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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 60WlC0Y~u  
    ~G.MaSm  
    I]WvcDJ}C  
    UQbk%K2  
    亮点 G\~?.s|^  
    6lUC$B Y  
     #JN4K>_4  
    (#]9{ C;  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） lWBewnLKE  
     严格分析光栅衍射效率 h+j*vX/!  
     考虑入射光的方向分布 Z1] 4:  
    }%D${.R]  
    说明：光源 Uz%ynH  
    ]&tcocq  
    !=u=P9I  
    Ve<f}  
    说明：光束分束器 Q(4~r+  
    o[q|dhrANh  
    gLK0L%"5  
    tqjjn5!  
    说明：检测透镜系统 VH vL:z  
    xE!b)@>S  
    '-3K`[  
    uG-S$n"7K  
    说明：微型晶片 ,R=$ qi|  
    ant2];0p  
    5f2=`C0_  
    "Jdi>{o8  
    说明：检测物镜 p$` ^A  
    :SY,;..3e  
    mE &SAm5#d  
    J|VDZ# c7  
    说明：探测器 >:BgatyPH  
    tTh4L8fO  
    AtxC(g m 1  
    PH'n`D #  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Rm~8n;7oOr  
    WC b 5  
    *^CN2tm  
    ~yA^6[a=  
    结果：3D光线追迹（所有级） Bj\Us$cZ  
    "~Zdv}^xS  
    AoK;6je`K^  
    !sYZ1;WAO  
    结果：光线追迹 ac1(lD  
    *:`fgaIDa  
     L@f&71  
    F*-'8~T  
    结果：场追迹 - b`  
    qac:"z'9  
     0wAB;|~*62  
    u`Kc\B Sn  
    结果：线性偏振光的场追迹 ==trl#kQ%%  
    k L4#  
    %Z8pPH~T  
     
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