹（所有级） K[YI4pt7  
    #L=x%8B  
    sJL&:!}V>  
    j4gF;-m<  
    结果：光线追迹 k]F[>26k  
     VA6}  
     P+@/O  
    5sj4;w[  
    结果：场追迹 AifWf2$S  
    _hAcJ{Y  
     2V mNZ{<  
    oK6tTK  
    结果：线性偏振光的场追迹 eenH0Ovv  
    |mxDjgq  
    9UdM`v)(  
     
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